HFCVD0606

Քիմիական գոլորշիների նստեցման սարքավորումների վակուումային ծածկույթի խցիկը ունի անկախ կրկնակի շերտով ջրային սառեցման կառուցվածք, որը արդյունավետ և միատարր սառեցում է ապահովում, ինչպես նաև ունի անվտանգ և կայուն կառուցվածք։ Սարքավորումը նախագծված է կրկնակի դռներով, բազմակի դիտարկման պատուհաններով և բազմակի ընդարձակման ինտերֆեյսներով, ինչը հարմար է օժանդակ ծայրամասային սարքերի, ինչպիսիք են ինֆրակարմիր ջերմաստիճանի չափումը, սպեկտրալ վերլուծությունը, տեսահսկումը և ջերմաչափը, արտաքին միացման համար։ Առաջադեմ դիզայնի կոնցեպտը սարքավորումների ամենօրյա վերանորոգումը և սպասարկումը, կոնֆիգուրացիայի փոփոխությունը և արդիականացումը դարձնում է հեշտ և պարզ, և արդյունավետորեն նվազեցնում է օգտագործման և արդիականացման ծախսերը։

Սարքավորումների առանձնահատկությունները՝

1. Սարքավորման փչման բաղադրիչները հիմնականում ներառում են զանգվածային հոսքի չափիչ, սոլենոիդային փական և գազի խառնման բաք, որոնք ապահովում են գործընթացային գազի հոսքի ճշգրիտ վերահսկողությունը, տարբեր գազերի միատարր խառնումը և անվտանգ մեկուսացումը, և կարող են ընտրել գազային համակարգի բաղադրիչներ հեղուկ գազի աղբյուրի օգտագործման համար, նպաստել հեղուկ ածխածնի աղբյուրների լայն շրջանակի անհատականացված ընտրությանը և սինթետիկ հաղորդիչ ադամանդի և էլեկտրոդային հեղուկ բորի աղբյուրների անվտանգ օգտագործմանը:
2. Օդի արտանետման համակարգը հագեցած է անաղմուկ և արդյունավետ պտտվող թևավոր վակուումային պոմպով և տուրբո մոլեկուլային պոմպային համակարգով, որը կարող է արագորեն բավարարել բարձր վակուումային ֆոնային միջավայրը: Վակուումի չափման համար օգտագործվում է դիմադրության չափիչով և իոնացման չափիչով կոմպոզիտային վակուումային չափիչ, ինչպես նաև կոնդենսատորային թաղանթային չափիչ համակարգ, որը կարող է չափել տարբեր գործընթացային գազերի ճնշումը լայն միջակայքում: Նստեցման ճնշումը լիովին ավտոմատ կերպով կառավարվում է բարձր ճշգրտության համամասնական կառավարման փականով:
3. Սառեցնող ջրի բաղադրիչը հագեցած է բազմալիքային ջրի ճնշման, հոսքի, ջերմաստիճանի չափման և ծրագրային ավտոմատ մոնիթորինգի համակարգով: Տարբեր սառեցնող բաղադրիչները միմյանցից անկախ են, ինչը հարմար է խափանումների արագ ախտորոշման համար: Բոլոր ճյուղերն ունեն անկախ փականային անջատիչներ, ինչը անվտանգ և արդյունավետ է:
4. Էլեկտրական կառավարման բաղադրիչները օգտագործում են մեծ չափի մարդ-մեքենա ինտերֆեյսի LCD էկրան և համագործակցում են PLC-ի լրիվ ավտոմատ կառավարման հետ՝ գործընթացի բանաձևի խմբագրումն ու ներմուծումը հեշտացնելու համար: Գրաֆիկական կորը տեսողականորեն ցուցադրում է տարբեր պարամետրերի փոփոխությունները և արժեքները, իսկ սարքավորումներն ու գործընթացի պարամետրերը ավտոմատ կերպով գրանցվում և արխիվացվում են՝ խնդիրների հետևումը և տվյալների վիճակագրական վերլուծությունը հեշտացնելու համար:
5. Աշխատանքային մասի դարակը հագեցած է սերվոշարժիչով՝ հիմքի սեղանի բարձրացումը և իջեցումը կառավարելու համար: Կարելի է ընտրել գրաֆիտային կամ կարմիր պղնձե հիմքի սեղան: Ջերմաստիճանը չափվում է ջերմազույգով:
6. Դարակաշարերի բաղադրիչները կարող են նախագծվել որպես ամբողջություն կամ առանձին՝ ըստ հաճախորդի պահանջների՝ հաճախորդների հատուկ մշակման պահանջները բավարարելու համար:
7. Կնքող թիթեղի բաղադրիչները գեղեցիկ և նրբագեղ են: Սարքավորման տարբեր ֆունկցիոնալ մոդուլային տարածքներում գտնվող կնքող թիթեղները կարող են արագ ապամոնտաժվել կամ անկախ բացվել և փակվել, ինչը շատ հարմար է օգտագործման համար:

Տաք թելիկավոր CVD սարքավորումները հարմար են ադամանդե նյութերի, այդ թվում՝ բարակ թաղանթային ծածկույթի, ինքնապաշտպան հաստ թաղանթի, միկրոբյուրեղային և նանոբյուրեղային ադամանդի, հաղորդիչ ադամանդի և այլնի նստեցման համար: Այն հիմնականում օգտագործվում է ցեմենտացված կարբիդային կտրող գործիքների, կիսահաղորդչային նյութերի, ինչպիսիք են սիլիցիումը և սիլիցիումի կարբիդը, սարքերի ջերմափոխանակման ծածկույթի, բորով լեգիրված հաղորդիչ ադամանդե էլեկտրոդի, էլեկտրոլիտիկ ջրի օզոնային ախտահանման կամ կոյուղու մաքրման համար: