Arku katodikoaren ioien estalduraren prozesua funtsean beste estaldura-teknologien berdina da, eta piezak instalatzea eta xurgapena bezalako eragiketa batzuk ez dira errepikatzen.
1. Piezen bonbardaketa garbiketa
Estalduraren aurretik, argon gasa sartzen da estaldura-ganberan 2×10-2Pa-ko hutsunearekin.
Piztu pultsu-polarizazioaren elikatze-iturria, % 20ko betebehar-zikloarekin eta 800-1000V-ko piezaren polarizazioarekin.
Arkuaren potentzia pizten denean, eremu hotzeko arku-argiaren deskarga bat sortzen da, eta honek elektroi-korronte eta titanio-ioi korronte kopuru handia igortzen du arku-iturritik, dentsitate handiko plasma bat eratuz. Titanio ioiak piezan injektatzen du azeleratzen, piezari aplikatzen zaion presio negatibo handiaren pean, piezaren gainazalean adsorbatutako hondar-gasa eta kutsatzaileak bonbardatuz eta ihinztatuz, eta piezaren gainazala garbituz eta purifikatuz; Aldi berean, estaldura-ganberako kloro-gasa elektroiek ionizatzen dute, eta argon ioiek piezaren gainazalaren bonbardaketa azeleratzen dute.
Beraz, bonbardaketa bidezko garbiketa efektua ona da. Bonbardaketa bidezko garbiketak minutu 1 inguru behar du pieza garbitzeko, eta horri "arku nagusiaren bonbardaketa" deritzo. Titanio ioien masa handia dela eta, arku iturri txiki bat erabiltzen bada pieza denbora luzez bonbardatzeko eta garbitzeko, piezaren tenperatura gehiegi berotzeko joera du, eta erremintaren ertza bigundu egin daiteke. Ekoizpen orokorrean, arku iturri txikiak banan-banan pizten dira goitik behera, eta arku iturri txiki bakoitzak minutu 1 inguruko bonbardaketa bidezko garbiketa denbora du.
(1) Titaniozko beheko geruza estaltzea
Filmaren eta substratuaren arteko atxikimendua hobetzeko, titaniozko substratu puruzko geruza bat estaltzen da normalean titanio nitruroa estali aurretik. Hutsune-maila 5×10-2-3×10-1Pa-ra doitu, piezaren polarizazio-tentsioa 400-500V-ra doitu eta pultsu-polarizazioaren elikatze-iturriaren lan-zikloa %40~50era doitu. Arku-iturri txikiak banan-banan piztuz eremu hotzeko arku-deskarga sortzeko. Piezaren polarizazio-tentsio negatiboa gutxitzearen ondorioz, titaniozko ioien energia gutxitzen da. Piezara iritsi ondoren, ihinztadura-efektua deposizio-efektua baino txikiagoa da, eta titaniozko trantsizio-geruza bat sortzen da piezan titaniozko nitrurozko film gogorraren eta substratuaren arteko lotura-indarra hobetzeko. Prozesu hau pieza berotzeko prozesua ere bada. Titaniozko jomuga purua deskargatzen denean, plasmako argia urdin zerutiarra da.
1. Amoniako ontzi gogorraren film estaldura
Egokitu hutsune maila 3 × 10era-1-5Pa-tan, doi ezazu lantzeko piezaren polarizazio-tentsioa 100-200V-ra, eta doi ezazu pultsu-polarizazioaren elikatze-iturriaren lan-zikloa %70~80ra. Nitrogenoa sartu ondoren, titanioa arku-deskargako plasmarekin erreakzionatzen da titanio nitrurozko film gogorra metatzeko. Puntu honetan, huts-ganberan dagoen plasmaren argia gerezi gorrixka da. Baldin eta C2H2, O2, etab. sartzen dira, TiCN, TiO2, etab. film geruzak lor daitezke.
–Artikulu hau Guangdong Zhenhua-k argitaratu du,hutsean estaltzeko makina fabrikatzailea
Argitaratze data: 2023ko ekainak 1