HFCVD0606

Химийн уурын хуримтлуулах төхөөрөмжийн вакуум бүрэх камер нь бие даасан давхар давхар ус хөргөх байгууламжийг ашигладаг бөгөөд хөргөлтийн хувьд үр ашигтай, жигд, аюулгүй, тогтвортой бүтэцтэй байдаг. Тоног төхөөрөмж нь давхар хаалгатай, олон ажиглалтын цонхтой, олон өргөтгөлийн интерфэйстэй бөгөөд хэт улаан туяаны температур хэмжих, спектрийн шинжилгээ, видео хяналт, термопар зэрэг туслах хэрэгслүүдийг гаднаас холбоход тохиромжтой. Дэвшилтэт дизайны үзэл баримтлал нь өдөр тутмын их засвар, засвар үйлчилгээ, тохиргоог өөрчлөх, тоног төхөөрөмжийн шинэчлэлтийг хялбар бөгөөд хялбар болгож, ашиглалт, шинэчлэлтийн зардлыг үр дүнтэй бууруулдаг.

Тоног төхөөрөмжийн онцлог:

1. Тоног төхөөрөмжийн инфляцийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд голчлон массын зарцуулалт хэмжигч, ороомог хавхлага, хий холих сав багтдаг бөгөөд энэ нь процессын хийн урсгалыг нарийн хянах, жигд холих, янз бүрийн хийн аюулгүй тусгаарлалтыг хангадаг бөгөөд шингэн хийн эх үүсвэрийг ашиглах хийн системийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг сонгох, олон төрлийн шингэн нүүрстөрөгчийн эх үүсвэрийг хувийн сонголтоор сонгох, нийлэг алмааз болон нийлэг үүсгүүрийг аюулгүй дамжуулах боломжийг олгодог.
2.Агаар зайлуулах угсралт нь чимээгүй, үр ашигтай эргэдэг вакуум насос болон өндөр вакуум дэвсгэр орчныг хурдан хангаж чадах турбо молекул насосны системээр тоноглогдсон. Эсэргүүцэл хэмжигч ба иончлолын хэмжигчтэй нийлмэл вакуум хэмжигчийг вакуум хэмжихэд ашигладаг бөгөөд янз бүрийн процессын хийн даралтыг өргөн хүрээнд хэмжиж чаддаг багтаамжтай хальс хэмжигч системийг ашигладаг. Туналтын даралтыг өндөр нарийвчлалтай пропорциональ хяналтын хавхлагаар бүрэн автоматаар удирддаг.
3.Хөргөх усны бүрэлдэхүүн хэсэг нь олон сувгийн усны даралт, урсгал, температур хэмжилт, автомат хяналтын программ хангамжаар тоноглогдсон. Төрөл бүрийн хөргөлтийн бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь бие биенээсээ хамааралгүй бөгөөд энэ нь гэмтлийг хурдан оношлоход тохиромжтой. Бүх салбарууд нь бие даасан хавхлагатай унтраалгатай бөгөөд энэ нь аюулгүй, үр ашигтай байдаг.
4.Цахилгаан хяналтын бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь том хэмжээтэй хүн-машин интерфэйсийн LCD дэлгэцийг нэвтрүүлж, процессын томъёог засварлах, импортлох ажлыг хөнгөвчлөхийн тулд PLC бүрэн автомат удирдлагатай хамтран ажилладаг. График муруй нь янз бүрийн параметрүүдийн өөрчлөлт, утгыг нүдээр харуулах бөгөөд асуудал хайх, өгөгдөлд статистик дүн шинжилгээ хийхэд хялбар болгох үүднээс тоног төхөөрөмж, процессын параметрүүдийг автоматаар бүртгэж архивлана.
5. Ажлын хэсгийн тавиур нь субстратын хүснэгтийг өргөх, буулгах ажиллагааг хянах серво мотороор тоноглогдсон. Бал чулуу эсвэл улаан зэсийн субстратын хүснэгтийг сонгож болно. Температурыг термопараар хэмждэг.
6.Өлгүүрийн эд ангиудыг үйлчлүүлэгчдийн тусгай зориулалтын шаардлагыг хангахын тулд хэрэглэгчийн шаардлагын дагуу бүхэлд нь эсвэл тусад нь боловсруулж болно.
7. Битүүмжлэх хавтангийн бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь үзэсгэлэнтэй, гоёмсог юм. Тоног төхөөрөмжийн өөр өөр функциональ модулийн хэсгүүдийн битүүмжлэх хавтанг хурдан задлах эсвэл бие даан нээх, хаах боломжтой бөгөөд энэ нь ашиглахад маш тохиромжтой.

Халуун судалтай CVD төхөөрөмж нь нимгэн хальсан бүрхүүл, өөрөө бэхэлгээтэй зузаан хальс, бичил талст ба нанокристалл алмаз, дамжуулагч алмаз гэх мэт алмазан материалыг тунаахад тохиромжтой. Энэ нь голчлон цементжүүлсэн карбидын зүсэх хэрэгсэл, хагас дамжуулагч материал болох цахиур, цахиурын карбид, цахилгаан дамжуулагч бодисыг элэгдэлд тэсвэртэй хамгаалалтын бүрхүүлд ашигладаг. электролитийн ус эсвэл бохир усыг озоноор халдваргүйжүүлэх.