HFCVD0606

Cheminio garinimo nusodinimo įrangos vakuuminė dengimo kamera turi nepriklausomą dvisluoksnę vandens aušinimo struktūrą, kuri yra efektyvi ir tolygiai aušinama, turi saugią ir stabilią struktūrą. Įranga suprojektuota su dvigubomis durimis, keliais stebėjimo langais ir keliomis išplėtimo sąsajomis, todėl patogu išoriškai prijungti pagalbinius periferinius įrenginius, tokius kaip infraraudonųjų spindulių temperatūros matavimas, spektrinė analizė, vaizdo stebėjimas ir termoelementas. Pažangi projektavimo koncepcija leidžia lengvai ir paprastai atlikti kasdienį įrangos kapitalinį remontą ir priežiūrą, konfigūracijos keitimą ir atnaujinimą, efektyviai sumažinant naudojimo ir atnaujinimo išlaidas.

Įrangos savybės:

1. Įrangos pripūtimo komponentai daugiausia apima masės srauto matuoklį, solenoidinį vožtuvą ir dujų maišymo baką, kurie užtikrina tikslų proceso dujų srauto valdymą, vienodą skirtingų dujų maišymą ir saugų izoliavimą, taip pat gali parinkti dujų sistemos komponentus skystų dujų šaltinio naudojimui, palengvinti individualų plataus skystos anglies šaltinių asortimento pasirinkimą ir saugų sintetinių laidžių deimantų ir elektrodų skysto boro šaltinių naudojimą.
2. Oro ištraukimo agregatas aprūpintas tyliu ir efektyviu rotaciniu mentiniu vakuuminiu siurbliu ir turbomolekulinio siurblio sistema, kuri gali greitai pasiekti aukšto vakuumo foninę aplinką. Vakuumui matuoti naudojamas sudėtinis vakuumo matuoklis su varžos matuokliu ir jonizacijos matuokliu, taip pat talpinė plėvelinė matuoklio sistema, kuri gali matuoti įvairių proceso dujų slėgį plačiame diapazone. Nusodinimo slėgis yra visiškai automatiškai valdomas didelio tikslumo proporcinio valdymo vožtuvu.
3. Aušinimo vandens komponentas aprūpintas daugiakanale vandens slėgio, srauto, temperatūros matavimo ir programinės įrangos automatinio stebėjimo sistema. Skirtingi aušinimo komponentai yra nepriklausomi vienas nuo kito, todėl patogu greitai diagnozuoti gedimus. Visose šakose yra nepriklausomi vožtuvų jungikliai, todėl saugu ir efektyvu.
4. Elektriniai valdymo komponentai turi didelį žmogaus ir mašinos sąsajos LCD ekraną ir bendradarbiauja su PLC pilnai automatiniu valdymu, kad būtų lengviau redaguoti ir importuoti proceso formulę. Grafinė kreivė vizualiai rodo įvairių parametrų pokyčius ir vertes, o įrangos ir proceso parametrai automatiškai įrašomi ir archyvuojami, kad būtų lengviau sekti problemas ir atlikti statistinę duomenų analizę.
5. Ruošinių stovas turi servovariklį, valdantį pagrindo stalo pakėlimą ir nuleidimą. Galima pasirinkti grafito arba raudonojo vario pagrindo stalą. Temperatūra matuojama termoelementu.
6. Stovo komponentai gali būti suprojektuoti kaip visuma arba atskirai pagal kliento reikalavimus, kad atitiktų specialius klientų tvarkymo reikalavimus.
7. Sandarinimo plokštės komponentai yra gražūs ir elegantiški. Įrangos funkcinių modulių sandarinimo plokštes galima greitai išardyti arba atidaryti ir uždaryti atskirai, todėl jas labai patogu naudoti.

Karštojo kaitinimo CVD įranga tinka deimantinėms medžiagoms, įskaitant plonasluoksnes dangas, savaime laikančias storas plėveles, mikrokristalinius ir nanokristalinius deimantus, laidžius deimantus ir kt., nusodinti. Ji daugiausia naudojama cementuotų karbido pjovimo įrankių, puslaidininkinių medžiagų, tokių kaip silicis ir silicio karbidas, dilimui atsparioms apsauginėms dangoms, prietaisų šilumos išsklaidymo dangoms, boro legiruotiems laidiems deimantiniams elektrodams, elektrolizinio vandens ar nuotekų valymo ozono dezinfekavimui.