HFCVD0606

Komora za vakuumsko premazivanje opreme za hemijsko taloženje iz pare usvaja nezavisnu dvoslojnu strukturu vodenog hlađenja, koja je efikasna i ujednačena u hlađenju, te ima sigurnu i stabilnu strukturu. Oprema je dizajnirana s dvostrukim vratima, više prozora za posmatranje i više interfejsa za proširenje, što je pogodno za vanjsko povezivanje pomoćnih perifernih uređaja kao što su infracrveno mjerenje temperature, spektralna analiza, video nadzor i termoelement. Napredni koncept dizajna olakšava i pojednostavljuje dnevni remont i održavanje, promjenu konfiguracije i nadogradnju opreme, te efikasno smanjuje troškove korištenja i nadogradnje.

Karakteristike opreme:

1. Komponente opreme za naduvavanje uglavnom uključuju mjerač masenog protoka, solenoidni ventil i rezervoar za miješanje plina, koji osiguravaju preciznu kontrolu protoka procesnog plina, ujednačeno miješanje i sigurnu izolaciju različitih plinova, te mogu odabrati komponente plinskog sistema za korištenje izvora tekućeg plina, olakšati personalizirani odabir širokog spektra izvora tekućeg ugljika i sigurnu upotrebu sintetičkih provodljivih dijamanata i izvora tekućeg bora za elektrode.
2. Sklop za ekstrakciju zraka opremljen je tihom i efikasnom rotacionom vakuum pumpom s lopaticama i turbomolekularnim pumpnim sistemom koji može brzo zadovoljiti uvjete visokog vakuuma. Za mjerenje vakuuma koristi se kompozitni vakuummetar s mjeračem otpora i jonizacijskim mjeračem, kao i kapacitivni filmski mjerni sistem koji može mjeriti pritisak različitih procesnih plinova u širokom rasponu. Pritisak taloženja je potpuno automatski kontroliran visokopreciznim proporcionalnim regulacijskim ventilom.
3. Komponenta rashladne vode opremljena je višekanalnim mjerenjem pritiska vode, protoka, temperature i softverskim automatskim praćenjem. Različite komponente za hlađenje su nezavisne jedna od druge, što je pogodno za brzu dijagnozu kvara. Sve grane imaju nezavisne prekidače ventila, što je sigurno i efikasno.
4. Električne upravljačke komponente koriste velike LCD ekrane s interfejsom čovjek-mašina i sarađuju s potpuno automatskim PLC upravljanjem kako bi se olakšalo uređivanje i uvoz procesnih formula. Grafička krivulja vizualno prikazuje promjene i vrijednosti različitih parametara, a parametri opreme i procesa se automatski bilježe i arhiviraju kako bi se olakšalo praćenje problema i statistička analiza podataka.
5. Stalak za obradke opremljen je servo motorom za kontrolu podizanja i spuštanja stola za podlogu. Može se odabrati grafitni ili crveni bakarni stol za podlogu. Temperatura se mjeri termoelementom.
6. Komponente regala mogu se dizajnirati kao cjelina ili odvojeno prema zahtjevima kupca kako bi se zadovoljili posebni zahtjevi kupaca za rukovanje.
7. Komponente zaptivne ploče su lijepe i elegantne. Zaptivne ploče u različitim funkcionalnim modulima opreme mogu se brzo rastaviti ili nezavisno otvoriti i zatvoriti, što je vrlo praktično za korištenje.

CVD oprema s vrućim filamentom pogodna je za nanošenje dijamantskih materijala, uključujući tankoslojne premaze, samonosive debele filmove, mikrokristalne i nanokristalne dijamante, provodljive dijamante itd. Uglavnom se koristi za zaštitne premaze otporne na habanje alata za rezanje od cementiranog karbida, poluprovodničkih materijala poput silicija i silicij-karbida, premaze za odvođenje topline uređaja, provodljive dijamantske elektrode dopirane borom, dezinfekciju ozonom elektrolitičke vode ili tretman otpadnih voda.