U prucessu di rivestimentu di ioni di fonte d'arcu catodicu hè basicamente u listessu cum'è altre tecnulugie di rivestimentu, è alcune operazioni cum'è l'installazione di pezzi è l'aspirazione ùn sò più ripetute.
1. Pulizia di bombardamentu di pezzi di travagliu
Prima di u rivestimentu, u gasu argon hè introduttu in a camera di rivestimentu cù un vacuum di 2 × 10-2Pa.
Accendete l'alimentazione di polarizazione di l'impulsi, cù un ciclu di travagliu di 20% è una polarizazione di a pezza di travagliu di 800-1000V.
Quandu l'alimentazione di l'arcu hè accesa, si genera una scarica di luce à arcu di campu fretu, chì emette una grande quantità di corrente elettronica è corrente di ioni di titaniu da a fonte di l'arcu, furmendu un plasma d'alta densità. L'ione di titaniu accelera a so iniezione in a pezza sottu à a pressione di polarizazione negativa alta applicata à a pezza, bombardendu è sputterendu u gasu residuale è l'inquinanti adsorbiti nantu à a superficia di a pezza, è pulendu è purificendu a superficia di a pezza; À u listessu tempu, u gasu di cloru in a camera di rivestimentu hè ionizatu da l'elettroni, è l'ioni d'argon acceleranu u bombardamentu di a superficia di a pezza.
Dunque, l'effettu di pulizia di u bombardamentu hè bonu. Solu circa 1 minutu di pulizia di u bombardamentu pò pulisce a pezza, ciò chì hè chjamatu "bombardamentu à l'arcu principale". A causa di l'alta massa di ioni di titaniu, se una piccula fonte d'arcu hè aduprata per bombardà è pulisce a pezza per troppu tempu, a temperatura di a pezza hè propensa à u surriscaldamentu, è u bordu di l'utensile pò diventà dolce. In a pruduzzione generale, e piccule fonti d'arcu sò accese una per una da cima à fondu, è ogni piccula fonte d'arcu hà un tempu di pulizia di u bombardamentu di circa 1 minutu.
(1) Rivestimentu di u stratu inferiore di titaniu
Per migliurà l'adesione trà u filmu è u substratu, un stratu di substratu di titaniu puru hè generalmente rivestitu prima di rivestisce u nitruru di titaniu. Ajustate u livellu di vacuum à 5 × 10-2-3 × 10-1Pa, aghjustate a tensione di polarizazione di a pezza à 400-500V, è aghjustate u ciclu di travagliu di l'alimentazione di polarizazione di l'impulsu à 40% ~ 50%. Accendendu sempre piccule fonti d'arcu una per una per generà una scarica d'arcu di campu fretu. A causa di a diminuzione di a tensione di polarizazione negativa di a pezza, l'energia di l'ioni di titaniu diminuisce. Dopu avè righjuntu a pezza, l'effettu di sputtering hè menu di l'effettu di deposizione, è un stratu di transizione di titaniu hè furmatu nantu à a pezza per migliurà a forza di legame trà u stratu di filmu duru di nitruru di titaniu è u substratu. Stu prucessu hè ancu u prucessu di riscaldamentu di a pezza. Quandu u bersagliu di titaniu puru hè scaricatu, a luce in u plasma hè turchina.
1. Rivestimentu di film duru in ciotola ammoniata
Ajustà u gradu di vacuum à 3 × 10-1-5Pa, aghjustate a tensione di polarizazione di a pezza à 100-200V, è aghjustate u ciclu di travagliu di l'alimentazione di polarizazione di l'impulsu à 70% ~ 80%. Dopu l'introduzione di l'azotu, u titaniu hè in reazione di cumbinazione cù u plasma di scarica à arcu per deposità una pellicola dura di nitruru di titaniu. À questu puntu, a luce di u plasma in a camera à vuoto hè rossa ciliegia. Se C2H2, O2, ecc. sò introdutti, TiCN, TiO2, ecc. si ponu ottene strati di film.
–Stu articulu hè statu publicatu da Guangdong Zhenhua, unafabricatore di macchine di rivestimentu à vuoto
Data di publicazione: 01 di ghjugnu di u 2023