Lisebelisoa tsa ho rola tse nang le moqolo oa liteko li sebelisa theknoloji ea ho rola e kopanyang ho sputtering ea magnetron le cathode arc, e fihlelang litlhoko tsa ho kopana ha filimi le sekhahla se phahameng sa ionization. Lisebelisoa li na le sebopeho se otlolohileng, 'me sistimi ea ho phunya ea workpiece e kentsoe ka ho otloloha ka phapusing ea vacuum. Moralo oa mamati a likamore tse ngata, cathode e kentsoe monyako o ka thoko, lihlopha tse tšeletseng tsa mehloli ea cathode kapa mehloli ea ion li ka kenngoa, 'me sepheo se ka bolokoa kapa sa nkeloa sebaka ha lemati le buloa. Lisebelisoa li ka tsamaisa kalafo ea bokaholimo ba workpiece le ho roala ka mekhahlelo e mengata ka nako e le 'ngoe ho fihlela ho kenngoa ha filimi ea mekhahlelo e mengata. E loketse lisebelisoa tse fapaneng tsa ho roala tsa tšepe kapa tse kopaneng.
Lisebelisoa li na le litšobotsi tsa ponahalo e ntle, sebopeho se senyenyane, sebaka se senyenyane sa mokatong, boemo bo phahameng ba othomathike, ts'ebetso e bonolo le e tenyetsehang, ts'ebetso e tsitsitseng le tlhokomelo e bonolo. E loketse haholo ho sebelisoa lilaboratoring le likolecheng. Bareki ba ka khetha ho latela litlhoko tsa bona tse fapaneng.
| Mefuta e ikhethileng | Boholo ba lisebelisoa (bophara) |
| RCW300 | 300mm |