HFCVD0606 ಪರಿಚಯ

ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣಾ ಉಪಕರಣದ ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಕೊಠಡಿಯು ಸ್ವತಂತ್ರ ಡಬಲ್-ಲೇಯರ್ ವಾಟರ್-ಕೂಲಿಂಗ್ ರಚನೆಯನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಂಡಿದೆ, ಇದು ತಂಪಾಗಿಸುವಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಮತ್ತು ಏಕರೂಪವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಸುರಕ್ಷಿತ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರವಾದ ರಚನೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಉಪಕರಣವನ್ನು ಡಬಲ್ ಬಾಗಿಲುಗಳು, ಬಹು ವೀಕ್ಷಣಾ ಕಿಟಕಿಗಳು ಮತ್ತು ಬಹು ವಿಸ್ತರಣಾ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್‌ಗಳೊಂದಿಗೆ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ, ಇದು ಅತಿಗೆಂಪು ತಾಪಮಾನ ಮಾಪನ, ರೋಹಿತ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ, ವೀಡಿಯೊ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮತ್ತು ಥರ್ಮೋಕಪಲ್‌ನಂತಹ ಸಹಾಯಕ ಪೆರಿಫೆರಲ್‌ಗಳ ಬಾಹ್ಯ ಸಂಪರ್ಕಕ್ಕೆ ಅನುಕೂಲಕರವಾಗಿದೆ. ಸುಧಾರಿತ ವಿನ್ಯಾಸ ಪರಿಕಲ್ಪನೆಯು ಉಪಕರಣಗಳ ದೈನಂದಿನ ಕೂಲಂಕುಷ ಪರೀಕ್ಷೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆ, ಸಂರಚನಾ ಬದಲಾವಣೆ ಮತ್ತು ಅಪ್‌ಗ್ರೇಡ್ ಅನ್ನು ಸುಲಭ ಮತ್ತು ಸರಳಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಬಳಕೆ ಮತ್ತು ಅಪ್‌ಗ್ರೇಡ್ ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ಸಲಕರಣೆಗಳ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು:

1. ಉಪಕರಣಗಳ ಹಣದುಬ್ಬರ ಘಟಕಗಳು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಮಾಸ್ ಫ್ಲೋ ಮೀಟರ್, ಸೊಲೆನಾಯ್ಡ್ ಕವಾಟ ಮತ್ತು ಅನಿಲ ಮಿಶ್ರಣ ಟ್ಯಾಂಕ್ ಅನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತವೆ, ಇದು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅನಿಲ ಹರಿವಿನ ನಿಖರವಾದ ನಿಯಂತ್ರಣ, ಏಕರೂಪದ ಮಿಶ್ರಣ ಮತ್ತು ವಿವಿಧ ಅನಿಲಗಳ ಸುರಕ್ಷಿತ ಪ್ರತ್ಯೇಕತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ದ್ರವ ಅನಿಲ ಮೂಲದ ಬಳಕೆಗಾಗಿ ಅನಿಲ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡಬಹುದು, ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ ದ್ರವ ಇಂಗಾಲದ ಮೂಲಗಳ ವೈಯಕ್ತಿಕಗೊಳಿಸಿದ ಆಯ್ಕೆಯನ್ನು ಮತ್ತು ಸಂಶ್ಲೇಷಿತ ವಾಹಕ ವಜ್ರ ಮತ್ತು ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್ ದ್ರವ ಬೋರಾನ್ ಮೂಲಗಳ ಸುರಕ್ಷಿತ ಬಳಕೆಯನ್ನು ಸುಗಮಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.
2.ಗಾಳಿಯ ಹೊರತೆಗೆಯುವ ಜೋಡಣೆಯು ನಿಶ್ಯಬ್ದ ಮತ್ತು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ರೋಟರಿ ವೇನ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಪಂಪ್ ಮತ್ತು ಟರ್ಬೊ ಆಣ್ವಿಕ ಪಂಪ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದು ಅದು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತ ಹಿನ್ನೆಲೆ ಪರಿಸರವನ್ನು ತ್ವರಿತವಾಗಿ ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ. ಪ್ರತಿರೋಧ ಗೇಜ್ ಮತ್ತು ಅಯಾನೀಕರಣ ಗೇಜ್ ಹೊಂದಿರುವ ಸಂಯೋಜಿತ ನಿರ್ವಾತ ಗೇಜ್ ಅನ್ನು ನಿರ್ವಾತ ಮಾಪನಕ್ಕಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಜೊತೆಗೆ ವಿವಿಧ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅನಿಲಗಳ ಒತ್ತಡವನ್ನು ವಿಶಾಲ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯಲ್ಲಿ ಅಳೆಯಬಹುದಾದ ಕೆಪ್ಯಾಸಿಟಿವ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಗೇಜ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಶೇಖರಣಾ ಒತ್ತಡವು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಅನುಪಾತದ ನಿಯಂತ್ರಣ ಕವಾಟದಿಂದ ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತವಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಲ್ಪಡುತ್ತದೆ.
3. ತಂಪಾಗಿಸುವ ನೀರಿನ ಘಟಕವು ಬಹು-ಚಾನಲ್ ನೀರಿನ ಒತ್ತಡ, ಹರಿವು, ತಾಪಮಾನ ಮಾಪನ ಮತ್ತು ಸಾಫ್ಟ್‌ವೇರ್ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆಯೊಂದಿಗೆ ಸಜ್ಜುಗೊಂಡಿದೆ. ವಿಭಿನ್ನ ತಂಪಾಗಿಸುವ ಘಟಕಗಳು ಪರಸ್ಪರ ಸ್ವತಂತ್ರವಾಗಿರುತ್ತವೆ, ಇದು ತ್ವರಿತ ದೋಷ ರೋಗನಿರ್ಣಯಕ್ಕೆ ಅನುಕೂಲಕರವಾಗಿದೆ. ಎಲ್ಲಾ ಶಾಖೆಗಳು ಸ್ವತಂತ್ರ ಕವಾಟ ಸ್ವಿಚ್‌ಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ, ಇದು ಸುರಕ್ಷಿತ ಮತ್ತು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿದೆ.
4. ವಿದ್ಯುತ್ ನಿಯಂತ್ರಣ ಘಟಕಗಳು ದೊಡ್ಡ ಗಾತ್ರದ ಮ್ಯಾನ್-ಮೆಷಿನ್ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ LCD ಪರದೆಯನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಸೂತ್ರದ ಸಂಪಾದನೆ ಮತ್ತು ಆಮದು ಮಾಡಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯನ್ನು ಸುಲಭಗೊಳಿಸಲು PLC ಪೂರ್ಣ-ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ನಿಯಂತ್ರಣದೊಂದಿಗೆ ಸಹಕರಿಸುತ್ತವೆ.ಗ್ರಾಫಿಕಲ್ ಕರ್ವ್ ವಿವಿಧ ನಿಯತಾಂಕಗಳ ಬದಲಾವಣೆಗಳು ಮತ್ತು ಮೌಲ್ಯಗಳನ್ನು ದೃಷ್ಟಿಗೋಚರವಾಗಿ ಪ್ರದರ್ಶಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸಮಸ್ಯೆ ಪತ್ತೆಹಚ್ಚುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಡೇಟಾ ಅಂಕಿಅಂಶಗಳ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆಯನ್ನು ಸುಗಮಗೊಳಿಸಲು ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತವಾಗಿ ರೆಕಾರ್ಡ್ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಆರ್ಕೈವ್ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ.
5. ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್ ರ್ಯಾಕ್‌ನಲ್ಲಿ ತಲಾಧಾರ ಟೇಬಲ್ ಅನ್ನು ಎತ್ತುವುದು ಮತ್ತು ಇಳಿಸುವುದನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸಲು ಸರ್ವೋ ಮೋಟಾರ್ ಅಳವಡಿಸಲಾಗಿದೆ. ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಅಥವಾ ಕೆಂಪು ತಾಮ್ರದ ತಲಾಧಾರ ಟೇಬಲ್ ಅನ್ನು ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡಬಹುದು. ತಾಪಮಾನವನ್ನು ಥರ್ಮೋಕಪಲ್‌ನಿಂದ ಅಳೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ.
6. ಗ್ರಾಹಕರ ವಿಶೇಷ ನಿರ್ವಹಣಾ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ಗ್ರಾಹಕರ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ರ್ಯಾಕ್ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಒಟ್ಟಾರೆಯಾಗಿ ಅಥವಾ ಪ್ರತ್ಯೇಕವಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಬಹುದು.
7. ಸೀಲಿಂಗ್ ಪ್ಲೇಟ್ ಘಟಕಗಳು ಸುಂದರ ಮತ್ತು ಸೊಗಸಾಗಿವೆ.ಉಪಕರಣದ ವಿವಿಧ ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಮಾಡ್ಯೂಲ್ ಪ್ರದೇಶಗಳಲ್ಲಿನ ಸೀಲಿಂಗ್ ಪ್ಲೇಟ್‌ಗಳನ್ನು ತ್ವರಿತವಾಗಿ ಡಿಸ್ಅಸೆಂಬಲ್ ಮಾಡಬಹುದು ಅಥವಾ ಸ್ವತಂತ್ರವಾಗಿ ತೆರೆಯಬಹುದು ಮತ್ತು ಮುಚ್ಚಬಹುದು, ಇದು ಬಳಸಲು ತುಂಬಾ ಅನುಕೂಲಕರವಾಗಿದೆ.

ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಲೇಪನ, ಸ್ವಯಂ-ಪೋಷಕ ದಪ್ಪ ಫಿಲ್ಮ್, ಮೈಕ್ರೋಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ ಮತ್ತು ನ್ಯಾನೊಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ ವಜ್ರ, ವಾಹಕ ವಜ್ರ ಇತ್ಯಾದಿಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಂತೆ ವಜ್ರದ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡಲು ಹಾಟ್ ಫಿಲಮೆಂಟ್ CVD ಉಪಕರಣಗಳು ಸೂಕ್ತವಾಗಿವೆ. ಇದನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಸಿಮೆಂಟೆಡ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ಉಪಕರಣಗಳ ಉಡುಗೆ-ನಿರೋಧಕ ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ಲೇಪನ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್‌ನಂತಹ ಅರೆವಾಹಕ ವಸ್ತುಗಳು, ಸಾಧನಗಳ ಶಾಖ ಪ್ರಸರಣ ಲೇಪನ, ಬೋರಾನ್ ಡೋಪ್ಡ್ ಕಂಡಕ್ಟಿವ್ ಡೈಮಂಡ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್, ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಲೈಟಿಕ್ ನೀರಿನ ಓಝೋನ್ ಸೋಂಕುಗಳೆತ ಅಥವಾ ಒಳಚರಂಡಿ ಸಂಸ್ಕರಣೆಗೆ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.