HFCVD0606

ຫ້ອງການການເຄືອບສູນຍາກາດຂອງອຸປະກອນການປ່ອຍອາຍພິດສານເຄມີຮັບຮອງເອົາໂຄງສ້າງການລະບາຍນ້ໍາສອງຊັ້ນເອກະລາດ, ເຊິ່ງມີປະສິດທິພາບແລະເປັນເອກະພາບໃນການເຮັດຄວາມເຢັນ, ແລະມີໂຄງສ້າງທີ່ປອດໄພແລະຫມັ້ນຄົງ. ອຸປະກອນໄດ້ຖືກອອກແບບດ້ວຍປະຕູຄູ່, ປ່ອງຢ້ຽມສັງເກດການຫຼາຍແລະການໂຕ້ຕອບການຂະຫຍາຍຫຼາຍ, ເຊິ່ງສະດວກສໍາລັບການເຊື່ອມຕໍ່ພາຍນອກຂອງອຸປະກອນເສີມເຊັ່ນການວັດແທກອຸນຫະພູມ infrared, ການວິເຄາະ spectral, ການຕິດຕາມວິດີໂອແລະ thermocouple. ແນວຄວາມຄິດຂອງການອອກແບບທີ່ກ້າວຫນ້າເຮັດໃຫ້ການປັບປຸງປະຈໍາວັນແລະການບໍາລຸງຮັກສາ, ການປ່ຽນແປງການຕັ້ງຄ່າແລະການຍົກລະດັບອຸປະກອນທີ່ງ່າຍດາຍແລະງ່າຍດາຍ, ແລະປະສິດທິຜົນຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການນໍາໃຊ້ແລະການຍົກລະດັບ.

ຄຸນ​ນະ​ສົມ​ບັດ​ອຸ​ປະ​ກອນ​:

1. ອົງປະກອບຂອງອັດຕາເງິນເຟີ້ຂອງອຸປະກອນສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນປະກອບດ້ວຍເຄື່ອງວັດແທກການໄຫຼຂອງມະຫາຊົນ, ປ່ຽງ solenoid ແລະຖັງປະສົມອາຍແກັສ, ເຊິ່ງຮັບປະກັນການຄວບຄຸມການໄຫຼຂອງອາຍແກັສຂະບວນການທີ່ຖືກຕ້ອງ, ການປະສົມເອກະພາບແລະການແຍກທາດອາຍແກັສທີ່ແຕກຕ່າງກັນຢ່າງປອດໄພ, ແລະສາມາດເລືອກອົງປະກອບຂອງລະບົບອາຍແກັສສໍາລັບການນໍາໃຊ້ແຫຼ່ງອາຍແກັສແຫຼວ, ອໍານວຍຄວາມສະດວກໃນການຄັດເລືອກສ່ວນບຸກຄົນຂອງແຫຼ່ງກາກບອນແຫຼວທີ່ຫລາກຫລາຍ, ແລະການນໍາໃຊ້ທີ່ປອດໄພຂອງວັດສະດຸສັງເຄາະ boron ຂອງແຫຼວ.
2.The ສະພາແຫ່ງການສະກັດເອົາອາກາດແມ່ນອຸປະກອນທີ່ມີເຄື່ອງສູບສູນຍາກາດ rotary vane ງຽບແລະປະສິດທິພາບແລະລະບົບປັ໊ມໂມເລກຸນ turbo ທີ່ສາມາດຕອບສະຫນອງສະພາບແວດລ້ອມພື້ນຖານສູນຍາກາດສູງຢ່າງໄວວາ. ເຄື່ອງວັດສູນຍາກາດປະສົມກັບເຄື່ອງວັດແທກຄວາມຕ້ານທານແລະ ionization gauge ຖືກນໍາໃຊ້ສໍາລັບການວັດແທກສູນຍາກາດ, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບລະບົບການວັດແທກຮູບເງົາ capacitive ທີ່ສາມາດວັດແທກຄວາມກົດດັນຂອງອາຍແກັສຂະບວນການທີ່ແຕກຕ່າງກັນໃນຂອບເຂດກ້ວາງ. ຄວາມກົດດັນຂອງເງິນຝາກໄດ້ຖືກຄວບຄຸມອັດຕະໂນມັດຢ່າງເຕັມສ່ວນໂດຍວາວຄວບຄຸມອັດຕາສ່ວນຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ.
3.The ອົງປະກອບນ້ໍາເຢັນແມ່ນອຸປະກອນທີ່ມີຄວາມກົດດັນນ້ໍາຫຼາຍຊ່ອງທາງ, ການໄຫຼ, ການວັດແທກອຸນຫະພູມແລະຊອບແວຕິດຕາມກວດກາອັດຕະໂນມັດ. ອົງປະກອບຂອງຄວາມເຢັນທີ່ແຕກຕ່າງກັນແມ່ນເປັນເອກະລາດຂອງກັນແລະກັນ, ເຊິ່ງສະດວກສໍາລັບການວິນິດໄສຄວາມຜິດຢ່າງໄວວາ. ສາຂາທັງຫມົດມີສະຫຼັບປ່ຽງເອກະລາດ, ເຊິ່ງມີຄວາມປອດໄພແລະປະສິດທິພາບ.
4.The ອົງປະກອບການຄວບຄຸມໄຟຟ້າຮັບຮອງເອົາຂະຫນາດໃຫຍ່ man-machine interface ຫນ້າຈໍ LCD ແລະຮ່ວມມືກັບ PLC ການຄວບຄຸມອັດຕະໂນມັດຢ່າງເຕັມທີ່ເພື່ອຄວາມສະດວກການແກ້ໄຂແລະການນໍາເຂົ້າສູດຂະບວນການ. ເສັ້ນໂຄ້ງກາຟິກສະແດງໃຫ້ເຫັນການປ່ຽນແປງ ແລະຄຸນຄ່າຂອງພາລາມິເຕີຕ່າງໆ, ແລະຕົວກໍານົດການອຸປະກອນ ແລະຂະບວນການຈະຖືກບັນທຶກ ແລະເກັບໄວ້ໂດຍອັດຕະໂນມັດເພື່ອອໍານວຍຄວາມສະດວກໃນການຕິດຕາມບັນຫາ ແລະການວິເຄາະສະຖິຕິຂໍ້ມູນ.
5.The workpiece rack ໄດ້ຖືກຕິດຕັ້ງດ້ວຍມໍເຕີ servo ເພື່ອຄວບຄຸມການຍົກແລະການຫຼຸດລົງຂອງຕາຕະລາງ substrate. ຕາຕະລາງຍ່ອຍ graphite ຫຼືສີແດງທອງແດງສາມາດເລືອກໄດ້. ອຸນຫະພູມແມ່ນວັດແທກໂດຍ thermocouple.
6.The ອົງປະກອບຂອງ rack ສາມາດອອກແບບທັງຫມົດຫຼືແຍກຕ່າງຫາກຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການການຈັດການພິເສດຂອງລູກຄ້າ.
7.The ອົງປະກອບແຜ່ນຜະນຶກແມ່ນງາມແລະສະຫງ່າງາມ. ແຜ່ນປະທັບຕາໃນເຂດໂມດູນທີ່ເຮັດວຽກທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງອຸປະກອນສາມາດຖອດອອກໄດ້ໄວຫຼືເປີດແລະປິດຢ່າງເປັນເອກະລາດ, ເຊິ່ງສະດວກຫຼາຍທີ່ຈະນໍາໃຊ້.

ອຸປະກອນ CVD filament ຮ້ອນແມ່ນເຫມາະສົມສໍາລັບການຝາກວັດສະດຸເພັດ, ລວມທັງການເຄືອບຮູບເງົາບາງໆ, ແຜ່ນຫນາທີ່ສະຫນັບສະຫນູນຕົນເອງ, microcrystalline ແລະ nanocrystalline ເພັດ, ເພັດ conductive, ແລະອື່ນໆ, ມັນສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ສໍາລັບການເຄືອບປ້ອງກັນການສວມໃສ່ຂອງເຄື່ອງຕັດຊີມັງ carbide, ວັດສະດຸ semiconductor ເຊັ່ນ silicon ແລະ silicon carbide, ຄວາມຮ້ອນ dissipation boron ຂອງເພັດ, ອຸປະກອນການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນ. ການປິ່ນປົວນ້ໍາ electrolytic ຫຼືນ້ໍາເສຍ.