HFCVD0606

La cámara de recubrimiento al vacío del equipo de deposición química de vapor adopta una estructura independiente de doble capa con refrigeración por agua, que ofrece un enfriamiento eficiente y uniforme, además de una estructura segura y estable. El equipo está diseñado con puertas dobles, múltiples ventanas de observación y múltiples interfaces de expansión, lo que facilita la conexión externa de periféricos auxiliares como medición de temperatura infrarroja, análisis espectral, videomonitorización y termopar. Su avanzado diseño facilita la revisión y el mantenimiento diarios, así como los cambios de configuración y las actualizaciones del equipo, y reduce eficazmente los costos de uso y actualización.

Características del equipo:

1. Los componentes de inflado del equipo incluyen principalmente medidor de flujo másico, válvula solenoide y tanque de mezcla de gases, que garantizan el control preciso del flujo de gas de proceso, mezcla uniforme y aislamiento seguro de diferentes gases, y pueden seleccionar componentes del sistema de gas para el uso de fuente de gas líquido, facilitar la selección personalizada de una amplia gama de fuentes de carbono líquido y el uso seguro de fuentes de boro líquido de electrodos y diamante conductor sintético.
2. El conjunto de extracción de aire está equipado con una bomba de vacío de paletas rotativas silenciosa y eficiente y un sistema de bomba turbomolecular que permite alcanzar rápidamente el alto vacío ambiental. El vacuómetro compuesto con medidor de resistencia e ionización se utiliza para la medición de vacío, así como el sistema de medidor de película capacitiva, que mide la presión de diferentes gases de proceso en un amplio rango. La presión de deposición se controla de forma totalmente automática mediante una válvula de control proporcional de alta precisión.
3. El componente de agua de refrigeración cuenta con medición multicanal de presión, caudal y temperatura, y monitoreo automático por software. Los diferentes componentes de refrigeración son independientes entre sí, lo que facilita el diagnóstico rápido de fallas. Todas las ramas cuentan con interruptores de válvula independientes, lo cual garantiza seguridad y eficiencia.
4. Los componentes de control eléctrico incorporan una gran pantalla LCD con interfaz hombre-máquina y funcionan con un PLC de control totalmente automático para facilitar la edición e importación de fórmulas de proceso. La curva gráfica muestra visualmente los cambios y valores de diversos parámetros, y los parámetros del equipo y del proceso se registran y archivan automáticamente para facilitar la localización de problemas y el análisis estadístico de datos.
5. El portapiezas está equipado con un servomotor que controla la elevación y el descenso de la mesa de sustrato. Se puede seleccionar entre mesa de sustrato de grafito o cobre rojo. La temperatura se mide mediante un termopar.
6. Los componentes del bastidor se pueden diseñar como un todo o por separado según los requisitos del cliente para satisfacer los requisitos de manejo especiales de los clientes.
7. Los componentes de la placa de sellado son elegantes y atractivos. Las placas de sellado en las diferentes áreas funcionales del equipo se pueden desmontar rápidamente o abrir y cerrar de forma independiente, lo que resulta muy práctico.

El equipo de CVD de filamento caliente es adecuado para depositar materiales de diamante, incluido el recubrimiento de película delgada, película gruesa autoportante, diamante microcristalino y nanocristalino, diamante conductor, etc. Se utiliza principalmente para el recubrimiento protector resistente al desgaste de herramientas de corte de carburo cementado, materiales semiconductores como silicio y carburo de silicio, recubrimiento de disipación de calor de dispositivos, electrodo de diamante conductor dopado con boro, desinfección con ozono de agua electrolítica o tratamiento de aguas residuales.