Proces premazivanja ionima iz malog luka

Proces nanošenja jona katodnim lukom je u osnovi isti kao i kod drugih tehnologija nanošenja, a neke operacije poput postavljanja radnih komada i usisavanja se više ne ponavljaju.

1. Čišćenje radnih komada bombardovanjem

Prije nanošenja premaza, argon se uvodi u komoru za premazivanje pod vakuumom od 2×10⁻²Pa.

Uključite napajanje impulsnim naponom, s radnim ciklusom od 20% i naponom obratka od 800-1000V.

Kada se uključi napajanje luka, generira se pražnjenje hladnog polja luka, koje emituje veliku količinu elektronske struje i struje titanijumskih iona iz izvora luka, formirajući plazmu visoke gustine. Titanijumski ion ubrzava svoje ubrizgavanje u radni komad pod negativnim visokim prednaponom koji se primjenjuje na radni komad, bombardujući i raspršujući preostali gas i zagađivače adsorbovane na površini radnog komada, te čisteći i prečišćavajući površinu radnog komada; Istovremeno, hlor u komori za premazivanje se jonizuje elektronima, a ioni argona ubrzavaju bombardovanje površine radnog komada.

Stoga je učinak čišćenja bombardiranjem dobar. Samo oko 1 minuta čišćenja bombardiranjem može očistiti obradak, što se naziva "glavno lučno bombardiranje". Zbog velike mase titanovih iona, ako se mali izvor luka koristi za bombardiranje i čišćenje obradka predugo, temperatura obradka je sklona pregrijavanju, a rub alata može omekšati. U općoj proizvodnji, mali izvori luka se uključuju jedan po jedan od vrha prema dnu, a svaki mali izvor luka ima vrijeme čišćenja bombardiranjem od oko 1 minute.

(1) Donji sloj premaza od titana

Kako bi se poboljšalo prianjanje između filma i podloge, obično se prije nanošenja titanijum nitrida nanosi sloj čistog titanijumskog supstrata. Podesite nivo vakuuma na 5×10⁻²-3×10⁻¹Pa, podesite napon prednapona radnog komada na 400-500V i podesite radni ciklus pulsnog napajanja prednapona na 40%~50%. I dalje palite male izvore luka jedan po jedan kako biste generirali hladno polje električnog pražnjenja. Zbog smanjenja negativnog napona prednapona radnog komada, energija titanijumskih iona se smanjuje. Nakon što dođu do radnog komada, efekat raspršivanja je manji od efekta taloženja, a na radnom komadu se formira prelazni sloj titanijuma kako bi se poboljšala sila vezivanja između sloja tvrdog filma titanijum nitrida i podloge. Ovaj proces je ujedno i proces zagrijavanja radnog komada. Kada se meta od čistog titanijuma isprazni, svjetlost u plazmi je azurno plava.

1. Premaz od tvrdog filma s amonijakom u posudi

Podesite stepen vakuuma na 3×10^-1-5Pa, podesite napon prednapona obratka na 100-200V i podesite radni ciklus pulsnog napajanja prednapona na 70%~80%. Nakon uvođenja dušika, titan se kombinira s plazmom lučnog pražnjenja kako bi se nataložio tvrdi film titan nitrida. U ovom trenutku, svjetlost plazme u vakuumskoj komori je trešnjasto crvene boje. Ako C₂H₂, O₂itd. se uvode, TiCN, TiO₂, itd. mogu se dobiti slojevi filma.

–Ovaj članak je objavio Guangdong Zhenhua,proizvođač mašina za vakuumsko premazivanje