RCW600

อุปกรณ์ชุดนี้ใช้เป้าหมายแมกนีตรอนในการแปลงวัสดุเคลือบเป็นอนุภาคขนาดนาโนเมตร ซึ่งจะถูกสะสมบนพื้นผิวของวัสดุพิมพ์เพื่อสร้างฟิล์มบางๆ ฟิล์มที่ม้วนแล้วจะถูกวางไว้ในห้องสูญญากาศ ผ่านโครงสร้างการพันที่ขับเคลื่อนด้วยไฟฟ้า ปลายด้านหนึ่งจะรับฟิล์มและปลายอีกด้านหนึ่งจะใส่ฟิล์ม ฟิล์มจะเคลื่อนผ่านพื้นที่เป้าหมายต่อไปและรับอนุภาคเป้าหมายเพื่อสร้างฟิล์มหนาแน่น
ลักษณะเด่น :

1. ฟิล์มขึ้นรูปที่อุณหภูมิต่ำ อุณหภูมิมีผลเพียงเล็กน้อยต่อฟิล์มและจะไม่ทำให้เกิดการเสียรูป เหมาะสำหรับฟิล์มม้วน PET, PI และวัสดุฐานอื่นๆ
2. สามารถออกแบบความหนาของฟิล์มได้ โดยสามารถออกแบบและเคลือบฟิล์มบางหรือฟิล์มหนาได้ตามขั้นตอนการปรับ
3. การออกแบบตำแหน่งเป้าหมายหลายตำแหน่ง กระบวนการที่ยืดหยุ่น เครื่องทั้งหมดสามารถติดตั้งเป้าหมายได้แปดตำแหน่ง ซึ่งสามารถใช้เป็นเป้าหมายโลหะธรรมดาหรือเป้าหมายสารประกอบและออกไซด์ได้ สามารถใช้เตรียมฟิล์มชั้นเดียวที่มีโครงสร้างเดียวหรือฟิล์มหลายชั้นที่มีโครงสร้างแบบผสม กระบวนการนี้มีความยืดหยุ่นมาก

อุปกรณ์นี้สามารถเตรียมฟิล์มป้องกันแม่เหล็กไฟฟ้า การเคลือบแผงวงจรแบบยืดหยุ่น ฟิล์มไดอิเล็กตริกต่างๆ ฟิล์มป้องกันการสะท้อนแสง AR หลายชั้น ฟิล์มป้องกันการสะท้อนแสง HR สูง ฟิล์มสี ฯลฯ อุปกรณ์นี้มีขอบเขตการใช้งานที่กว้างมาก และการเคลือบฟิล์มชั้นเดียวสามารถทำได้ด้วยการเคลือบฟิล์มครั้งเดียว
อุปกรณ์นี้สามารถใช้เป้าหมายโลหะที่เรียบง่าย เช่น Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl ฯลฯ หรือเป้าหมายผสม เช่น SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO ฯลฯ

อุปกรณ์มีขนาดเล็ก โครงสร้างกะทัดรัด พื้นที่วางเครื่องน้อย กินไฟน้อย และปรับเปลี่ยนได้ยืดหยุ่น เหมาะมากสำหรับการวิจัยและการพัฒนากระบวนการหรือการผลิตจำนวนมากแบบล็อตเล็ก