RCW600

Diese Geräteserie nutzt Magnetrontargets, um Beschichtungsmaterialien in nanometergroße Partikel umzuwandeln, die sich auf der Oberfläche von Substraten ablagern und dünne Filme bilden. Der gerollte Film wird in die Vakuumkammer gelegt. Durch die elektrisch angetriebene Wickelstruktur wird der Film an einem Ende aufgenommen und am anderen Ende abgelegt. Er durchläuft den Targetbereich und nimmt die Targetpartikel auf, um einen dichten Film zu bilden.
Merkmal:

1. Filmbildung bei niedriger Temperatur. Die Temperatur hat wenig Einfluss auf den Film und führt nicht zu Verformungen. Geeignet für PET-, PI- und andere Basismaterial-Coil-Filme.
2. Die Filmdicke kann gestaltet werden. Durch Prozessanpassung können dünne oder dicke Beschichtungen entworfen und abgeschieden werden.
3. Design mit mehreren Zielpositionen, flexibler Prozess. Die gesamte Maschine kann mit acht Targets ausgestattet werden, die entweder als einfache Metalltargets oder als Verbund- und Oxidtargets verwendet werden können. Sie ermöglicht die Herstellung von einschichtigen Filmen mit einfacher Struktur oder mehrschichtigen Filmen mit Verbundstruktur. Der Prozess ist sehr flexibel.

Mit der Anlage können elektromagnetische Abschirmfolien, flexible Leiterplattenbeschichtungen, verschiedene dielektrische Folien, mehrschichtige AR-Antireflexfolien, HR-Hochentspiegelungsfolien, Farbfolien usw. hergestellt werden. Die Anwendungsmöglichkeiten der Anlage sind sehr breit und die Abscheidung einschichtiger Folien kann durch einmaliges Abscheiden der Folie abgeschlossen werden.
Die Ausrüstung kann einfache Metallziele wie Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl usw. oder zusammengesetzte Ziele wie SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO usw. aufnehmen.

Die Geräte sind klein, kompakt in der Bauweise, haben eine geringe Grundfläche, einen niedrigen Energieverbrauch und sind flexibel anpassbar. Sie eignen sich sehr gut für die Prozessforschung und -entwicklung oder die Massenproduktion kleiner Chargen.