Працэс нанясення іоннага пакрыцця з дапамогай катоднай дугі ў асноўным такі ж, як і ў іншых тэхналогіях пакрыцця, і некаторыя аперацыі, такія як усталёўка дэталяў і вакуумаванне, больш не паўтараюцца.
1. Ачыстка дэталяў бамбардзіроўкай
Перад нанясеннем пакрыцця ў камеру для нанясення пакрыцця ўводзіцца аргон пад вакуумам 2×10⁻² Па.
Уключыце імпульсную крыніцу сілкавання з каэфіцыентам запаўнення 20% і напружаннем зрушэння дэталі 800-1000 В.
Пры ўключэнні дугі генеруецца халодны дугавы разрад, які выпраменьвае вялікую колькасць электроннага току і току іонаў тытана з крыніцы дугі, утвараючы плазму высокай шчыльнасці. Іоны тытана паскараюць сваё ўвядзенне ў дэталь пад уздзеяннем высокага адмоўнага ціску зрушэння, што прымяняецца да дэталі, бамбардзіруючы і распыляючы рэшткі газу і забруджвальных рэчываў, адсарбаваных на паверхні дэталі, ачышчаючы і ачышчаючы паверхню дэталі; у той жа час газападобны хлор у камеры пакрыцця іянізуецца электронамі, а іоны аргону паскараюць бамбардзіроўку паверхні дэталі.
Такім чынам, эфект ачысткі бамбардзіроўкай добры. Усяго каля 1 хвіліны ачысткі бамбардзіроўкай дастаткова для ачысткі дэталі, што называецца «бамбардзіроўкай асноўнай дугой». З-за вялікай масы іонаў тытана, калі для бамбардзіроўкі і ачысткі дэталі занадта доўга выкарыстоўваецца невялікая крыніца дугі, тэмпература дэталі можа перагрэцца, і лязо інструмента можа стаць мяккім. У агульнай вытворчасці невялікія крыніцы дугі ўключаюцься адна за адной зверху ўніз, і час ачысткі бамбардзіроўкай кожнай невялікай крыніцы дугі складае каля 1 хвіліны.
(1) Ніжні пласт пакрыцця з тытана
Каб палепшыць адгезію паміж плёнкай і падкладкай, перад нанясеннем нітрыду тытана звычайна наносяць пласт чыстай тытанавай падкладкі. Усталюйце ўзровень вакууму да 5×10⁻²-3×10⁻¹ Па, адрэгулюйце напружанне зрушэння дэталі да 400-500 В і адрэгулюйце каэфіцыент запаўнення імпульснай крыніцы харчавання зрушэння да 40%~50%. Пры гэтым невялікія крыніцы дугі запальваюцца па адной для стварэння халоднага дугавога разраду. З-за зніжэння адмоўнага напружання зрушэння дэталі энергія іёнаў тытана памяншаецца. Пасля дасягнення дэталі эфект распылення меншы за эфект адкладання, і на дэталі ўтвараецца пераходны пласт тытана, які паляпшае сілу злучэння паміж цвёрдай плёнкай нітрыду тытана і падкладкай. Гэты працэс таксама з'яўляецца працэсам нагрэву дэталі. Пры разрадзе мішэні з чыстага тытана святло ў плазме мае блакітна-блакітны колер.
1. Пакрыццё цвёрдай плёнкі з аміячнай чашы
Усталюйце ступень вакууму да 3×10-1-5 Па, адрэгулюйце напружанне зрушэння дэталі да 100-200 В і адрэгулюйце каэфіцыент запаўнення імпульснай крыніцы харчавання да 70%~80%. Пасля ўвядзення азоту тытан рэагуе з плазмай дугавога разраду, утвараючы цвёрдую плёнку нітрыду тытана. У гэты момант святло плазмы ў вакуумнай камеры мае вішнёва-чырвоны колер. Калі C2H2, О2і г.д. уводзяцца TiCN, TiO2і г.д. можна атрымаць плёнкавыя пласты.
–Гэты артыкул быў апублікаваны выдавецтвам Guangdong Zhenhuaвытворца вакуумных пакрыццяў
Час публікацыі: 01 чэрвеня 2023 г.