Pwosesis pou kouvri yon ti sous ak yon iyon

Pwosesis kouch iyon sous arc katodik la fondamantalman menm jan ak lòt teknoloji kouch yo, epi kèk operasyon tankou enstalasyon pyès travay ak aspirasyon pa repete ankò.

1. Netwayaj bonbadman pyès travay yo

Anvan kouch la, yo entwodui gaz agon nan chanm kouch la avèk yon vakyòm 2 × 10-2Pa.

Limen ekipman pou pouvwa polarizasyon pulsasyon an, ak yon sik devwa 20% ak yon polarizasyon pyès travay 800-1000V.

Lè yo limen kouran ark la, yon egzeyat limyè ark chan frèt pwodui, ki emèt yon gwo kantite kouran elektwon ak kouran iyon Titàn soti nan sous ark la, fòme yon plasma dansite wo. Iyon Titàn nan akselere enjeksyon li nan pyès la anba presyon negatif wo ki aplike sou pyès la, bonbade ak pulverizasyon gaz rezidyèl ak polisyon ki absòbe sou sifas pyès la, epi netwaye ak pirifye sifas pyès la; An menm tan, gaz klò ki nan chanm kouch la iyonize pa elektwon, epi iyon agon akselere bonbadman sifas pyès la.

Se poutèt sa, efè netwayaj bonbadman an bon. Se sèlman apeprè 1 minit netwayaj bonbadman ki ka netwaye pyès la, sa yo rele "bonbadman prensipal ak ak". Akòz gwo mas iyon Titàn yo, si yo itilize yon ti sous ak ak pou bonbade epi netwaye pyès la pou twò lontan, tanperati pyès la gen tandans chofe twòp, epi kwen zouti a ka vin mou. Nan pwodiksyon an jeneral, ti sous ak ak yo limen youn pa youn soti anwo jouk anba, epi chak ti sous ak ak gen yon tan netwayaj bonbadman apeprè 1 minit.

(1) Kouch anba Titàn kouvri

Pou amelyore adezyon ant fim nan ak substra a, anjeneral yo kouvri yon kouch substra Titàn pi anvan yo kouvri nitrid Titàn lan. Ajiste nivo vakyòm lan a 5×10-2-3×10-1Pa, ajiste vòltaj polarizasyon pyès la a 400-500V, epi ajiste sik devwa ekipman pou pouvwa polarizasyon pulsasyon an a 40% ~ 50%. Toujou limen ti sous ark yo youn pa youn pou jenere yon egzeyat ark chan frèt. Akòz diminisyon nan vòltaj polarizasyon negatif pyès la, enèji iyon Titàn yo diminye. Apre yo fin rive nan pyès la, efè pulverizasyon an mwens pase efè depo a, epi yon kouch tranzisyon Titàn fòme sou pyès la pou amelyore fòs lyezon ant kouch fim di nitrid Titàn lan ak substra a. Pwosesis sa a se tou pwosesis pou chofe pyès la. Lè sib Titàn pi a dechaje, limyè nan plasma a se ble azur.

1. Kouch fim di bòl amonyak

Ajiste degre vakyòm lan a 3 × 10^-1-5Pa, ajiste vòltaj polarizasyon pyès travay la a 100-200V, epi ajiste sik devwa ekipman pou pouvwa polarizasyon pulsasyon an a 70% ~ 80%. Apre yo fin entwodui azòt, Titàn reyaji ansanm ak plasma egzeyat ark la pou depoze yon fim di nitrid Titàn. Nan pwen sa a, limyè plasma a nan chanm vakyòm nan vin wouj seriz. Si C₂H₂, O₂, elatriye yo prezante, TiCN, TiO₂, elatriye kouch fim ka jwenn.

–Atik sa a te pibliye pa Guangdong Zhenhua, yonmanifakti machin kouch vakyòm