Mae'r broses o orchuddio ïonau ffynhonnell arc cathodig yr un fath yn y bôn â thechnolegau cotio eraill, ac nid yw rhai gweithrediadau fel gosod darnau gwaith a sugno llwch yn cael eu hailadrodd mwyach.
1. Glanhau darnau gwaith trwy fomio
Cyn cotio, cyflwynir nwy argon i'r siambr cotio gyda gwactod o 2 × 10-2Pa.
Trowch y cyflenwad pŵer rhagfarn pwls ymlaen, gyda chylchred dyletswydd o 20% a rhagfarn darn gwaith o 800-1000V.
Pan fydd pŵer yr arc yn cael ei droi ymlaen, cynhyrchir gollyngiad golau arc maes oer, sy'n allyrru llawer iawn o gerrynt electron a cherrynt ïon titaniwm o ffynhonnell yr arc, gan ffurfio plasma dwysedd uchel. Mae'r ïon titaniwm yn cyflymu ei chwistrelliad i'r darn gwaith o dan y pwysau rhagfarn uchel negyddol a roddir ar y darn gwaith, gan fomio a chwistrellu'r nwy a'r llygryddion gweddilliol sydd wedi'u hamsugno ar wyneb y darn gwaith, a glanhau a phuro wyneb y darn gwaith; Ar yr un pryd, mae'r nwy clorin yn y siambr cotio yn cael ei ïoneiddio gan electronau, ac mae ïonau argon yn cyflymu bomio wyneb y darn gwaith.
Felly, mae effaith glanhau bomio yn dda. Dim ond tua 1 munud o lanhau bomio all lanhau'r darn gwaith, a elwir yn "bomio arc prif". Oherwydd màs uchel ïonau titaniwm, os defnyddir ffynhonnell arc fach i fomio a glanhau'r darn gwaith am gyfnod rhy hir, mae tymheredd y darn gwaith yn dueddol o orboethi, a gall ymyl yr offeryn fynd yn feddal. Mewn cynhyrchu cyffredinol, mae ffynonellau arc bach yn cael eu troi ymlaen un wrth un o'r top i'r gwaelod, ac mae gan bob ffynhonnell arc fach amser glanhau bomio o tua 1 munud.
(1) Gorchuddio haen waelod titaniwm
Er mwyn gwella'r adlyniad rhwng y ffilm a'r swbstrad, mae haen o swbstrad titaniwm pur fel arfer yn cael ei orchuddio cyn gorchuddio titaniwm nitrid. Addaswch y lefel gwactod i 5 × 10-2-3 × 10-1Pa, addaswch foltedd rhagfarn y darn gwaith i 400-500V, ac addaswch gylch dyletswydd y cyflenwad pŵer rhagfarn pwls i 40% ~ 50%. Gan danio ffynonellau arc bach un wrth un o hyd i gynhyrchu rhyddhau arc maes oer. Oherwydd y gostyngiad yn foltedd rhagfarn negyddol y darn gwaith, mae egni ïonau titaniwm yn lleihau. Ar ôl cyrraedd y darn gwaith, mae'r effaith chwistrellu yn llai na'r effaith dyddodiad, ac mae haen drawsnewid titaniwm yn cael ei ffurfio ar y darn gwaith i wella'r grym bondio rhwng yr haen ffilm galed titaniwm nitrid a'r swbstrad. Mae'r broses hon hefyd yn broses o gynhesu'r darn gwaith. Pan fydd y targed titaniwm pur yn cael ei ryddhau, mae'r golau yn y plasma yn las asur.
1. Gorchudd ffilm galed powlen amonïedig
Addaswch y radd gwactod i 3 × 10-1-5Pa, addaswch foltedd rhagfarn y darn gwaith i 100-200V, ac addaswch gylch dyletswydd y cyflenwad pŵer rhagfarn pwls i 70% ~ 80%. Ar ôl cyflwyno nitrogen, mae titaniwm yn adweithio mewn adwaith cyfunol â'r plasma rhyddhau arc i ddyddodi ffilm galed titaniwm nitrid. Ar y pwynt hwn, mae golau'r plasma yn y siambr gwactod yn goch ceirios. Os C2H2, O2, ac ati yn cael eu cyflwyno, TiCN, TiO2, ac ati. gellir cael haenau ffilm.
–Cyhoeddwyd yr erthygl hon gan Guangdong Zhenhua, agwneuthurwr peiriant cotio gwactod
Amser postio: Mehefin-01-2023