HFCVD0606

Chanm kouch vakyòm ekipman depo vapè chimik la adopte yon estrikti refwadisman dlo doub kouch endepandan, ki efikas e inifòm nan refwadisman, epi ki gen yon estrikti ki an sekirite e ki estab. Ekipman an fèt ak pòt doub, plizyè fenèt obsèvasyon ak plizyè koòdone ekspansyon, ki pratik pou koneksyon ekstèn periferik oksilyè tankou mezi tanperati enfrawouj, analiz espektral, siveyans videyo ak tèmokoupl. Konsèp konsepsyon avanse a fè revizyon ak antretyen chak jou, chanjman konfigirasyon ak amelyorasyon ekipman an fasil e senp, epi li efektivman diminye depans itilizasyon ak amelyorasyon yo.

Karakteristik ekipman yo:

1. Konpozan enflasyon ekipman an gen ladan sitou debimèt mas, valv solenoid ak tank melanj gaz, ki asire kontwòl egzat sou koule gaz pwosesis la, melanj inifòm ak izolasyon an sekirite nan diferan gaz, epi yo ka chwazi konpozan sistèm gaz pou itilizasyon sous gaz likid, fasilite seleksyon pèsonalize nan yon pakèt sous kabòn likid, ak itilizasyon an sekirite nan dyaman kondiktif sentetik ak sous bor likid elektwòd.
2. Asanblaj ekstraksyon lè a ekipe ak yon ponp vakyòm rotary vane ki silansye e efikas ansanm ak yon sistèm ponp molekilè turbo ki ka byen vit satisfè anviwònman vakyòm ki wo. Yo itilize kalib vakyòm konpoze a ak kalib rezistans ak kalib iyonizasyon pou mezire vakyòm, ansanm ak sistèm kalib fim kapasitif la ki ka mezire presyon diferan gaz pwosesis nan yon pakèt domèn. Presyon depo a kontwole otomatikman pa yon valv kontwòl pwopòsyonèl ki gen gwo presizyon.
3. Konpozan dlo refwadisman an ekipe ak plizyè chanèl pou mezire presyon dlo, koule, tanperati ak siveyans otomatik pa lojisyèl. Diferan konpozan refwadisman yo endepandan youn ak lòt, sa ki pratik pou dyagnostik rapid defo. Tout branch yo gen switch valv endepandan, sa ki an sekirite epi efikas.
4. Konpozan kontwòl elektrik yo adopte yon ekran LCD gwo gwosè ki gen yon koòdone moun-machin epi yo kolabore avèk yon kontwòl otomatik PLC pou fasilite koreksyon ak enpòtasyon fòmil pwosesis la. Koub grafik la montre chanjman ak valè divès paramèt yo vizyèlman, epi ekipman yo ak paramèt pwosesis yo anrejistre epi achive otomatikman pou fasilite trasaj pwoblèm ak analiz estatistik done yo.
5. Etajè pyès travay la ekipe ak yon sèrvo motè pou kontwole leve ak desann tab substrat la. Ou ka chwazi tab substrat grafit oswa wouj kwiv. Yo mezire tanperati a ak yon tèmokoup.
6. Yo ka fèt konpozan etajè yo kòm yon antye oswa separeman selon kondisyon kliyan yo pou satisfè egzijans manyen espesyal kliyan yo.
7. Konpozan plak sele yo bèl e elegant. Plak sele yo nan diferan zòn modil fonksyonèl ekipman an ka demonte rapidman oubyen louvri epi fèmen poukont yo, sa ki trè pratik pou itilize.

Ekipman CVD filaman cho a apwopriye pou depoze materyèl dyaman, tankou kouch fim mens, fim epè oto-sipòte, dyaman mikrokristalin ak nanokristalin, dyaman kondiktif, elatriye. Li sitou itilize pou kouch pwoteksyon rezistan a mete nan zouti koupe karbid simante, materyèl semi-kondiktè tankou Silisyòm ak karbid Silisyòm, kouch disipasyon chalè nan aparèy, elektwòd dyaman kondiktif dope ak bor, dezenfeksyon ozòn nan dlo elektwolitik oswa tretman dlo egou.