Letoto lena la lisebelisoa le sebelisa sepheo sa magnetron ho fetolela lisebelisoa tsa ho roala hore e be likaroloana tsa boholo ba nanometer, tse behiloeng holim'a li-substrates ho etsa lifilimi tse tšesaane. Filimi e kolobisitsoeng e kenngoa ka kamoreng ea vacuum. Ka sebopeho sa mapheo se tsamaisoang ke motlakase, ntlha e 'ngoe e amohela filimi 'me e 'ngoe e beha filimi. E tsoela pele ho feta sebakeng seo ho shebiloeng ho sona 'me e amohela likaroloana tse lebisitsoeng ho etsa filimi e teteaneng.
Sebopeho:
1. Ho theha filimi ea mocheso o tlase. Mocheso o na le phello e fokolang filiming mme o ke ke oa hlahisa deformation. E loketse PET, PI le lifilimi tse ling tsa motheo tsa coil.
2. Botenya ba filimi bo ka etsoa. Liaparo tse tšesaane kapa tse teteaneng li ka etsoa le ho kenngoa ka mokhoa oa ho lokisa.
3. Moqapi oa libaka tse ngata tsa sepheo, mokhoa o tenyetsehang. Mochini oohle o ka hlomelloa ka lipehelo tse robeli, tse ka sebelisoang e le litebello tse bonolo tsa tšepe kapa lipheo tsa kompone le oxide. E ka sebelisoa ho lokisetsa lifilimi tsa lera le le leng tse nang le sebopeho se le seng kapa lifilimi tse ngata tse nang le likarolo tse ngata. Mokhoa ona o fetoha haholo.
Thepa e ka lokisetsa filimi e sireletsang motlakase, ho roala boto ea potoloho e feto-fetohang, lifilimi tse sa tšoaneng tsa dielectric, li-multi-layer AR antireflection film, HR high antireflection film, color film, joalo-joalo thepa e na le mefuta e mengata haholo ea likopo, 'me ho behoa ha filimi e le' ngoe ho ka phethoa ka nako e le 'ngoe ea filimi.
Thepa e ka sebelisa litebello tse bonolo tsa tšepe tse kang Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, joalo-joalo, kapa li- target tse kopanetsoeng tse kang SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, joalo-joalo.
Thepa e nyane ka boholo, e kopane ka sebopeho sa sebopeho, e nyane fatše, tšebeliso e tlase ea matla, 'me e fetoha habonolo ha e fetoha. E loketse haholo bakeng sa lipatlisiso tsa ts'ebetso le nts'etsopele kapa tlhahiso e nyane ea bongata.