HFCVD0606

Lofttæmishólfið í efnagufuútfellingarbúnaðinum notar sjálfstæða tvílaga vatnskælingarbyggingu, sem er skilvirk og einsleit í kælingu og hefur örugga og stöðuga uppbyggingu. Búnaðurinn er hannaður með tvöföldum hurðum, mörgum athugunargluggum og mörgum útvíkkunartengi, sem er þægilegt fyrir ytri tengingu við aukabúnað eins og innrauða hitastigsmælingu, litrófsgreiningu, myndbandseftirlit og hitaeiningar. Háþróaða hönnunarhugtakið gerir daglegt viðhald og yfirhal, stillingarbreytingar og uppfærslur á búnaðinum auðvelda og einfalda og dregur á áhrifaríkan hátt úr notkunar- og uppfærslukostnaði.

Eiginleikar búnaðar:

1. Íhlutir búnaðarins sem blása upp eru aðallega massaflæðismælir, segulloki og gasblöndunartankur, sem tryggja nákvæma stjórnun á flæði ferlisgassins, jafna blöndun og örugga einangrun mismunandi lofttegunda og geta valið íhluti gaskerfisins fyrir notkun fljótandi gasgjafa, auðveldað persónulegt val á fjölbreyttum fljótandi kolefnisgjöfum og örugga notkun tilbúinna leiðandi demants og rafskautsfljótandi bórgjafa.
2. Loftútsogsbúnaðurinn er búinn hljóðlátri og skilvirkri snúningsblöðku-lofttæmisdælu og túrbó-sameindadælukerfi sem getur fljótt tekist á við umhverfi með miklu lofttæmi. Samsettur lofttæmismælir með viðnámsmæli og jónunarmæli er notaður til lofttæmismælinga, sem og rafrýmd filmumælikerfi sem getur mælt þrýsting mismunandi ferlislofttegunda á breiðu bili. Útfellingarþrýstingurinn er fullkomlega sjálfvirkur með nákvæmum hlutfallsstýriloka.
3. Kælivatnshlutinn er búinn fjölrása vatnsþrýstings-, flæðis-, hitamælingum og hugbúnaði fyrir sjálfvirka eftirlit. Mismunandi kælihlutar eru óháðir hver öðrum, sem er þægilegt fyrir hraða bilanagreiningu. Allar greinar eru með óháða lokarofa, sem er öruggt og skilvirkt.
4. Rafstýringareiningarnar nota stóran LCD skjá með mann-vél tengi og vinna með sjálfvirkri PLC stýringu til að auðvelda breytingu og innflutning á ferlisformúlum. Grafíska ferillinn sýnir sjónrænt breytingar og gildi ýmissa breyta og búnaðar- og ferlisbreyturnar eru sjálfkrafa skráðar og geymdar til að auðvelda vandamálaleit og tölfræðilega greiningu gagna.
5. Vinnustykkisgrindin er búin servómótor til að stjórna lyftingu og lækkun undirlagsborðsins. Hægt er að velja á milli grafít- eða rauðkoparundirlagsborðs. Hitastigið er mælt með hitamæli.
6. Hægt er að hanna rekkihlutina í heild sinni eða sérstaklega í samræmi við kröfur viðskiptavina til að uppfylla sérstakar meðhöndlunarkröfur viðskiptavina.
7. Þéttiplöturnar eru fallegar og glæsilegar. Þéttiplöturnar í mismunandi virknieiningum búnaðarins er hægt að taka í sundur fljótt eða opna og loka sjálfstætt, sem er mjög þægilegt í notkun.

Heittþráðar CVD-búnaður er hentugur til að setja demantsefni, þar á meðal þunnfilmuhúðun, sjálfberandi þykkfilmu, örkristallaðan og nanókristallaðan demant, leiðandi demant o.s.frv. Hann er aðallega notaður til slitþolinnar verndarhúðunar á sementuðu karbíði skurðarverkfærum, hálfleiðaraefnum eins og sílikoni og kísilkarbíði, varmaleiðnihúðun á tækjum, bórdópuðu leiðandi demantrafskauti, ósonsótthreinsun á rafgreiningarvatni eða skólphreinsun.