HFCVD0606

تعتمد حجرة الطلاء الفراغي لمعدات الترسيب الكيميائي للبخار على هيكل تبريد مائي مستقل مزدوج الطبقات، يتميز بكفاءة التبريد وتوحيده، وهيكله الآمن والمستقر. صُممت المعدات بأبواب مزدوجة، ونوافذ مراقبة متعددة، وواجهات توسعة متعددة، مما يُسهّل التوصيل الخارجي للأجهزة الطرفية المساعدة، مثل قياس درجة الحرارة بالأشعة تحت الحمراء، والتحليل الطيفي، ومراقبة الفيديو، والثرموكوبل. يُسهّل مفهوم التصميم المتطور عمليات الصيانة والإصلاح اليومية، وتغيير التكوين، وترقية المعدات، ويُقلّل بشكل فعال من تكاليف الاستخدام والترقية.

مميزات المعدات:

1. تشمل مكونات التضخم للمعدات بشكل أساسي مقياس تدفق الكتلة وصمام الملف اللولبي وخزان خلط الغاز، مما يضمن التحكم الدقيق في تدفق غاز العملية والخلط الموحد والعزل الآمن للغازات المختلفة، ويمكنه اختيار مكونات نظام الغاز لاستخدام مصدر الغاز السائل، وتسهيل الاختيار الشخصي لمجموعة واسعة من مصادر الكربون السائل، والاستخدام الآمن لمصادر الماس الموصل الاصطناعي والبورون السائل الكهربائي.
٢. وحدة شفط الهواء مُجهزة بمضخة تفريغ دوارة فعّالة وهادئة، ونظام مضخة جزيئية توربينية، لتلبية متطلبات بيئة الفراغ العالي بسرعة. يُستخدم مقياس الفراغ المركب مع مقياس المقاومة ومقياس التأين لقياس الفراغ، بالإضافة إلى نظام مقياس الغشاء السعوي الذي يقيس ضغط غازات العمليات المختلفة على نطاق واسع. يتم التحكم في ضغط الترسيب تلقائيًا بالكامل بواسطة صمام تحكم تناسبي عالي الدقة.
٣. مُكوّن مياه التبريد مُجهّز بقياس متعدد القنوات لضغط الماء، وتدفقه، ودرجة حرارته، ومراقبة تلقائية بواسطة البرنامج. جميع مُكوّنات التبريد مُستقلة عن بعضها البعض، مما يُسهّل تشخيص الأعطال بسرعة. جميع الفروع مُزوّدة بمفاتيح صمام مُستقلة، مما يضمن الأمان والكفاءة.
٤. تعتمد مكونات التحكم الكهربائي على شاشة LCD كبيرة الحجم لواجهة المستخدم، وتتعاون مع نظام التحكم الآلي PLC لتسهيل تحرير واستيراد صيغ العمليات. يعرض المنحنى البياني تغييرات وقيم مختلف المعلمات بصريًا، كما تُسجَّل معلمات المعدات والعمليات تلقائيًا وتُؤرشف، مما يُسهِّل تتبع المشكلات وتحليل البيانات إحصائيًا.
٥. رفّ قطعة العمل مُجهّز بمحرك سيرفو للتحكم في رفع وخفض طاولة الركيزة. يُمكن اختيار طاولة الركيزة المصنوعة من الجرافيت أو النحاس الأحمر. تُقاس درجة الحرارة بواسطة مُزدوج حراري.
6. يمكن تصميم مكونات الرفوف ككل أو بشكل منفصل وفقًا لمتطلبات العملاء لتلبية متطلبات المناولة الخاصة للعملاء.
٧. مكونات لوحة الختم جميلة وأنيقة. يمكن فكّ لوحات الختم في مختلف مناطق الوحدات الوظيفية للجهاز بسرعة أو فتحها وإغلاقها بشكل مستقل، مما يجعلها سهلة الاستخدام.

معدات ترسيب البخار الكيميائي للخيوط الساخنة مناسبة لترسيب مواد الماس، بما في ذلك طلاء الأغشية الرقيقة، والأغشية السميكة الداعمة ذاتيًا، والماس الميكروبلوري والنانوي، والماس الموصل، وما إلى ذلك. تُستخدم بشكل أساسي في الطلاء الواقي المقاوم للتآكل لأدوات القطع المصنوعة من الكربيد الأسمنتي، والمواد شبه الموصلة مثل السيليكون وكربيد السيليكون، وطلاء تبديد الحرارة للأجهزة، وإلكترود الماس الموصل المضاف إليه البورون، وتطهير المياه أو مياه الصرف الصحي بالتحليل الكهربائي بالأوزون.