HFCVD0606

תא ציפוי הוואקום של ציוד שקיעת אדים כימית מאמץ מבנה קירור מים דו-שכבתי עצמאי, שהוא יעיל ואחיד בקירור, ובעל מבנה בטוח ויציב. הציוד מתוכנן עם דלתות כפולות, חלונות תצפית מרובים וממשקי הרחבה מרובים, הנוחים לחיבור חיצוני של ציוד היקפי עזר כגון מדידת טמפרטורה אינפרא אדום, ניתוח ספקטרלי, ניטור וידאו וצמד תרמי. קונספט העיצוב המתקדם הופך את השיפוץ והתחזוקה היומיומיים, שינוי התצורה והשדרוג של הציוד לקלים ופשוטים, ומפחית ביעילות את עלויות השימוש והשדרוג.

תכונות ציוד:

1. רכיבי הניפוח של הציוד כוללים בעיקר מד זרימת מסה, שסתום סולנואיד ומיכל ערבוב גז, המבטיחים בקרה מדויקת של זרימת גז התהליך, ערבוב אחיד ובידוד בטוח של גזים שונים, ויכולים לבחור רכיבי מערכת גז לשימוש במקור גז נוזלי, להקל על בחירה מותאמת אישית של מגוון רחב של מקורות פחמן נוזלי, ושימוש בטוח ביהלום מוליך סינתטי ובמקורות בורון נוזלי אלקטרודה.
2. מכלול שאיבת האוויר מצויד במשאבת ואקום סיבובית שקטה ויעילה ובמערכת משאבה טורבו מולקולרית שיכולה להתמודד במהירות עם סביבת רקע ואקום גבוהה. מד ואקום מרוכב עם מד התנגדות ומד יינון משמש למדידת ואקום, כמו גם מערכת מדידת סרט קיבולי שיכולה למדוד את הלחץ של גזי תהליך שונים בטווח רחב. לחץ השיקוע נשלט אוטומטית לחלוטין על ידי שסתום בקרה פרופורציונלי מדויק.
3. רכיב מי הקירור מצויד במדידת לחץ מים, זרימה וטמפרטורה רב-ערוצית וניטור אוטומטי תוכנה. רכיבי קירור שונים עצמאיים זה מזה, מה שנוח לאבחון מהיר של תקלות. לכל הסניפים יש מתגי שסתומים עצמאיים, דבר בטוח ויעיל.
4. רכיבי הבקרה החשמליים מאמצים מסך LCD גדול בעל ממשק אדם-מכונה ומשתפים פעולה עם בקרה אוטומטית מלאה של PLC כדי להקל על עריכה וייבוא ​​של נוסחאות התהליך. העקומה הגרפית מציגה ויזואלית את השינויים והערכים של פרמטרים שונים, ופרמטרי הציוד והתהליך נרשמים ומאוחסנים אוטומטית כדי להקל על איתור בעיות וניתוח סטטיסטי של נתונים.
5. מדף חומר העבודה מצויד במנוע סרבו לשליטה בהרמה והורדה של שולחן המצע. ניתן לבחור שולחן מצע גרפיט או נחושת אדומה. הטמפרטורה נמדדת באמצעות צמד תרמי.
6. ניתן לתכנן את רכיבי המדף כמכלול שלם או בנפרד בהתאם לדרישות הלקוח כדי לעמוד בדרישות הטיפול המיוחדות של הלקוחות.
7. רכיבי לוח האיטום יפים ואלגנטיים. ניתן לפרק במהירות או לפתוח ולסגור את לוחות האיטום באזורי מודול פונקציונליים שונים של הציוד, וזה מאוד נוח לשימוש.

ציוד CVD עם פילמנט חם מתאים להפקדת חומרי יהלום, כולל ציפוי שכבה דקה, שכבה עבה תומכת עצמית, יהלום מיקרוקריסטלי וננו-קריסטלי, יהלום מוליך וכו'. הוא משמש בעיקר לציפוי מגן עמיד בפני שחיקה של כלי חיתוך קרביד צמנטיים, חומרי מוליכים למחצה כגון סיליקון וסיליקון קרביד, ציפוי לפיזור חום של מכשירים, אלקטרודת יהלום מוליכה מסוממת בורון, חיטוי אוזון של מים אלקטרוליטיים או טיפול בשפכים.