It proses fan kathodyske bôgeboarne-ioncoating is yn prinsipe itselde as oare coatingtechnologyen, en guon operaasjes lykas it ynstallearjen fan wurkstikken en stofzuigjen wurde net mear werhelle.
1. Bombardementreiniging fan wurkstikken
Foar it coaten wurdt argongas yn 'e coatingkeamer ynbrocht mei in fakuüm fan 2 × 10-2 Pa.
Skeakelje de pulsbias-stroomfoarsjenning yn, mei in duty cycle fan 20% en in wurkstikbias fan 800-1000V.
As de bôgekrêft oanset wurdt, wurdt in kâldfjildbôgeljochtûntlading generearre, dy't in grutte hoemannichte elektronstroom en titanium-ionstroom útstjit fan 'e bôgeboarne, wêrtroch in plasma mei hege tichtheid ûntstiet. It titanium-ion fersnelt syn ynjeksje yn it wurkstik ûnder de negative hege biasdruk dy't op it wurkstik tapast wurdt, wêrtroch't it oerbleaune gas en fersmoargjende stoffen dy't op it oerflak fan it wurkstik adsorbearre binne, bombardearre en sputtere wurde, en it oerflak fan it wurkstik skjinmakke en suvere wurde; Tagelyk wurdt it chloorgas yn 'e coatingkeamer ionisearre troch elektroanen, en argon-ionen fersnelle it bombardemint fan it oerflak fan it wurkstik.
Dêrom is it bombardemintreinigingseffekt goed. Mar sawat 1 minút bombardemintreiniging kin it wurkstik skjinmeitsje, wat "haadbôgebombardemint" neamd wurdt. Fanwegen de hege massa titaniumioanen, as in lytse bôgeboarne te lang brûkt wurdt om it wurkstik te bombardearjen en skjin te meitsjen, is de temperatuer fan it wurkstik gefoelich foar oerferhitting, en kin de arkrâne sêft wurde. Yn 'e algemiene produksje wurde lytse bôgeboarnen ien foar ien fan boppen nei ûnderen oanset, en elke lytse bôgeboarne hat in bombardemintreinigingstiid fan sawat 1 minút.
(1) Coating fan titanium ûnderste laach
Om de adhesion tusken de film en it substraat te ferbetterjen, wurdt meastentiids in laach fan suver titaniumsubstraat oanbrocht foardat titaniumnitride oanbrocht wurdt. Pas it fakuümnivo oan op 5 × 10-2-3 × 10-1 Pa, pas de biasspanning fan it wurkstik oan op 400-500V, en pas de duty cycle fan 'e puls bias-stroomfoarsjenning oan op 40% ~ 50%. It ien foar ien ûntstekken fan lytse bôgeboarnen om kâldfjildbôge-ûntlading te generearjen. Troch de ôfname fan 'e negative biasspanning fan it wurkstik nimt de enerzjy fan titaniumioanen ôf. Nei it berikken fan it wurkstik is it sputtereffekt minder as it ôfsettingseffekt, en wurdt in titanium-oergongslaach op it wurkstik foarme om de bondingkrêft tusken de hurde titaniumnitride-filmlaach en it substraat te ferbetterjen. Dit proses is ek it proses fan it ferwaarmjen fan it wurkstik. As it suvere titaniumdoel ûntslein wurdt, is it ljocht yn it plasma azuerblau.
1. Ammoniakearre kom hurde filmcoating
Pas de fakuümgraad oan op 3 × 10-1-5Pa, oanpasse de biasspanning fan it wurkstik nei 100-200V, en oanpasse de duty cycle fan 'e puls bias-stroomfoarsjenning nei 70%~80%. Nei't stikstof ynfierd is, reagearret titanium yn kombinaasje mei it bôge-ûntladingsplasma om in hurde titaniumnitridefilm ôf te setten. Op dit punt is it ljocht fan it plasma yn 'e fakuümkeamer kersenread. As C2H2, O2, ensfh. wurde yntrodusearre, TiCN, TiO2, ensfh. kinne filmlagen krigen wurde.
–Dit artikel waard publisearre troch Guangdong Zhenhua, infabrikant fan fakuümcoatingmasines
Pleatsingstiid: 1 juny 2023