La procezo de katoda arka fonta jona tegaĵo estas baze la sama kiel aliaj tegaĵaj teknologioj, kaj iuj operacioj kiel instalado de laborpecoj kaj polvosuĉado jam ne plu ripetiĝas.
1. Bombarda purigado de laborpecoj
Antaŭ tegaĵo, argona gaso estas enkondukita en la tegaĵan ĉambron kun vakuo de 2×10⁻²Pa.
Ŝaltu la pulsan biasan elektroprovizon, kun ŝarĝciklo de 20% kaj laborpeca biaso de 800-1000V.
Kiam la arka potenco estas ŝaltita, malvarma kampa arkla lummalŝargo estas generita, kiu elsendas grandan kvanton da elektrona kurento kaj titania jona kurento el la arka fonto, formante alt-densecan plasmon. La titania jono akcelas sian injekton en la laborpecon sub la negativa alta biaspremo aplikita al la laborpeco, bombardante kaj ŝprucante la restan gason kaj poluaĵojn adsorbitajn sur la surfaco de la laborpeco, kaj purigante kaj purigante la surfacon de la laborpeco; Samtempe, la klorgaso en la tega ĉambro estas jonigita per elektronoj, kaj argonaj jonoj akcelas la bombardadon de la laborpeca surfaco.
Tial, la efiko de la bombada purigado estas bona. Nur ĉirkaŭ 1 minuto da bombada purigado povas purigi la laborpecon, kio nomiĝas "ĉefa arka bombado". Pro la alta maso de titanaj jonoj, se malgranda arka fonto estas uzata por bombadi kaj purigi la laborpecon tro longe, la temperaturo de la laborpeco emas trovarmiĝi, kaj la rando de la ilo povas moliĝi. En ĝenerala produktado, malgrandaj arkaj fontoj estas ŝaltitaj unu post unu de supre malsupren, kaj ĉiu malgranda arka fonto havas bombadan purigan tempon de ĉirkaŭ 1 minuto.
(1) Kovranta titanian malsupran tavolon
Por plibonigi la adheron inter la filmo kaj la substrato, tavolo de pura titania substrato estas kutime kovrita antaŭ ol kovri per titania nitrido. Alĝustigu la vakuan nivelon al 5×10⁻²-3×10⁻¹Pa, alĝustigu la antaŭtension de la laborpeco al 400-500V, kaj alĝustigu la ŝarĝciklon de la pulsa antaŭtensio al 40%~50%. Ankoraŭ ekbruligante malgrandajn arkajn fontojn unu post la alia por generi malvarmkampan arkan malŝarĝon. Pro la malpliiĝo de la negativa antaŭtensio de la laborpeco, la energio de titaniaj jonoj malpliiĝas. Post atingado de la laborpeco, la ŝprucefiko estas malpli ol la depozicia efiko, kaj titania transira tavolo formiĝas sur la laborpeco por plibonigi la ligforton inter la titania nitrida malmola filmtavolo kaj la substrato. Ĉi tiu procezo estas ankaŭ la procezo de varmigo de la laborpeco. Kiam la pura titania celo estas malŝarĝita, la lumo en la plasmo estas lazurblua.
1. Amoniaka bovlo malmola filmtegaĵo
Adaptu la vakuogradon al 3×10-1-5Pa, ĝustigu la tension de la prilaborita peco al 100-200V, kaj ĝustigu la ŝarĝciklon de la pulsa polarigita elektrofonto al 70%~80%. Post enmeto de nitrogeno, titanio kombiniĝas kun la arka malŝarĝa plasmo por deponi malmolan filmon de titana nitrido. Je ĉi tiu punkto, la lumo de la plasmo en la vakua ĉambro estas ĉerizruĝa. Se C2H2, Ho2, ktp. estas enkondukitaj, TiCN, TiO2, ktp. oni povas akiri filmtavolojn.
–Ĉi tiun artikolon publikigis Guangdong Zhenhua, kompaniofabrikanto de vakuaj tegaĵmaŝinoj
Afiŝtempo: 1-a de junio 2023