HFCVD0606

די וואַקוום קאָוטינג קאַמער פון די כעמישער פארע דעפּאַזישאַן עקוויפּמענט נעמט אן אן אומאָפּהענגיקע טאָפּל-שיכטיקע וואַסער-קילונג סטרוקטור, וואָס איז עפעקטיוו און אייניג אין קילן, און האט א זיכערע און סטאַבילע סטרוקטור. די עקוויפּמענט איז דיזיינד מיט טאָפּל טירן, קייפל אָבסערוואַציע פֿענצטער און קייפל יקספּאַנשאַן אינטערפייסיז, וואָס איז באַקוועם פֿאַר פונדרויסנדיקע פֿאַרבינדונג פון הילפס-פּעריפעראַלס ווי אינפֿראַרויט טעמפּעראַטור מעסטונג, ספּעקטראַל אַנאַליז, ווידעאָ מאָניטאָרינג און טערמאָקאָופּל. די אַוואַנסירטע פּלאַן קאָנצעפּט מאכט די טעגלעכע איבערהאָלונג און וישאַלט, קאָנפיגוראַציע ענדערונג און אַפּגרעיד פון די עקוויפּמענט גרינג און פּשוט, און עפֿעקטיוו ראַדוסירט די נוצן און אַפּגרעיד קאָסטן.

עקוויפּמענט פֿעיִקייטן:

1. די אינפלאַציע קאָמפּאָנענטן פון די עקוויפּמענט אַרייַננעמען דער הויפּט מאַסע לויפן מעטער, סאָלענאָיד ווענטיל און גאַז מיש טאַנק, וואָס ענשור די פּינטלעך קאָנטראָל פון פּראָצעס גאַז לויפן, מונדיר מישונג און זיכער אפגעזונדערטקייט פון פאַרשידענע גאַזן, און קענען סעלעקטירן גאַז סיסטעם קאָמפּאָנענטן פֿאַר די נוצן פון פליסיק גאַז מקור, פאַסילאַטייט די פּערסאַנאַלייזד סעלעקציע פון ​​אַ ברייט קייט פון פליסיק טשאַד קוואלן, און די זיכער נוצן פון סינטעטיש קאַנדאַקטיוו דימענט און עלעקטראָוד פליסיק באָר קוואלן.
2. די לופט אויסציען אסעמבלי איז אויסגעשטאט מיט א שטילער און עפעקטיווער ראָטאַרי וועין וואַקוום פּאָמפּע און א טורבאָ מאָלעקולאַרער פּאָמפּע סיסטעם וואָס קען שנעל טרעפן די הויך וואַקוום הינטערגרונט סביבה. דער קאָמפּאָזיט וואַקוום מעסטער מיט קעגנשטעל מעסטער און ייאַניזאַציע מעסטער ווערט גענוצט פֿאַר וואַקוום מעזשערמאַנט, ווי אויך די קאַפּאַסיטיוו פילם מעסטער סיסטעם וואָס קען מעסטן דעם דרוק פון פאַרשידענע פּראָצעס גאַזן אין אַ ברייט קייט. דער דעפּאָזיציע דרוק איז גאָר אויטאָמאַטיש קאַנטראָולד דורך הויך-פּינקטלעכקייט פּראָפּאָרציאָנעל קאָנטראָל וואַלוו.
3. די קיל-וואַסער קאָמפּאָנענט איז אויסגעשטאַט מיט מולטי-קאַנאַל וואַסער דרוק, פלוס, טעמפּעראַטור מעסטונג און ווייכווארג אויטאָמאַטיש מאָניטאָרינג. פאַרשידענע קיל-קאָמפּאָנענטן זענען אומאָפּהענגיק פון יעדער אנדערער, ​​וואָס איז באַקוועם פֿאַר שנעלע שולד דיאַגנאָז. אַלע צווייגן האָבן אומאָפּהענגיקע ווענטיל סוויטשיז, וואָס איז זיכער און עפעקטיוו.
4. די עלעקטרישע קאנטראל קאמפאנענטן ניצן א גרויסן מענטש-מאשין אינטערפייס על-סי-די עקראן און קאאפערירן מיט א פול-אויטאמאטישן פי-על-סי קאנטראל צו פארלייכטערן דאס רעדאקטירן און אימפארטירן פון פראצעס פארמולע. די גראפישע קורווע ווייזט וויזועל די ענדערונגען און ווערטן פון פארשידענע פאראמעטערס, און די עקוויפמענט און פראצעס פאראמעטערס ווערן אויטאמאטיש רעקארדירט ​​און ארכיווירט צו פארלייכטערן פראבלעם טרעיסינג און דאטן סטאטיסטישע אנאליז.
5. די ווערקפּיס געשטעל איז אויסגעשטאַט מיט אַ סערוואָ מאָטאָר צו קאָנטראָלירן דאָס הייבן און נידערן פון די סאַבסטראַט טיש. דער גראַפיט אָדער רויט קופּער סאַבסטראַט טיש קען אויסגעקליבן ווערן. די טעמפּעראַטור ווערט געמאָסטן דורך אַ טערמאָקאָפּל.
6. די געשטעל קאָמפּאָנענטן קענען זיין דיזיינד ווי אַ גאַנץ אָדער סעפּעראַטלי לויט קונה באדערפענישן צו טרעפן די ספּעציעלע האַנדלינג באדערפענישן פון קאַסטאַמערז.
7. די פארזיגלונג פּלאַטעס קאָמפּאָנענטן זענען שיין און עלעגאַנט. די פארזיגלונג פּלאַטעס אין פאַרשידענע פונקציאָנעלע מאָדול געביטן פון די עקוויפּמענט קענען געשווינד דיסאַסעמבאַלד אָדער געעפנט און פארמאכט ווערן זעלבשטענדיק, וואָס איז זייער באַקוועם צו נוצן.

הייסע פילאַמענט CVD עקוויפּמענט איז פּאַסיק פֿאַר אַוועקלייגן דימענט מאַטעריאַלן, אַרייַנגערעכנט דין פילם קאָוטינג, זיך-שטיצנדיק דיק פילם, מיקראָקריסטאַלין און נאַנאָקריסטאַלין דימענט, קאַנדאַקטיוו דימענט, אאז"ו ו. עס איז דער הויפּט געניצט פֿאַר טראָגן-קעגנשטעליק פּראַטעקטיוו קאָוטינג פון סעמענטעד קאַרבייד קאַטינג מכשירים, האַלב-קאָנדוקטאָר מאַטעריאַלס אַזאַ ווי סיליקאָן און סיליקאָן קאַרבייד, היץ דיסיפּיישאַן קאָוטינג פון דעוויסעס, באָראָן דאָפּט קאַנדאַקטיוו דימענט עלעקטראָוד, אָזאָן דיסינפעקציע פון ​​עלעקטראָליטיק וואַסער אָדער קאַנאַליזאַציע באַהאַנדלונג.