Väikese kaarega allika ioonkatte protsess

Katoodse kaarallika ioonkatmise protsess on põhimõtteliselt sama mis teistel katmistehnoloogiatel ning mõningaid toiminguid, näiteks toorikute paigaldamist ja tolmuimejaga puhastamist, enam ei korrata.

1. Toorikute pommitamine puhastamisega

Enne katmist juhitakse katmiskambrisse argoongaasi vaakumis 2×10⁻⁸Pa.

Lülitage sisse impulss-eelpinge toiteallikas, mille töötsükkel on 20% ja töödeldava detaili eelpinge 800–1000 V.

Kui kaaretoide sisse lülitatakse, tekib külmvälja kaarlahendus, mis kiirgab kaareallikast suure hulga elektronvoolu ja titaanioonivoolu, moodustades suure tihedusega plasma. Titaanioon kiirendab sissepritset toorikusse toorikule rakendatava negatiivse suure eelpinge rõhu all, pommitades ja pihustades tooriku pinnale adsorbeerunud jääkgaasi ja saasteaineid ning puhastades ja puhastades tooriku pinda; samal ajal ioniseeritakse katmiskambris olev kloorgaas elektronide poolt ja argoonioonid kiirendavad tooriku pinna pommitamist.

Seega on pommitamise puhastusefekt hea. Ainult umbes 1 minutiga pommitamist saab töödeldavat detaili puhastada, seda nimetatakse "peamiseks kaarpommituseks". Titaanioonide suure massi tõttu, kui töödeldavat detaili pommitati ja puhastati liiga kaua väikese kaarallikaga, tõusis töödeldava detaili temperatuur üle ja tööriista serv võib muutuda pehmeks. Üldiselt lülitatakse väikesed kaarallikad sisse ükshaaval ülevalt alla ja iga väikese kaarallika pommitamise puhastusaeg on umbes 1 minut.

(1) Titaanist alumise kihi katmine

Kile ja aluspinna vahelise adhesiooni parandamiseks kantakse enne titaannitriidi pealekandmist tavaliselt peale puhtast titaanist aluspinna kiht. Vaakumi tase reguleeritakse 5 × 10⁻⁷–3 × 10⁻⁷ Pa-ni, töödeldava detaili eelpinge reguleeritakse 400–500 V-ni ja impulss-eelpingeallika töötsükkel reguleeritakse 40–50 % -ni. Külmvälja kaarlahenduse tekitamiseks süüdatakse ikka veel väikeseid kaarallikaid ükshaaval. Töödeldava detaili negatiivse eelpinge vähenemise tõttu väheneb titaaniioonide energia. Pärast töödeldavale detailile jõudmist on pritsimisefekt väiksem kui sadestumisefekt ja töödeldavale detailile moodustub titaanist üleminekukiht, mis parandab titaannitriidi kõva kilekihi ja aluspinna vahelist nakkejõudu. See protsess on ka töödeldava detaili kuumutamise protsess. Kui puhas titaanist märklaud tühjeneb, on plasma valgus taevasinine.

1.Ammoniaagiga kausi kõva kilekate

Reguleerige vaakumi aste 3×10 peale^-1-5 Pa juures reguleerige töödeldava detaili eelpinget 100–200 V-ni ja impulss-eelpingeallika töötsükkel 70–80% -ni. Pärast lämmastiku sissetoomist reageerib titaan kaarlahendusplasmaga, sadestades titaannitriidi kõva kile. Sel hetkel on vaakumkambris oleva plasma valgus kirsipunane. Kui C₂H₂, O₂jne., TiCN, TiO₂jne. on võimalik saada kilekihte.

– Selle artikli avaldas Guangdong Zhenhua, avaakumkatmismasinate tootja