Tá an próiseas sciath ian foinse stua catóideach mar an gcéanna go bunúsach le teicneolaíochtaí sciath eile, agus ní dhéantar roinnt oibríochtaí amhail píosaí oibre a shuiteáil agus folúsghlanadh a athdhéanamh a thuilleadh.
1. Glanadh buamadóireachta ar phíosaí oibre
Roimh an sciath, tugtar gás argóin isteach sa seomra sciath le folús 2 × 10-2 Pa.
Cas air an soláthar cumhachta claonta cuisle, le timthriall dleachta de 20% agus claonadh sa phíosa oibre de 800-1000V.
Nuair a chasann an chumhacht stua air, gintear urscaoileadh solais stua réimse fuar, a astaíonn méid mór srutha leictreon agus srutha ian tíotáiniam ón bhfoinse stua, rud a chruthaíonn plasma ard-dlúis. Luasghéadaíonn an t-ian tíotáiniam a instealladh isteach sa phíosa oibre faoin mbrú claonta ard diúltach a chuirtear i bhfeidhm ar an bpíosa oibre, ag buamáil agus ag spútaráil an gháis iarmharaigh agus na truailleáin atá ionsúite ar dhromchla an phíosa oibre, agus ag glanadh agus ag íonú dhromchla an phíosa oibre; Ag an am céanna, déantar an gás clóirín sa seomra sciath a ianú ag leictreoin, agus luasghéadaíonn iain argóin buamáil dhromchla an phíosa oibre.
Dá bhrí sin, tá éifeacht an ghlantacháin bhuamadóireachta maith. Ní féidir ach thart ar nóiméad amháin de ghlanadh bhuamadóireachta an píosa oibre a ghlanadh, ar a dtugtar “buamadóireacht phríomh-stua”. Mar gheall ar mhais ard ian tíotáiniam, má úsáidtear foinse stua beag chun an píosa oibre a bhuamadóireacht agus a ghlanadh ar feadh ró-fhada, bíonn teocht an phíosa oibre seans maith go róthéamhfaidh sé, agus féadfaidh imeall an uirlis a bheith bog. I dtáirgeadh ginearálta, cuirtear foinsí stua beaga ar siúl ceann ar cheann ó bharr go bun, agus bíonn am glantacháin bhuamadóireachta de thart ar nóiméad ag gach foinse stua beag.
(1) Sciath bun tíotáiniam
Chun an greamaitheacht idir an scannán agus an tsubstráit a fheabhsú, is gnách go gclúdaítear sraith de tsubstráit tíotáiniam íon sula gcuirtear níotráit tíotáiniam i gclúdach. Coigeartaigh an leibhéal folúis go 5 × 10-2-3 × 10-1Pa, coigeartaigh voltas claonta an phíosa oibre go 400-500V, agus coigeartaigh timthriall dualgais an tsoláthair chumhachta claonta cuisle go 40% ~ 50%. Agus foinsí beaga stua á n-adhaint ceann ar cheann fós chun urscaoileadh stua réimse fuar a ghiniúint. Mar gheall ar an laghdú ar an voltas claonta diúltach den phíosa oibre, laghdaíonn fuinneamh na n-ian tíotáiniam. Tar éis dóibh an píosa oibre a bhaint amach, bíonn an éifeacht spútarála níos lú ná an éifeacht taiscthe, agus cruthaítear sraith trasdula tíotáiniam ar an bpíosa oibre chun an fórsa nasctha idir an tsraith scannáin chrua níotráit tíotáiniam agus an tsubstráit a fheabhsú. Is é an próiseas seo freisin próiseas téimh an phíosa oibre. Nuair a scaoiltear an sprioc tíotáiniam íon, bíonn an solas sa phlasma gorm gorm.
1. Sciath scannáin chrua babhla amóiniaithe
Coigeartaigh an céim folúis go 3 × 10-1-5Pa, coigeartaigh voltas claonta an phíosa oibre go 100-200V, agus coigeartaigh timthriall dualgais an tsoláthair chumhachta claonta cuisle go 70% ~ 80%. Tar éis nítrigin a thabhairt isteach, imoibríonn tíotáiniam leis an plasma urscaoilte stua chun scannán crua níotráite tíotáiniam a thaisceadh. Ag an bpointe seo, bíonn solas an phlasma sa seomra folúis dearg silíní. Má C2H2, Ó2, srl. a thabhairt isteach, TiCN, TiO2, etc. is féidir sraitheanna scannáin a fháil.
–Foilsíodh an t-alt seo ag Guangdong Zhenhua, amonaróir meaisín sciath folúis
Am an phoist: 1 Meitheamh 2023