HFCVD0606

De fakuümcoatingkeamer fan 'e apparatuer foar gemyske dampôfsetting brûkt in ûnôfhinklike dûbele laach wetterkoelingsstruktuer, dy't effisjint en unifoarm is yn koeling, en in feilige en stabile struktuer hat. De apparatuer is ûntworpen mei dûbele doarren, meardere observaasjefinsters en meardere útwreidingsynterfaces, wat handich is foar eksterne ferbining fan helpapparaten lykas ynfrareadtemperatuermjitting, spektrale analyze, fideomonitoring en thermokoppel. It avansearre ûntwerpkonsept makket de deistige revisy en ûnderhâld, konfiguraasjeferoaring en upgrade fan 'e apparatuer maklik en ienfâldich, en ferminderet effektyf de gebrûks- en upgradekosten.

Apparatuerfunksjes:

1. De ynflaasjekomponinten fan 'e apparatuer omfetsje benammen massastreammeter, solenoïdeklep en gasmingtank, dy't soargje foar de krekte kontrôle fan prosesgasstream, unifoarme minging en feilige isolaasje fan ferskate gassen, en kinne gassysteemkomponinten selektearje foar it gebrûk fan floeibere gasboarne, de personaliseare seleksje fan in breed oanbod fan floeibere koalstofboarnen fasilitearje, en it feilige gebrûk fan syntetyske geleidende diamant- en elektrode floeibere boorboarnen fasilitearje.
2. De loftûntlûkingsgearkomste is foarsjoen fan in stille en effisjinte rotearjende vaanfakuümpomp en in turbo molekulêr pompsysteem dat fluch oan 'e hege fakuüm eftergrûnomjouwing kin foldwaan. De gearstalde fakuümmeter mei wjerstânsmeter en ionisaasjemeter wurdt brûkt foar fakuümmjitting, lykas it kapasitive filmmetersysteem dat de druk fan ferskate prosesgassen yn in breed berik kin mjitte. De ôfsettingsdruk wurdt folslein automatysk regele troch in hege-presyzje proporsjonele kontrôleklep.
3. De koelwetterkomponint is foarsjoen fan mearkanaals wetterdruk, stream, temperatuermjitting en softwarematige automatyske monitoring. Ferskillende koelkomponinten binne ûnôfhinklik fan elkoar, wat handich is foar rappe foutdiagnose. Alle tûken hawwe ûnôfhinklike fentylskakelaars, wat feilich en effisjint is.
4. De elektryske kontrôlekomponinten brûke in grut LCD-skerm mei minske-masine-ynterface en wurkje gear mei in folslein automatyske PLC-kontrôle om it bewurkjen en ymportearjen fan 'e prosesformule te fasilitearjen. De grafyske kromme toant fisueel de feroarings en wearden fan ferskate parameters, en de apparatuer- en prosesparameters wurde automatysk opnommen en argyfearre om probleemopspoaring en statistyske gegevensanalyse te fasilitearjen.
5. It wurkstikrek is foarsjoen fan in servomotor om it heffen en sakjen fan 'e substraattafel te kontrolearjen. De grafyt- of readkoper-substraattafel kin keazen wurde. De temperatuer wurdt metten mei in termokoppel.
6. De rackkomponinten kinne as gehiel of apart ûntwurpen wurde neffens klanteasken om te foldwaan oan de spesjale ôfhannelingseasken fan klanten.
7. De ûnderdielen fan 'e ôfslutingsplaat binne moai en elegant. De ôfslutingsplaten yn ferskate funksjonele modulegebieten fan 'e apparatuer kinne fluch útelkoar helle wurde of ûnôfhinklik iepene en sluten wurde, wat tige handich is yn gebrûk.

CVD-apparatuer mei hjitte filament is geskikt foar it ôfsetten fan diamantmaterialen, ynklusyf tinne filmcoating, selsstannige dikke film, mikrokristallijne en nanokristallijne diamant, geleidende diamant, ensfh. It wurdt benammen brûkt foar wearbestindige beskermjende coating fan sementearre karbide snijgereedschap, healgeleidermaterialen lykas silisium en silisiumkarbid, waarmteôffiercoating fan apparaten, bor-dopearre geleidende diamantelektrode, ozondesinfeksje fan elektrolytysk wetter of rioelwettersuvering.