تعتمد هذه المعدات بشكل أساسي على الترسيب الكيميائي للبخار لتحضير طبقة الأكسيد، والتي تتميز بسرعة الترسيب وجودة الطبقة العالية. أما بالنسبة لهيكل المعدات، فقد تم استخدام تصميم الباب المزدوج لتحسين كفاءة التثبيت، كما تم اعتماد أحدث نظام لتزويد الغاز السائل لضمان تدفق مستقر وقابل للتحكم، وبالتالي ضمان استقرار العملية بشكل فعال. تتميز الطبقة المُحضّرة بواسطة هذه المعدات بحاجز جيد لبخار الماء وفترة استقرار أطول في اختبار الغليان.
يمكن استخدام هذه المعدات مع الفولاذ المقاوم للصدأ، والأجزاء المعدنية/البلاستيكية المطلية بالكهرباء، والزجاج، والسيراميك، وغيرها من المواد، مثل المنتجات الإلكترونية، ومصابيح LED، والمستلزمات الطبية، وغيرها من المنتجات التي تتطلب مقاومة للأكسدة. يُستخدم غشاء SiOx الحاجز بشكل أساسي لحجب بخار الماء بفعالية، ومنع التآكل والأكسدة، وإطالة عمر المنتج.
| نماذج اختيارية | حجم الحجرة الداخلية |
| ZHCVD1200 | φ1200*H1950(مم) |