HFCVD0606

ქიმიური ორთქლის დეპონირების მოწყობილობის ვაკუუმური საფარის კამერას აქვს დამოუკიდებელი ორშრიანი წყლის გაგრილების სტრუქტურა, რომელიც ეფექტური და ერთგვაროვანია გაგრილებისთვის და აქვს უსაფრთხო და სტაბილური სტრუქტურა. მოწყობილობა შექმნილია ორმაგი კარებით, მრავალი დაკვირვების ფანჯრით და მრავალი გაფართოების ინტერფეისით, რაც მოსახერხებელია დამხმარე პერიფერიული მოწყობილობების, როგორიცაა ინფრაწითელი ტემპერატურის გაზომვა, სპექტრული ანალიზი, ვიდეო მონიტორინგი და თერმოწყვილი, გარე შეერთებისთვის. მოწინავე დიზაინის კონცეფცია აადვილებს აღჭურვილობის ყოველდღიურ რემონტს და მოვლას, კონფიგურაციის შეცვლას და განახლებას და ეფექტურად ამცირებს გამოყენებისა და განახლების ხარჯებს.

აღჭურვილობის მახასიათებლები:

1. აღჭურვილობის გასაბერი კომპონენტები ძირითადად მოიცავს მასის ნაკადის მრიცხველს, სოლენოიდურ სარქველს და გაზის შემრევ ავზს, რომლებიც უზრუნველყოფენ პროცესის გაზის ნაკადის ზუსტ კონტროლს, სხვადასხვა აირების ერთგვაროვან შერევას და უსაფრთხო იზოლაციას და შეუძლიათ გაზის სისტემის კომპონენტების შერჩევა თხევადი გაზის წყაროს გამოსაყენებლად, ხელს უწყობენ თხევადი ნახშირბადის წყაროების ფართო სპექტრის პერსონალიზებულ შერჩევას და სინთეზური გამტარი ბრილიანტისა და ელექტროდის თხევადი ბორის წყაროების უსაფრთხო გამოყენებას.
2. ჰაერის გამწოვი აგრეგატი აღჭურვილია ჩუმი და ეფექტური მბრუნავი ვაკუუმური ტუმბოთი და ტურბომოლეკულური ტუმბოს სისტემით, რომელსაც შეუძლია სწრაფად მოერგოს მაღალი ვაკუუმის ფონურ გარემოს. ვაკუუმის გაზომვისთვის გამოიყენება კომპოზიტური ვაკუუმის საზომი წინააღმდეგობის საზომით და იონიზაციის საზომით, ასევე ტევადური ფირის საზომი სისტემა, რომელსაც შეუძლია სხვადასხვა დამუშავების აირების წნევის გაზომვა ფართო დიაპაზონში. დალექვის წნევა სრულად ავტომატურად კონტროლდება მაღალი სიზუსტის პროპორციული მართვის სარქველით.
3. გამაგრილებელი წყლის კომპონენტი აღჭურვილია წყლის წნევის, ნაკადის, ტემპერატურის მრავალარხიანი საზომი და პროგრამული უზრუნველყოფის ავტომატური მონიტორინგით. სხვადასხვა გამაგრილებელი კომპონენტი ერთმანეთისგან დამოუკიდებელია, რაც მოსახერხებელია გაუმართაობის სწრაფი დიაგნოსტიკისთვის. ყველა შტოს აქვს დამოუკიდებელი სარქვლის გადამრთველები, რაც უსაფრთხო და ეფექტურია.
4. ელექტრო მართვის კომპონენტები აღჭურვილია დიდი ზომის ადამიან-მანქანის ინტერფეისის LCD ეკრანით და ურთიერთქმედებენ PLC-ის სრულ ავტომატურ კონტროლთან, რაც ხელს უწყობს პროცესის ფორმულის რედაქტირებას და იმპორტირებას. გრაფიკული მრუდი ვიზუალურად აჩვენებს სხვადასხვა პარამეტრების ცვლილებებსა და მნიშვნელობებს, ხოლო აღჭურვილობა და პროცესის პარამეტრები ავტომატურად იწერება და არქივდება პრობლემების მოძიებისა და მონაცემთა სტატისტიკური ანალიზის გასაადვილებლად.
5. სამუშაო ნაწილის თარო აღჭურვილია სერვოძრავით, რომელიც აკონტროლებს სუბსტრატის მაგიდის აწევას და დაწევას. შესაძლებელია გრაფიტის ან წითელი სპილენძის სუბსტრატის მაგიდის არჩევა. ტემპერატურა იზომება თერმოწყვილით.
6. თაროს კომპონენტების დაპროექტება შესაძლებელია მთლიანად ან ცალ-ცალკე, მომხმარებლის მოთხოვნების შესაბამისად, მომხმარებლის სპეციალური დამუშავების მოთხოვნების დასაკმაყოფილებლად.
7. დალუქვის ფირფიტის კომპონენტები ლამაზი და ელეგანტურია. აღჭურვილობის სხვადასხვა ფუნქციურ მოდულის არეალში არსებული დალუქვის ფირფიტების სწრაფად დაშლა ან დამოუკიდებლად გახსნა-დახურვა შესაძლებელია, რაც გამოსაყენებლად ძალიან მოსახერხებელია.

ცხელი ძაფის CVD მოწყობილობა გამოდგება ბრილიანტის მასალების დასაფენად, მათ შორის თხელი აპკის საფარის, თვითდამჭერი სქელი აპკის, მიკროკრისტალური და ნანოკრისტალური ბრილიანტის, გამტარი ბრილიანტის და ა.შ. იგი ძირითადად გამოიყენება ცემენტირებული კარბიდის საჭრელი ხელსაწყოების ცვეთამედეგი დამცავი საფარისთვის, ნახევარგამტარული მასალების, როგორიცაა სილიციუმი და სილიციუმის კარბიდი, მოწყობილობების სითბოს გაფრქვევის საფარისთვის, ბორით დოპირებული გამტარი ბრილიანტის ელექტროდისთვის, ელექტროლიტური წყლის ოზონის დეზინფექციისთვის ან კანალიზაციის გამწმენდი ნაგებობების გასაწმენდად.