ในสภาวะสุญญากาศ ให้วางชิ้นงานบนแคโทดของเครื่องปล่อยประจุเรืองแสงความดันต่ำ และฉีดก๊าซที่เหมาะสมเข้าไป ที่อุณหภูมิที่กำหนด จะเกิดการเคลือบผิวบนชิ้นงานโดยใช้กระบวนการพอลิเมอไรเซชันแบบไอออนไนเซชันที่ผสมผสานปฏิกิริยาเคมีและพลาสมา ในขณะที่สารก๊าซจะถูกดูดซับบนผิวชิ้นงานและทำปฏิกิริยากัน จนในที่สุดเกิดเป็นฟิล์มแข็งและเกาะติดบนผิวชิ้นงาน
ลักษณะเฉพาะ:
1. การขึ้นรูปฟิล์มที่อุณหภูมิต่ำ อุณหภูมิมีผลกระทบต่อชิ้นงานน้อย ช่วยหลีกเลี่ยงการเกิดเม็ดหยาบเหมือนการขึ้นรูปฟิล์มที่อุณหภูมิสูง และชั้นฟิล์มจะไม่หลุดลอกง่าย
2. สามารถเคลือบด้วยฟิล์มหนาที่มีองค์ประกอบสม่ำเสมอ มีประสิทธิภาพในการกั้นที่ดี มีความหนาแน่นสูง มีความเครียดภายในน้อย และไม่เกิดรอยแตกร้าวขนาดเล็กได้ง่าย
3. การทำงานของพลาสมามีผลในการทำความสะอาด ซึ่งช่วยเพิ่มการยึดเกาะของฟิล์ม
อุปกรณ์นี้ใช้สำหรับเคลือบซิลิกาออกไซด์ (SiOx) ที่มีคุณสมบัติเป็นเกราะป้องกันสูง บนวัสดุฟิล์ม PET, PA, PP และวัสดุอื่นๆ มีการใช้งานอย่างแพร่หลายในบรรจุภัณฑ์ผลิตภัณฑ์ทางการแพทย์/เภสัชกรรม ชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ และบรรจุภัณฑ์อาหาร รวมถึงภาชนะบรรจุเครื่องดื่ม อาหารไขมันสูง และน้ำมันพืช ฟิล์มนี้มีคุณสมบัติเป็นเกราะป้องกันที่ดีเยี่ยม ปรับตัวเข้ากับสภาพแวดล้อมได้ดี สามารถซึมผ่านคลื่นไมโครเวฟได้สูง และมีความโปร่งใส อีกทั้งยังแทบไม่ได้รับผลกระทบจากความชื้นและอุณหภูมิของสภาพแวดล้อม ช่วยแก้ปัญหาที่วัสดุบรรจุภัณฑ์แบบดั้งเดิมอาจก่อให้เกิดผลกระทบต่อสุขภาพได้
| รุ่นเสริม | ขนาดอุปกรณ์ (ความกว้าง) |
| อาร์บีดับบลิว1250 | 1250 (มม.) |