Pienen kaarilähteen ionipinnoituksen prosessi

Katodisen valokaarilähteen ionipinnoitusprosessi on pohjimmiltaan sama kuin muissa pinnoitustekniikoissa, eikä joitakin toimintoja, kuten työkappaleiden asennusta ja imurointia, enää toisteta.

1. Työkappaleiden pommituspuhdistus

Ennen pinnoitusta pinnoituskammioon johdetaan argonkaasua 2 × 10⁻⁶ Pa:n tyhjiössä.

Kytke pulssijännitesyöttö päälle, käytä 20 %:n käyttösuhdetta ja 800–1000 V:n työkappalejännitettä.

Kun valokaari kytketään päälle, syntyy kylmäkenttävalokaaripurkaus, joka lähettää suuren määrän elektronivirtaa ja titaani-ionivirtaa valokaarilähteestä muodostaen tiheän plasman. Titaani-ioni kiihdyttää ruiskutustaan ​​työkappaleeseen työkappaleeseen kohdistetun negatiivisen korkean esipaineen alaisena, pommittaen ja sputteroiden työkappaleen pinnalle adsorboitunutta jäännöskaasua ja epäpuhtauksia ja puhdistaen ja puhdistaen työkappaleen pinnan. Samanaikaisesti pinnoituskammiossa oleva kloorikaasu ionisoituu elektronien avulla ja argon-ionit kiihdyttävät työkappaleen pinnan pommitusta.

Siksi pommituspuhdistusvaikutus on hyvä. Jo noin minuutin pommituspuhdistus riittää puhdistamaan työkappaleen, jota kutsutaan "pääkaaripommitukseksi". Titaani-ionien suuren massan vuoksi, jos työkappaletta pommitetaan ja puhdistetaan liian pitkään pienellä valokaarilähteellä, työkappaleen lämpötila voi ylikuumentua ja terän reuna voi pehmentyä. Yleisesti ottaen tuotannossa pienet valokaarilähteet kytketään päälle yksi kerrallaan ylhäältä alas, ja kunkin pienen valokaarilähteen pommituspuhdistusaika on noin minuutti.

(1) Titaanipohjan pinnoite

Kalvon ja alustan välisen tarttuvuuden parantamiseksi ennen titaaninitridin pinnoitusta päällystetään yleensä puhdasta titaania oleva alustakerros. Tyhjiö säädetään arvoon 5 × 10⁻⁷–3 × 10⁻¹ Pa, työkappaleen esijännite säädetään arvoon 400–500 V ja pulssijännitelähteen käyttösuhde säädetään arvoon 40–50 %. Pieniä valokaarilähteitä sytytetään edelleen yksi kerrallaan kylmäkentän valokaaripurkauksen aikaansaamiseksi. Työkappaleen negatiivisen esijännitteen laskun vuoksi titaani-ionien energia pienenee. Työkappaleeseen saavuttamisen jälkeen sputterointivaikutus on pienempi kuin laskeutumisvaikutus, ja työkappaleelle muodostuu titaanisiirtymäkerros, joka parantaa titaaninitridikovakalvon ja alustan välistä sidosvoimaa. Tämä prosessi on myös työkappaleen lämmitysprosessi. Kun puhdas titaanikohteen purkaus tapahtuu, plasman valo on kirkkaansinistä.

1.Ammoniakittu kulho kova kalvopinnoite

Säädä tyhjiöasteeksi 3×10^-1-5 Pa, säädä työkappaleen esijännite 100–200 V:iin ja pulssiesijännitelähteen käyttösuhde 70–80 %:iin. Typen lisäämisen jälkeen titaani reagoi valokaaripurkausplasman kanssa ja muodostaa titaaninitridikovakalvon. Tässä vaiheessa plasman valo tyhjiökammiossa on kirsikanpunainen. Jos C₂H₂, O₂jne. lisätään, TiCN, TiO₂jne. kalvokerroksia voidaan saada.

–Tämän artikkelin julkaisi Guangdong Zhenhua,tyhjiöpinnoituskoneiden valmistaja