HFCVD0606

D'Vakuumbeschichtungskammer vun der chemescher Gasoflagerungsausrüstung benotzt eng onofhängeg Duebelschicht-Waasserkillungsstruktur, déi effizient an gläichméisseg killt, an eng sécher a stabil Struktur huet. D'Ausrüstung ass mat Duebeldieren, multiple Observatiounsfënsteren a multiple Expansiounsinterfaces entworf, wat praktesch ass fir extern Verbindung vun zousätzleche Peripheriegeräter wéi Infrarouttemperaturmiessung, Spektralanalyse, Videoiwwerwaachung an Thermoelement. Dat fortgeschratt Designkonzept mécht déi deeglech Iwwerpréiwung an Ënnerhalt, Konfiguratiounsännerung an Upgrade vun der Ausrüstung einfach an einfach, a reduzéiert effektiv d'Benotzungs- an Upgradekäschten.

Ausrüstungsfeatures:

1. D'Opbloskomponente vum Ausrüstung ëmfaassen haaptsächlech e Massenduerchflussmesser, e Magnetventil an e Gasmëschtank, déi eng präzis Kontroll vum Prozessgasfloss, eng gläichméisseg Mëschung an eng sécher Isolatioun vu verschiddene Gaser garantéieren, a kënnen Gassystemkomponenten fir d'Benotzung vun enger flësseger Gasquell auswielen, déi personaliséiert Auswiel vun enger breeder Palette vu flëssege Kuelestoffquellen an déi sécher Benotzung vu syntheteschen, leitfäege Diamanten a Elektrodenflëssege Borquellen erliichteren.
2. D'Loftofzuchsanlag ass mat enger roueger an effizienter Rotatiounsvakuumpompel an engem Turbo-Molekularpompelsystem ausgestatt, dat sech séier un den héije Vakuum-Hannergrondëmfeld hält. De Komposit-Vakuummesser mat Widderstandsmesser an Ioniséierungsmesser gëtt fir d'Vakuummiessung benotzt, souwéi de kapazitive Filmmessersystem, deen den Drock vu verschiddene Prozessgaser an engem breede Beräich moosse kann. Den Oflagerungsdrock gëtt vollautomatesch vun engem héichpräzise proportionale Kontrollventil gesteiert.
3. D'Killwaasserkomponent ass mat enger Multikanal-Waasserdrock-, Duerchfluss-, Temperaturmessung an automatescher Software-Iwwerwaachung ausgestatt. Verschidde Killkomponente si vuneneen onofhängeg, wat fir eng séier Feelerdiagnos praktesch ass. All Branchen hunn onofhängeg Ventilschalter, wat sécher an effizient ass.
4. Déi elektresch Kontrollkomponenten benotzen e grousse Mënsch-Maschinn-Interface LCD-Bildschierm a kooperéiere mat der vollautomatescher PLC-Steierung, fir d'Editioun an den Import vun der Prozessformel ze erliichteren. Déi grafesch Kurve weist d'Ännerungen a Wäerter vu verschiddene Parameteren visuell un, an d'Ausrüstung an d'Prozessparameter ginn automatesch opgeholl an archivéiert, fir d'Problemverfolgung an d'statistesch Datenanalyse ze erliichteren.
5. De Werkstéckregal ass mat engem Servomotor ausgestatt fir d'Hiewen an d'Senken vum Substratdësch ze steieren. De Substratdësch aus Graphit oder roudem Koffer kann ausgewielt ginn. D'Temperatur gëtt mat engem Thermoelement gemooss.
6. D'Rackkomponenten kënnen als Ganzt oder separat no de Bedierfnesser vum Client entworf ginn, fir déi speziell Handhabungsbedürfnisser vun de Clienten gerecht ze ginn.
7. D'Komponente vun der Dichtplack si schéin an elegant. D'Dichtplacken an de verschiddene funktionelle Modulberäicher vum Apparat kënne séier ofmontéiert oder onofhängeg opgemaach a zougemaach ginn, wat ganz praktesch ass.

Hot Filament CVD Ausrüstung ass gëeegent fir d'Oflagerung vun Diamantmaterialien, dorënner Dënnschichtbeschichtungen, selbstträgende Déckschichtbeschichtungen, mikrokristallinen an nanokristallinen Diamanten, leitfäege Diamanten, etc. Et gëtt haaptsächlech fir verschleißbeständeg Schutzbeschichtung vu Hartmetall-Schneidinstrumenter, Hallefleitmaterialien wéi Silizium a Siliziumkarbid, Wärmeofléisungsbeschichtung vun Apparater, bor-dotiert leitfäeg Diamantelektrode, Ozondesinfektioun vun elektrolytesche Waasser oder Ofwaasserbehandlung benotzt.