د کیمیاوي بخاراتو د ذخیرې تجهیزاتو د ویکیوم کوټینګ چیمبر د اوبو د یخولو لپاره یو خپلواک دوه ګونی طبقه جوړښت غوره کوي، کوم چې په یخولو کې موثر او یو شان دی، او یو خوندي او باثباته جوړښت لري. تجهیزات د دوه ګونی دروازو، څو مشاهدې کړکیو او څو پراخولو انٹرفیسونو سره ډیزاین شوي، کوم چې د مرستندویه وسایلو لکه د انفراریډ تودوخې اندازه کولو، طیف تحلیل، ویډیو څارنه او ترموکوپل بهرنۍ اړیکې لپاره اسانه دي. د پرمختللي ډیزاین مفهوم د تجهیزاتو ورځني ترمیم او ساتنه، د ترتیب بدلون او لوړول اسانه او ساده کوي، او په مؤثره توګه د کارولو او لوړولو لګښتونه کموي.
د تجهیزاتو ځانګړتیاوې:
۱. د تجهیزاتو د انفلاسیون اجزا په عمده توګه د ډله ایز جریان میټر، سولینایډ والو او د ګاز مخلوط کولو ټانک شامل دي، کوم چې د پروسس ګاز جریان دقیق کنټرول، یونیفورم مخلوط کول او د مختلفو ګازونو خوندي جلا کول ډاډمن کوي، او کولی شي د مایع ګاز سرچینې کارولو لپاره د ګاز سیسټم اجزا غوره کړي، د مایع کاربن سرچینو پراخه لړۍ شخصي انتخاب اسانه کړي، او د مصنوعي کنډکټیو الماس او الکترود مایع بوران سرچینو خوندي کارول اسانه کړي.
۲. د هوا استخراج اسمبلۍ د خاموش او موثر روټري وین ویکیوم پمپ او د ټربو مالیکولر پمپ سیسټم سره سمبال ده چې کولی شي په چټکۍ سره د لوړ ویکیوم شالید چاپیریال پوره کړي. د مقاومت ګیج او ایونیزیشن ګیج سره جامع ویکیوم ګیج د ویکیوم اندازه کولو لپاره کارول کیږي، او همدارنګه د کیپسیټیو فلم ګیج سیسټم چې کولی شي د مختلف پروسس ګازونو فشار په پراخه کچه اندازه کړي. د زیرمو فشار په بشپړ ډول اتوماتیک دی چې د لوړ دقیق تناسب کنټرول والو لخوا کنټرول کیږي.
۳. د یخولو اوبو برخه د څو چینلونو د اوبو فشار، جریان، د تودوخې اندازه کولو او سافټویر اتوماتیک څارنې سره سمبال ده. د یخولو مختلف برخې له یو بل څخه خپلواکې دي، کوم چې د چټک غلطیو تشخیص لپاره اسانه دي. ټولې څانګې خپلواک والو سویچونه لري، کوم چې خوندي او موثر دی.
۴. د بریښنایی کنټرول اجزا د لوی اندازې انسان-ماشین انٹرفیس LCD سکرین غوره کوي او د PLC بشپړ اتوماتیک کنټرول سره همکاري کوي ترڅو د پروسې فورمول ترمیم او واردولو کې اسانتیا رامنځته کړي. ګرافیکي منحنی په لید کې د مختلفو پیرامیټرو بدلونونه او ارزښتونه ښیې، او تجهیزات او د پروسې پیرامیټرې په اتوماتيک ډول ثبت او آرشیف کیږي ترڅو د ستونزې تعقیب او د معلوماتو احصایوي تحلیل اسانه کړي.
۵. د ورک پیس ریک د سرو موټور سره سمبال دی ترڅو د سبسټریټ میز پورته کول او ښکته کول کنټرول کړي. د ګرافایټ یا سره مسو سبسټریټ میز غوره کیدی شي. تودوخه د ترموکوپل لخوا اندازه کیږي.
۶. د ریک اجزا د پیرودونکو اړتیاو سره سم په بشپړ ډول یا په جلا توګه ډیزاین کیدی شي ترڅو د پیرودونکو ځانګړي اداره کولو اړتیاوې پوره کړي.
۷. د سیل کولو پلیټ اجزا ښکلي او ښکلي دي. د تجهیزاتو په مختلفو فعال ماډل برخو کې د سیل کولو پلیټونه په چټکۍ سره جلا کیدی شي یا په خپلواکه توګه خلاص او تړل کیدی شي، کوم چې کارول یې خورا اسانه دي.
د ګرمو فلیمینټ CVD تجهیزات د الماس موادو د زیرمه کولو لپاره مناسب دي، پشمول د پتلي فلم کوټینګ، د ځان ملاتړ کونکی موټی فلم، مایکرو کریسټالین او نانو کریسټالین الماس، کنډکټیو الماس، او داسې نور. دا په عمده توګه د سیمنټ کاربایډ پرې کولو وسیلو، سیمیکمډکټر موادو لکه سیلیکون او سیلیکون کاربایډ، د وسیلو د تودوخې ضایع کولو کوټینګ، د بورون ډوپډ کنډکټیو الماس الکترود، د الکترولیټیک اوبو یا فاضله موادو د اوزون غیر منتن کولو لپاره کارول کیږي.
| اختیاري ماډلونه | د داخلي خونې اندازه |
| د HFCVD0606 معرفي کول | φ600*H600(ملي متره) |