ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା ଉପକରଣର ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ଚାମ୍ବର ଏକ ସ୍ୱାଧୀନ ଡବଲ-ଲେୟର ଜଳ-ଥଣ୍ଡା ଗଠନ ଗ୍ରହଣ କରେ, ଯାହା ଥଣ୍ଡା କରିବାରେ ଦକ୍ଷ ଏବଂ ସମାନ, ଏବଂ ଏହାର ଏକ ନିରାପଦ ଏବଂ ସ୍ଥିର ଗଠନ ଅଛି। ଉପକରଣଟି ଡବଲ ଦ୍ୱାର, ଏକାଧିକ ପର୍ଯ୍ୟବେକ୍ଷଣ ୱିଣ୍ଡୋ ଏବଂ ଏକାଧିକ ବିସ୍ତାର ଇଣ୍ଟରଫେସ୍ ସହିତ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଛି, ଯାହା ଇନଫ୍ରାରେଡ୍ ତାପମାତ୍ରା ମାପ, ସ୍ପେକ୍ଟ୍ରଲ୍ ବିଶ୍ଳେଷଣ, ଭିଡିଓ ମନିଟରିଂ ଏବଂ ଥର୍ମୋକପଲ୍ ଭଳି ସହାୟକ ପରିଧିରଗୁଡ଼ିକର ବାହ୍ୟ ସଂଯୋଗ ପାଇଁ ସୁବିଧାଜନକ। ଉନ୍ନତ ଡିଜାଇନ୍ ଧାରଣା ଉପକରଣର ଦୈନିକ ଓଭରହାଲ୍ ଏବଂ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ, ବିନ୍ୟାସ ପରିବର୍ତ୍ତନ ଏବଂ ଅପଗ୍ରେଡ୍କୁ ସହଜ ଏବଂ ସରଳ କରିଥାଏ, ଏବଂ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ବ୍ୟବହାର ଏବଂ ଅପଗ୍ରେଡ୍ ଖର୍ଚ୍ଚ ହ୍ରାସ କରିଥାଏ।
ଉପକରଣ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକ:
1. ଉପକରଣର ସ୍ଫୀତି ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ ମୁଖ୍ୟତଃ ମାସ୍ ଫ୍ଲୋ ମିଟର, ସୋଲେନଏଡ୍ ଭଲଭ୍ ଏବଂ ଗ୍ୟାସ୍ ମିଶ୍ରଣ ଟ୍ୟାଙ୍କ୍ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ, ଯାହା ପ୍ରକ୍ରିୟା ଗ୍ୟାସ୍ ପ୍ରବାହର ସଠିକ୍ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ, ସମାନ ମିଶ୍ରଣ ଏବଂ ବିଭିନ୍ନ ଗ୍ୟାସ୍ଗୁଡ଼ିକର ନିରାପଦ ପୃଥକୀକରଣ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ, ଏବଂ ତରଳ ଗ୍ୟାସ୍ ଉତ୍ସ ବ୍ୟବହାର ପାଇଁ ଗ୍ୟାସ୍ ସିଷ୍ଟମ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ ଚୟନ କରିପାରିବ, ତରଳ କାର୍ବନ ଉତ୍ସର ଏକ ବିସ୍ତୃତ ପରିସରର ବ୍ୟକ୍ତିଗତ ଚୟନକୁ ସହଜ କରିପାରିବ, ଏବଂ କୃତ୍ରିମ ପରିବାହୀ ହୀରା ଏବଂ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ତରଳ ବୋରନ୍ ଉତ୍ସର ନିରାପଦ ବ୍ୟବହାରକୁ ସହଜ କରିପାରିବ।
2. ବାୟୁ ନିଷ୍କାସନ ଆସେମ୍ବଲି ଏକ ନୀରବ ଏବଂ ଦକ୍ଷ ରୋଟାରୀ ଭେନ୍ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ ଏବଂ ଏକ ଟର୍ବୋ ମଲିକୁଲାର ପମ୍ପ ସିଷ୍ଟମ ସହିତ ସଜ୍ଜିତ ଯାହା ଉଚ୍ଚ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପୃଷ୍ଠଭୂମି ପରିବେଶକୁ ଶୀଘ୍ର ପୂରଣ କରିପାରିବ। ପ୍ରତିରୋଧ ଗଜ ଏବଂ ଆୟନାଇଜେସନ୍ ଗଜ ସହିତ କମ୍ପୋଜିଟ୍ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଗଜ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ମାପ ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଏବଂ କ୍ୟାପାସିଟିଭ୍ ଫିଲ୍ମ ଗଜ ସିଷ୍ଟମ ଯାହା ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଗ୍ୟାସର ଚାପକୁ ଏକ ବିସ୍ତୃତ ପରିସର ମଧ୍ୟରେ ମାପିପାରେ। ଜମା ଚାପ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ଭାବରେ ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ଆନୁପାତିକ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଭଲଭ୍ ଦ୍ୱାରା ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ହୁଏ।
3. ଶୀତଳ ଜଳ ଉପାଦାନଟି ମଲ୍ଟି-ଚ୍ୟାନେଲ ଜଳ ଚାପ, ପ୍ରବାହ, ତାପମାତ୍ରା ମାପ ଏବଂ ସଫ୍ଟୱେର୍ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ମନିଟରିଂ ସହିତ ସଜ୍ଜିତ। ବିଭିନ୍ନ ଶୀତଳ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ ପରସ୍ପରଠାରୁ ସ୍ୱାଧୀନ, ଯାହା ଦ୍ରୁତ ତ୍ରୁଟି ନିର୍ଣ୍ଣୟ ପାଇଁ ସୁବିଧାଜନକ। ସମସ୍ତ ଶାଖାରେ ସ୍ୱାଧୀନ ଭଲଭ୍ ସ୍ୱିଚ୍ ଅଛି, ଯାହା ନିରାପଦ ଏବଂ ଦକ୍ଷ।
4. ବୈଦ୍ୟୁତିକ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ ବଡ଼ ଆକାରର ମଣିଷ-ଯନ୍ତ୍ର ଇଣ୍ଟରଫେସ୍ LCD ସ୍କ୍ରିନ୍ ଗ୍ରହଣ କରନ୍ତି ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସୂତ୍ରର ସମ୍ପାଦନା ଏବଂ ଆମଦାନୀକୁ ସହଜ କରିବା ପାଇଁ PLC ପୂର୍ଣ୍ଣ-ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ସହିତ ସହଯୋଗ କରନ୍ତି। ଗ୍ରାଫିକାଲ୍ କର୍ଭ ଦୃଶ୍ୟମାନ ଭାବରେ ବିଭିନ୍ନ ପାରାମିଟରର ପରିବର୍ତ୍ତନ ଏବଂ ମୂଲ୍ୟ ପ୍ରଦର୍ଶନ କରେ, ଏବଂ ସମସ୍ୟା ଟ୍ରେସିଂ ଏବଂ ତଥ୍ୟ ପରିସଂଖ୍ୟାନ ବିଶ୍ଳେଷଣକୁ ସହଜ କରିବା ପାଇଁ ଉପକରଣ ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକୁ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ଭାବରେ ରେକର୍ଡ ଏବଂ ଅଭିଲେଖାଗାର କରାଯାଏ।
୫. ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଟେବୁଲର ଉଠାଣ ଏବଂ ତଳକୁ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରିବା ପାଇଁ ୱର୍କପିସ୍ ର୍ୟାକ୍ ଏକ ସର୍ଭୋ ମୋଟର ସହିତ ସଜ୍ଜିତ। ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ କିମ୍ବା ଲାଲ ତମ୍ବା ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଟେବୁଲ ଚୟନ କରାଯାଇପାରିବ। ତାପମାତ୍ରା ଏକ ଥର୍ମୋକପଲ୍ ଦ୍ୱାରା ମାପ କରାଯାଏ।
୬. ଗ୍ରାହକଙ୍କ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ପରିଚାଳନା ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିବା ପାଇଁ ଗ୍ରାହକଙ୍କ ଆବଶ୍ୟକତା ଅନୁସାରେ ର୍ୟାକ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକୁ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଭାବରେ କିମ୍ବା ପୃଥକ ଭାବରେ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇପାରିବ।
୭. ସିଲିଂ ପ୍ଲେଟ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ ସୁନ୍ଦର ଏବଂ ସୁନ୍ଦର। ଉପକରଣର ବିଭିନ୍ନ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ମଡ୍ୟୁଲ୍ କ୍ଷେତ୍ରରେ ଥିବା ସିଲିଂ ପ୍ଲେଟଗୁଡ଼ିକୁ ଶୀଘ୍ର ଅଲଗା କରାଯାଇପାରିବ କିମ୍ବା ସ୍ୱାଧୀନ ଭାବରେ ଖୋଲା ଏବଂ ବନ୍ଦ କରାଯାଇପାରିବ, ଯାହା ବ୍ୟବହାର କରିବାକୁ ବହୁତ ସୁବିଧାଜନକ।
ହଟ୍ ଫିଲାମେଣ୍ଟ୍ CVD ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ ହୀରା ସାମଗ୍ରୀ ଜମା କରିବା ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ, ଯେଉଁଥିରେ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଆବରଣ, ସ୍ୱୟଂ-ସମର୍ଥକ ଘନ ଫିଲ୍ମ, ମାଇକ୍ରୋକ୍ରିଷ୍ଟାଲାଇନ୍ ଏବଂ ନାନୋକ୍ରିଷ୍ଟାଲାଇନ୍ ହୀରା, ପରିବାହୀ ହୀରା, ଇତ୍ୟାଦି ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ। ଏହା ମୁଖ୍ୟତଃ ସିମେଣ୍ଟେଡ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ କଟିଂ ଉପକରଣର ପରିଧାନ-ପ୍ରତିରୋଧୀ ସୁରକ୍ଷା ଆବରଣ, ସିଲିକନ୍ ଏବଂ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଭଳି ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ସାମଗ୍ରୀ, ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକର ଉତ୍ତାପ ଅପଚୟ ଆବରଣ, ବୋରନ୍ ଡୋପ୍ଡ୍ ପରିବାହୀ ହୀରା ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍, ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଲାଇଟିକ୍ ଜଳ କିମ୍ବା ସ୍ୱେରେଜ୍ ଚିକିତ୍ସାର ଓଜୋନ୍ ଜୀବାଣୁମୁକ୍ତ କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ।
| ଇଚ୍ଛାଧୀନ ମଡେଲଗୁଡ଼ିକ | ଭିତର ଚାମ୍ବର ଆକାର |
| HFCVD0606 | φ୬୦୦*H୬୦୦(ମିମି) |