Die proses van katodiese boogbron-ioonbedekking is basies dieselfde as ander bedekkingstegnologieë, en sommige bewerkings soos die installering van werkstukke en stofsuig word nie meer herhaal nie.
1. Bombardement skoonmaak van werkstukke
Voor die bedekking word argongas in die bedekkingskamer ingebring met 'n vakuum van 2 × 10-2 Pa.
Skakel die pulsvooroordeel-kragtoevoer aan, met 'n werksiklus van 20% en 'n werkstukvooroordeel van 800-1000V.
Wanneer die boogkrag aangeskakel word, word 'n koue veldboogligontlading gegenereer, wat 'n groot hoeveelheid elektronstroom en titaniumioonstroom uit die boogbron uitstraal, wat 'n hoëdigtheidsplasma vorm. Die titaniumioon versnel sy inspuiting in die werkstuk onder die negatiewe hoë voorspanningsdruk wat op die werkstuk toegepas word, wat die oorblywende gas en besoedelingstowwe wat op die oppervlak van die werkstuk geadsorbeer is, bombardeer en verstuiwer, en die oppervlak van die werkstuk skoonmaak en suiwer; Terselfdertyd word die chloorgas in die bedekkingskamer deur elektrone geïoniseer, en argonione versnel die bombardement van die werkstukoppervlak.
Daarom is die bombardement-skoonmaak-effek goed. Slegs ongeveer 1 minuut se bombardement-skoonmaak kan die werkstuk skoonmaak, wat "hoofboogbombardement" genoem word. As gevolg van die hoë massa titaanione, as 'n klein boogbron te lank gebruik word om die werkstuk te bombardeer en skoon te maak, is die temperatuur van die werkstuk geneig tot oorverhitting, en die gereedskap se rand kan sag word. In die algemene produksie word klein boogbronne een vir een van bo na onder aangeskakel, en elke klein boogbron het 'n bombardement-skoonmaaktyd van ongeveer 1 minuut.
(1) Bedekking van titanium onderste laag
Om die adhesie tussen die film en die substraat te verbeter, word gewoonlik 'n laag suiwer titaniumsubstraat bedek voordat titaniumnitried bedek word. Verstel die vakuumvlak tot 5 × 10-2-3 × 10-1 Pa, verstel die werkstuk se voorspanning tot 400-500 V, en verstel die werksiklus van die pulsvoorspanningskragtoevoer tot 40% ~ 50%. Ontsteek steeds klein boogbronne een vir een om koue veldboogontlading te genereer. As gevolg van die afname in die negatiewe voorspanning van die werkstuk, neem die energie van titaniumione af. Nadat dit die werkstuk bereik het, is die sputtereffek minder as die afsettingseffek, en 'n titanium-oorgangslaag word op die werkstuk gevorm om die bindingskrag tussen die titaniumnitried-harde filmlaag en die substraat te verbeter. Hierdie proses is ook die proses om die werkstuk te verhit. Wanneer die suiwer titaniumteiken ontlaai word, is die lig in die plasma asuurblou.
1. Ammoniak-geharde filmlaag vir die bak
Verstel die vakuumgraad na 3×10-1-5Pa, verstel die werkstuk se voorspanning na 100-200V, en verstel die werksiklus van die pulsvoorspanningskragtoevoer na 70%~80%. Nadat stikstof bygevoeg is, reageer titaan met die boogontladingsplasma om 'n harde titaniumnitriedfilm neer te lê. Op hierdie stadium is die lig van die plasma in die vakuumkamer kersierooi. As C2H2, O2, ens. word bekendgestel, TiCN, TiO2, ens. filmlae kan verkry word.
–Hierdie artikel is vrygestel deur Guangdong Zhenhua, 'nvervaardiger van vakuumbedekkingsmasjiene
Plasingstyd: 1 Junie 2023