Lisebelisoa tsa ho roala tse kobehileng tsa Magnetron ke ho sebelisa mokhoa oa ho phunya magnetron ho fetola thepa ea ho roala hore e be boemo ba khase kapa ionic tikolohong ea vacuum, ebe e e beha holim'a karolo ea mosebetsi ho etsa filimi e teteaneng. E le ho ntlafatsa boemo ba bokaholimo kapa ho fumana ts'ebetso e itseng e khethehileng ea filimi e sebetsang kapa ea mekhabiso.
Thepa e amohela sistimi ea ho sputtering ea magnetron le sistimi ea taolo ea ho phutholoha ka nepo, 'me e na le sistimi ea taolo ea servo motor drive ho fihlela tsitsipano e sa khaotseng le taolo ea lebelo e sa khaotseng.
1. E hlomelitsoe ka sistimi ea ho batalatsa filimi ka boiketsetso, filimi ha e sosobane, 'me boleng ba ho kobeha bo holimo.
2. Sistimi ea taolo ea selika-likoe se koetsoeng e eketsoa ho ntlafatsa sekhahla sa ho beoa. Filimi ea dielectric ea mekhahlelo e mengata e ka koaheloa khafetsa holim'a coil ea PET ka bophara ba 1100mm, ka mokhoa o motle oa ho pheta-pheta le ts'ebetso e tsitsitseng.
3. Sistimi ea ho kobeha le sepheo li ka huloa ho tloha lipheletsong ka bobeli ka ho latellana ho nolofatsa ho kenya le ho theola moqolo oa lera le ho nkela sepheo sa tlhokomelo sebaka.
Sesebelisoa sena se na le boiketsetso bo phahameng, se shebella boemo ba ts'ebetso ea sesebelisoa ka bohona, 'me se na le mesebetsi ea alamo ea liphoso le ts'ireletso ea othomathiki. Ts'ebetso ea sesebelisoa e na le bothata bo tlase.
Lisebelisoa li ka kenya Nb2O5, TiO2, SiO2 le li-oxide tse ling, Cu, Al, Cr, Ti le litšepe tse ling tse bonolo, tse sebelisoang haholo bakeng sa ho kenya lifilimi tsa mebala ea optical tse nang le mekhahlelo e mengata le lifilimi tsa tšepe tse bonolo. Lisebelisoa li loketse filimi ea PET, lesela le tsamaisang le thepa e 'ngoe e tenyetsehang ea filimi, 'me li sebelisoa haholo filiming ea mekhabiso ea mohala oa thekeng, filiming ea ho paka, filiming ea ho sireletsa motlakase ea EMI, filiming e bonaletsang ea ITO le lihlahisoa tse ling.
| Mefuta e ikhethileng | Boholo ba lisebelisoa (bophara) |
| RCX1100 | 1100(mm) |