HFCVD0606

Vakuumska komora za nanašanje premazov opreme za kemično nanašanje s paro ima neodvisno dvoslojno strukturo vodnega hlajenja, ki zagotavlja učinkovito in enakomerno hlajenje ter varno in stabilno strukturo. Oprema je zasnovana z dvojnimi vrati, več opazovalnimi okni in več razširitvenimi vmesniki, kar omogoča priročno priključitev zunanjih dodatnih perifernih naprav, kot so infrardeče merjenje temperature, spektralna analiza, video nadzor in termočlen. Napredna zasnova omogoča enostavno in enostavno dnevno vzdrževanje, spreminjanje konfiguracije in nadgradnjo opreme ter učinkovito zmanjšuje stroške uporabe in nadgradnje.

Značilnosti opreme:

1. Komponente za napihovanje opreme vključujejo predvsem merilnik masnega pretoka, elektromagnetni ventil in rezervoar za mešanje plina, ki zagotavljajo natančen nadzor pretoka procesnega plina, enakomerno mešanje in varno izolacijo različnih plinov ter omogočajo izbiro komponent plinskega sistema za uporabo vira tekočega plina, omogočajo prilagojeno izbiro širokega nabora virov tekočega ogljika in varno uporabo sintetičnih prevodnih diamantov in virov tekočega bora za elektrode.
2. Sklop za odsesavanje zraka je opremljen s tiho in učinkovito rotacijsko vakuumsko črpalko in turbomolekularnim črpalnim sistemom, ki se lahko hitro spopade z visokim vakuumom. Za merjenje vakuuma se uporablja kompozitni vakuummeter z uporovnim merilnikom in ionizacijskim merilnikom, prav tako pa tudi kapacitivni filmski merilni sistem, ki lahko meri tlak različnih procesnih plinov v širokem območju. Tlak nanašanja je popolnoma avtomatski, krmiljen z visoko natančnim proporcionalnim regulacijskim ventilom.
3. Komponenta hladilne vode je opremljena z večkanalnim merjenjem tlaka vode, pretoka in temperature ter programsko avtomatskim spremljanjem. Različne hladilne komponente so med seboj neodvisne, kar omogoča hitro diagnosticiranje napak. Vse veje imajo neodvisna stikala ventilov, kar je varno in učinkovito.
4. Električne krmilne komponente imajo velik LCD zaslon z vmesnikom človek-stroj in sodelujejo s popolnoma avtomatskim krmiljenjem PLC, kar omogoča urejanje in uvoz procesnih formul. Grafična krivulja vizualno prikazuje spremembe in vrednosti različnih parametrov, parametri opreme in procesa pa se samodejno beležijo in arhivirajo, kar olajša sledenje težavam in statistično analizo podatkov.
5. Stojalo za obdelovance je opremljeno s servo motorjem za krmiljenje dvigovanja in spuščanja mize za substrat. Izbirate lahko med grafitno ali rdečo bakreno mizo za substrat. Temperatura se meri s termočlenom.
6. Komponente stojala so lahko zasnovane kot celota ali ločeno v skladu z zahtevami strank, da se izpolnijo posebne zahteve strank glede ravnanja.
7. Komponente tesnilne plošče so lepe in elegantne. Tesnilne plošče v različnih funkcionalnih modulih opreme je mogoče hitro razstaviti ali neodvisno odpreti in zapreti, kar je zelo priročno za uporabo.

Oprema za CVD z vročo nitjo je primerna za nanašanje diamantnih materialov, vključno s tankoplastnimi prevlekami, samonosnimi debelimi filmi, mikrokristalnimi in nanokristalnimi diamanti, prevodnimi diamanti itd. Uporablja se predvsem za zaščitne prevleke, odporne proti obrabi, za rezalna orodja iz cementiranega karbida, polprevodniške materiale, kot sta silicij in silicijev karbid, za prevleke za odvajanje toplote naprav, za prevodne diamantne elektrode, dopirane z borom, za ozonsko dezinfekcijo elektrolitske vode ali čiščenje odplak.