HFCVD0606

Odeya pêçandina vakûmê ya alavên danîna buxara kîmyewî avahiyek serbixû ya duqatî ya sarkirina avê bikar tîne, ku di sarkirinê de bi bandor û yekreng e, û xwedan avahiyek ewle û aram e. Amûr bi deriyên duqatî, pencereyên çavdêriyê yên pirjimar û navrûyên berfirehkirinê yên pirjimar hatine sêwirandin, ku ji bo girêdana derveyî ya alavên alîkar ên wekî pîvandina germahiya înfrared, analîza spektral, çavdêriya vîdyoyê û termocuple guncan e. Konsepta sêwirana pêşkeftî sererastkirin û lênêrînê ya rojane, guhertina mîhengkirinê û nûvekirina alavan hêsan û sade dike, û bi bandor lêçûnên karanîn û nûvekirinê kêm dike.

Taybetmendiyên amûran:

1. Pêkhateyên enflasyonê yên alavan bi giranî pîvana herikîna girseyî, valva solenoid û tanka tevlihevkirina gazê vedihewîne, ku kontrola rast a herikîna gaza pêvajoyê, tevlihevkirina yekreng û veqetandina ewle ya gazên cûda misoger dike, û dikare pêkhateyên pergala gazê ji bo karanîna çavkaniya gaza şil hilbijêre, hilbijartina kesane ya rêzek fireh ji çavkaniyên karbona şil, û karanîna ewle ya çavkaniyên elmasê yên sentetîk û boronên elektrodê yên şil hêsan bike.
2. Meclisa derxistina hewayê bi pompeke valahiyê ya zivirî ya bêdeng û bibandor û sîstemeke pompeya molekulî ya turbo ve hatî sazkirin ku dikare bi lez û bez hawîrdora paşxaneya valahiya bilind bicîh bîne. Pîvana valahiya pêkhatî bi pîvana berxwedanê û pîvana îyonîzasyonê ji bo pîvana valahiya tê bikar anîn, û her weha sîstema pîvana fîlmê ya kapasîteyî ku dikare zexta gazên pêvajoyê yên cûda di rêzek fireh de bipîve. Zeexta danînê bi tevahî otomatîkî ji hêla valva kontrola rêjeyî ya rastbûna bilind ve tê kontrol kirin.
3. Parçeya ava sarkirinê bi pîvandina zext, herikîn, germahiya avê ya pir-kanal û çavdêriya otomatîk a nermalavê ve hatî çêkirin. Parçeyên sarkirinê yên cûda ji hev serbixwe ne, ku ji bo teşhîskirina bilez a xeletiyan guncan e. Hemî şax guhêrbarên valvê yên serbixwe hene, ku ewle û bikêrhatî ye.
4. Pêkhateyên kontrola elektrîkê ekrana LCD ya mezin a navrûya mirov-makîneyê bikar tînin û bi kontrola tam-otomatîk a PLC-ê re hevkariyê dikin da ku sererastkirin û hawirdekirina formula pêvajoyê hêsan bikin. Xêza grafîkî guhertin û nirxên parametreyên cûrbecûr bi dîtbarî nîşan dide, û amûr û parametreyên pêvajoyê bixweber têne tomar kirin û arşîv kirin da ku şopandina pirsgirêkê û analîza statîstîkî ya daneyan hêsan bikin.
5. Refê parçeyê kar bi motorek servo ve hatîye sazkirin da ku hildan û daketina maseya substratê kontrol bike. Maseya substratê ya grafît an sifirê sor dikare were hilbijartin. Germahî bi termocûpekê tê pîvandin.
6. Pêkhateyên rafê dikarin li gorî hewcedariyên xerîdar bi tevahî an jî cuda werin sêwirandin da ku hewcedariyên taybetî yên destwerdanê yên xerîdaran bicîh bînin.
7. Pêkhateyên plakaya mohrkirinê xweşik û elegant in. Plaqeyên mohrkirinê yên di deverên modulên fonksiyonel ên cûda yên alavan de dikarin bi lez werin veqetandin an jî bi serbixwe werin vekirin û girtin, ku karanîna wê pir hêsan e.

Amûrên CVD yên fîlamenta germ ji bo danîna materyalên elmasê, di nav de pêçandina fîlma zirav, fîlma stûr a xwe-piştgir, elmasa mîkrokristalîn û nanokristalîn, elmasa guhêrbar, û hwd. guncaw in. Ew bi giranî ji bo pêçandina parastinê ya berxwedêr a li hember aşînê ya amûrên birrîna karbîdê ya çîmentokirî, materyalên nîvconductor ên wekî silîkon û karbîda silîkonê, pêçandina belavkirina germê ya amûran, elektroda elmasa guhêrbar a dopîngkirî ya boronê, dezenfektekirina ozonê ya ava elektrolîtîk an jî dermankirina kanalîzasyonê tê bikar anîn.