ক্যাথোডিক আর্ক সোর্স আয়ন আবরণের প্রক্রিয়া মূলত অন্যান্য আবরণ প্রযুক্তির মতোই, এবং কিছু কাজ যেমন ওয়ার্কপিস ইনস্টল করা এবং ভ্যাকুয়াম পরিষ্কার করা আর পুনরাবৃত্তি হয় না।
১. ওয়ার্কপিসের বোমাবাজি পরিষ্কার করা
আবরণের আগে, আর্গন গ্যাস 2×10-2Pa ভ্যাকুয়াম সহ আবরণ চেম্বারে প্রবেশ করানো হয়।
পালস বায়াস পাওয়ার সাপ্লাই চালু করুন, যার ডিউটি সাইকেল ২০% এবং ওয়ার্কপিস বায়াস ৮০০-১০০০V।
যখন আর্ক পাওয়ার চালু করা হয়, তখন একটি ঠান্ডা ক্ষেত্রের আর্ক লাইট ডিসচার্জ তৈরি হয়, যা আর্ক উৎস থেকে প্রচুর পরিমাণে ইলেকট্রন কারেন্ট এবং টাইটানিয়াম আয়ন কারেন্ট নির্গত করে, যা একটি উচ্চ-ঘনত্বের প্লাজমা তৈরি করে। টাইটানিয়াম আয়ন ওয়ার্কপিসে প্রয়োগ করা নেতিবাচক উচ্চ পক্ষপাত চাপের অধীনে ওয়ার্কপিসে তার ইনজেকশনকে ত্বরান্বিত করে, ওয়ার্কপিসের পৃষ্ঠে শোষিত অবশিষ্ট গ্যাস এবং দূষণকারীগুলিকে বোমাবর্ষণ এবং স্পুটার করে এবং ওয়ার্কপিসের পৃষ্ঠ পরিষ্কার এবং বিশুদ্ধ করে; একই সময়ে, আবরণ চেম্বারের ক্লোরিন গ্যাস ইলেকট্রন দ্বারা আয়নিত হয় এবং আর্গন আয়নগুলি ওয়ার্কপিস পৃষ্ঠের বোমাবর্ষণকে ত্বরান্বিত করে।
অতএব, বোমাবাজি পরিষ্কারের প্রভাব ভালো। মাত্র ১ মিনিটের বোমাবাজি পরিষ্কারের মাধ্যমে ওয়ার্কপিস পরিষ্কার করা সম্ভব, যাকে "প্রধান আর্ক বোমাবাজি" বলা হয়। টাইটানিয়াম আয়নের ভর বেশি হওয়ার কারণে, যদি একটি ছোট আর্ক সোর্স ব্যবহার করে ওয়ার্কপিসটি খুব বেশি সময় ধরে বোমাবাজি এবং পরিষ্কার করা হয়, তাহলে ওয়ার্কপিসের তাপমাত্রা অতিরিক্ত গরম হওয়ার ঝুঁকি থাকে এবং টুলের প্রান্ত নরম হয়ে যেতে পারে। সাধারণ উৎপাদনে, ছোট আর্ক সোর্সগুলি উপরে থেকে নীচে পর্যন্ত একে একে চালু করা হয় এবং প্রতিটি ছোট আর্ক সোর্সের বোমাবাজি পরিষ্কারের সময় প্রায় ১ মিনিট থাকে।
(১) টাইটানিয়াম নীচের স্তরের আবরণ
ফিল্ম এবং সাবস্ট্রেটের মধ্যে আনুগত্য উন্নত করার জন্য, টাইটানিয়াম নাইট্রাইড আবরণ করার আগে সাধারণত বিশুদ্ধ টাইটানিয়াম সাবস্ট্রেটের একটি স্তর প্রলেপ দেওয়া হয়। ভ্যাকুয়াম স্তর 5×10-2-3×10-1Pa এ সামঞ্জস্য করুন, ওয়ার্কপিসের বায়াস ভোল্টেজ 400-500V এ সামঞ্জস্য করুন এবং পালস বায়াস পাওয়ার সাপ্লাইয়ের ডিউটি চক্র 40%~50% এ সামঞ্জস্য করুন। এখনও ছোট আর্ক উৎসগুলিকে একের পর এক প্রজ্বলিত করে ঠান্ডা ক্ষেত্রের আর্সিং ডিসচার্জ তৈরি করা হচ্ছে। ওয়ার্কপিসের নেতিবাচক বায়াস ভোল্টেজ হ্রাসের কারণে, টাইটানিয়াম আয়নগুলির শক্তি হ্রাস পায়। ওয়ার্কপিসে পৌঁছানোর পরে, স্পুটারিং প্রভাব জমা প্রভাবের চেয়ে কম হয় এবং টাইটানিয়াম নাইট্রাইড হার্ড ফিল্ম স্তর এবং সাবস্ট্রেটের মধ্যে বন্ধন শক্তি উন্নত করার জন্য ওয়ার্কপিসে একটি টাইটানিয়াম ট্রানজিশন স্তর তৈরি হয়। এই প্রক্রিয়াটি ওয়ার্কপিসকে গরম করার প্রক্রিয়াও। যখন বিশুদ্ধ টাইটানিয়াম লক্ষ্যবস্তু নিঃসৃত হয়, তখন প্লাজমাতে আলো নীল রঙের হয়।
১. অ্যামোনিয়েটেড বাটি হার্ড ফিল্ম লেপ
ভ্যাকুয়াম ডিগ্রী 3×10 এ সামঞ্জস্য করুন-1-5Pa, ওয়ার্কপিসের বায়াস ভোল্টেজ 100-200V এ সামঞ্জস্য করুন এবং পালস বায়াস পাওয়ার সাপ্লাইয়ের ডিউটি চক্র 70%~80% এ সামঞ্জস্য করুন। নাইট্রোজেন প্রবর্তনের পর, টাইটানিয়াম হল আর্ক ডিসচার্জ প্লাজমার সাথে সংমিশ্রণ বিক্রিয়া যা টাইটানিয়াম নাইট্রাইড হার্ড ফিল্ম জমা করে। এই সময়ে, ভ্যাকুয়াম চেম্বারে প্লাজমার আলো চেরি লাল। যদি C2H2, ও2, ইত্যাদি চালু করা হয়, TiCN, TiO2, ইত্যাদি ফিল্ম স্তর পাওয়া যেতে পারে।
–এই প্রবন্ধটি গুয়াংডং ঝেনহুয়া দ্বারা প্রকাশিত হয়েছে, একটিভ্যাকুয়াম লেপ মেশিন প্রস্তুতকারক
পোস্টের সময়: জুন-০১-২০২৩