ХФЦВД0606

Комора за вакуумско премазивање опреме за хемијско наношење паром усваја независну двослојну структуру хлађења водом, која је ефикасна и једнообразна у хлађењу, и има безбедну и стабилну структуру. Опрема је дизајнирана са двоструким вратима, вишеструким прозорима за посматрање и вишеструким интерфејсима за проширење, што је погодно за екстерно повезивање помоћних периферних уређаја као што су инфрацрвено мерење температуре, спектрална анализа, видео надзор и термопар. Напредни концепт дизајна олакшава свакодневни ремонт и одржавање, промену конфигурације и надоградњу опреме и ефикасно смањује трошкове употребе и надоградње.

Карактеристике опреме:

1. Компоненте опреме за надувавање углавном укључују мерач масеног протока, соленоидни вентил и резервоар за мешање гаса, који обезбеђују прецизну контролу протока процесног гаса, равномерно мешање и безбедну изолацију различитих гасова, и могу одабрати компоненте гасног система за употребу извора течног гаса, олакшати персонализовани избор широког спектра извора течног угљеника и безбедну употребу синтетичких проводљивих дијаманта и извора течног бора за електроде.
2. Склоп за усисавање ваздуха опремљен је тихом и ефикасном ротационом вакуум пумпом са крилцима и турбомолекуларним пумпним системом који може брзо да задовољи услове високог вакуума. За мерење вакуума користи се композитни вакуум мерач са отпорничким мерачем и јонизационим мерачем, као и капацитивни систем филм мерача који може да мери притисак различитих процесних гасова у широком опсегу. Притисак таложења је потпуно аутоматски контролисан високопрецизним пропорционалним контролним вентилом.
3. Компонента расхладне воде опремљена је вишеканалним мерењем притиска воде, протока, температуре и аутоматским софтверским праћењем. Различите компоненте расхладне воде су независне једна од друге, што је погодно за брзу дијагнозу кварова. Све гране имају независне прекидаче вентила, што је безбедно и ефикасно.
4. Електричне контролне компоненте користе велики ЛЦД екран са интерфејсом човек-машина и сарађују са потпуно аутоматским ПЛЦ управљањем како би се олакшало уређивање и увоз процесних формула. Графичка крива визуелно приказује промене и вредности различитих параметара, а параметри опреме и процеса се аутоматски бележе и архивирају како би се олакшало праћење проблема и статистичка анализа података.
5. Носач радних предмета је опремљен серво мотором за контролу подизања и спуштања стола за подлогу. Може се одабрати сто за подлогу од графита или црвеног бакра. Температура се мери термоелементом.
6. Компоненте регала могу бити пројектоване као целина или одвојено према захтевима купца како би се задовољили посебни захтеви купаца за руковање.
7. Компоненте заптивних плоча су лепе и елегантне. Заптивне плоче у различитим функционалним модулима опреме могу се брзо раставити или отворити и затворити независно, што је веома погодно за употребу.

Опрема за CVD са врућим филаментом је погодна за наношење дијамантских материјала, укључујући танкослојне премазе, самоносеће дебеле филмове, микрокристалне и нанокристалне дијаманте, проводљиве дијаманте итд. Углавном се користи за заштитни премаз отпоран на хабање од цементираног карбида, полупроводничких материјала као што су силицијум и силицијум карбид, премаз за одвођење топлоте уређаја, проводљиву дијамантску електроду допирану бором, озонску дезинфекцију електролитичке воде или пречишћавање отпадних вода.