Tha am pròiseas airson còmhdach ian stòr stuagh cathodic gu ìre mhòr an aon rud ri teicneòlasan còmhdach eile, agus chan eil cuid de ghnìomhachdan leithid stàladh pìosan obrach agus falmhachadh air an ath-aithris tuilleadh.
1. Glanadh bomadh de phìosan obrach
Mus tèid còmhdach a chur air, thèid gas argon a thoirt a-steach don t-seòmar còmhdaich le falamh de 2 × 10-2Pa.
Tionndaidh air an t-solar cumhachd claonadh cuisle, le cearcall dleastanais de 20% agus claonadh pìos-obrach de 800-1000V.
Nuair a thèid cumhachd a’ bhogha a thionndadh air, thèid sgaoileadh solais bogha achaidh fhuar a chruthachadh, a bhios a’ leigeil a-mach tòrr sruth dealanach agus sruth ian titanium bhon stòr bogha, a’ cruthachadh plasma dùmhlachd àrd. Bidh an ian titanium a’ luathachadh a stealladh a-steach don phìos obrach fo chuideam claonadh àrd àicheil a chuirear air a’ phìos obrach, a’ bomadh agus a’ spùtadh a’ ghasa a tha air fhàgail agus na truailleadh a tha air an glacadh air uachdar a’ phìos obrach, agus a’ glanadh agus a’ glanadh uachdar a’ phìos obrach; Aig an aon àm, bidh dealanan a’ ianachadh a’ ghasa clòirin anns an t-seòmar còmhdaich, agus bidh ianan argon a’ luathachadh bomadh uachdar a’ phìos obrach.
Mar sin, tha buaidh glanadh bomadh math. Chan urrainn ach mu 1 mhionaid de ghlanadh bomadh an obair-obrach a ghlanadh, ris an canar “prìomh bhomadh bogha”. Air sgàth mais àrd nan ianan titanium, ma thèid stòr beag bogha a chleachdadh gus am pìos-obrach a bhomadh agus a ghlanadh airson ro fhada, tha teòthachd a’ phìos-obrach buailteach do theth-theasachadh, agus faodaidh oir an inneil fàs bog. Ann an cinneasachadh san fharsaingeachd, thèid stòran beaga bogha a thionndadh air aon às deidh aon bho mhullach gu bonn, agus tha ùine glanadh bomadh de mu 1 mhionaid aig gach stòr beag bogha.
(1) A’ còmhdach an ìre as ìsle de titanium
Gus an greamachadh eadar am film agus an t-substrate a leasachadh, mar as trice bidh sreath de substrate titanium fìor-ghlan air a chòmhdach mus tèid còmhdach a dhèanamh air titanium nitride. Atharraich an ìre falamh gu 5 × 10-2-3 × 10-1Pa, atharraich bholtaids claonadh a’ phìos obrach gu 400-500V, agus atharraich cearcall dleastanais an t-solair cumhachd claonadh cuisle gu 40% ~ 50%. A’ lasadh stòran bogha beaga aon às deidh aon gus sgaoileadh bogha achaidh fuar a chruthachadh. Mar thoradh air an lùghdachadh ann am bholtaids claonadh àicheil a’ phìos obrach, bidh lùth ianan titanium a’ lùghdachadh. Às deidh dhaibh ruighinn air a’ phìos obrach, tha a’ bhuaidh sputtering nas lugha na a’ bhuaidh tasgaidh, agus tha sreath gluasaid titanium air a chruthachadh air a’ phìos obrach gus an fheachd ceangail eadar an sreath film cruaidh titanium nitride agus an t-substrate a leasachadh. Tha am pròiseas seo cuideachd na phròiseas teasachadh a’ phìos obrach. Nuair a thèid an targaid titanium fìor-ghlan a leigeil ma sgaoil, tha an solas anns a’ phlasma gorm-ghorm.
1. Còmhdach film cruaidh bobhla ammoniated
Atharraich an ìre falamh gu 3 × 10-1-5Pa, atharraich bholtaids claonadh a’ phìos obrach gu 100-200V, agus atharraich cearcall dleastanais solar cumhachd claonadh cuisle gu 70% ~ 80%. Às deidh naitridean a thoirt a-steach, bidh titanium ag ath-bhualadh còmhla ris a’ phlasma sgaoilidh bogha gus film cruaidh titanium nitride a thasgadh. Aig an ìre seo, tha solas a’ phlasma anns an t-seòmar falamh dearg-shiris. Ma tha C2H2, O2, msaa. air an toirt a-steach, TiCN, TiO2, msaa. gheibhear sreathan film.
–Chaidh an t-artaigil seo fhoillseachadh le Guangdong Zhenhua, aneach-dèanamh inneal còmhdach falamh
Àm puist: Ògmhios-01-2023