HFCVD0606

Ķīmiskās tvaiku uzklāšanas iekārtas vakuuma pārklāšanas kamerai ir neatkarīga divslāņu ūdens dzesēšanas struktūra, kas ir efektīva un vienmērīga dzesēšanas ziņā, kā arī droša un stabila. Iekārta ir konstruēta ar dubultdurvīm, vairākiem novērošanas logiem un vairākām paplašināšanas saskarnēm, kas ir ērti papildu perifērijas ierīču, piemēram, infrasarkanās temperatūras mērīšanas, spektrālās analīzes, video novērošanas un termoelementu, ārējai pieslēgšanai. Uzlabotā dizaina koncepcija padara ikdienas kapitālo remontu un apkopi, konfigurācijas maiņu un modernizāciju vienkāršu un efektīvi samazina lietošanas un modernizācijas izmaksas.

Aprīkojuma funkcijas:

1. Iekārtas piepūšanas komponenti galvenokārt ietver masas plūsmas mērītāju, solenoīda vārstu un gāzes sajaukšanas tvertni, kas nodrošina precīzu procesa gāzes plūsmas kontroli, vienmērīgu sajaukšanu un dažādu gāzu drošu izolāciju, kā arī var izvēlēties gāzes sistēmas komponentus šķidrās gāzes avota izmantošanai, atvieglot personalizētu plaša šķidrās oglekļa avotu klāsta izvēli un drošu sintētiskā vadošā dimanta un elektrodu šķidrā bora avotu izmantošanu.
2. Gaisa nosūkšanas iekārta ir aprīkota ar klusu un efektīvu rotācijas lāpstiņu vakuumsūkni un turbo molekulāro sūkņa sistēmu, kas var ātri nodrošināt augsta vakuuma fona vidi. Vakuuma mērīšanai tiek izmantots kompozītmateriāla vakuuma mērītājs ar pretestības mērītāju un jonizācijas mērītāju, kā arī kapacitatīvās plēves mērierīces sistēma, kas var mērīt dažādu procesa gāzu spiedienu plašā diapazonā. Nogulsnēšanas spiedienu pilnībā automātiski kontrolē augstas precizitātes proporcionāls vadības vārsts.
3. Dzesēšanas ūdens komponents ir aprīkots ar daudzkanālu ūdens spiediena, plūsmas, temperatūras mērīšanu un programmatūras automātisko uzraudzību. Dažādi dzesēšanas komponenti ir neatkarīgi viens no otra, kas ir ērti ātrai kļūmju diagnostikai. Visiem atzariem ir neatkarīgi vārstu slēdži, kas ir droši un efektīvi.
4. Elektriskās vadības komponentes izmanto liela izmēra cilvēka un mašīnas saskarnes LCD ekrānu un sadarbojas ar PLC pilnībā automātisko vadību, lai atvieglotu procesa formulas rediģēšanu un importēšanu. Grafiskā līkne vizuāli attēlo dažādu parametru izmaiņas un vērtības, un iekārtu un procesa parametri tiek automātiski reģistrēti un arhivēti, lai atvieglotu problēmu izsekošanu un datu statistisko analīzi.
5. Sagataves statīvs ir aprīkots ar servomotoru, lai kontrolētu substrāta galda pacelšanu un nolaišanu. Var izvēlēties grafīta vai sarkanā vara substrāta galdu. Temperatūru mēra ar termoelementu.
6. Plauktu komponentus var konstruēt kopumā vai atsevišķi atbilstoši klienta prasībām, lai tie atbilstu klientu īpašajām apstrādes prasībām.
7. Blīvējuma plāksnes komponenti ir skaisti un eleganti. Iekārtas dažādās funkcionālo moduļu zonās esošās blīvējuma plāksnes var ātri izjaukt vai atvērt un aizvērt neatkarīgi, kas ir ļoti ērti lietošanā.

Karstās kvēldiega CVD iekārtas ir piemērotas dimanta materiālu, tostarp plānslāņa pārklājumu, pašnesošas biezas plēves, mikrokristāliska un nanokristāliska dimanta, vadoša dimanta u.c., nogulsnēšanai. To galvenokārt izmanto cementēta karbīda griezējinstrumentu, pusvadītāju materiālu, piemēram, silīcija un silīcija karbīda, nodilumizturīga aizsargpārklājuma veidošanai, ierīču siltuma izkliedes pārklājumam, ar boru leģētam vadošam dimanta elektrodam, elektrolītiskā ūdens vai notekūdeņu attīrīšanas ozona dezinfekcijai.