HFCVD0606

Vakuumska komora za premazivanje opreme za kemijsko taloženje iz pare ima neovisnu dvoslojnu strukturu hlađenja vodom, koja je učinkovita i ujednačena u hlađenju te ima sigurnu i stabilnu strukturu. Oprema je dizajnirana s dvostrukim vratima, više prozora za promatranje i više sučelja za proširenje, što je praktično za vanjsko spajanje pomoćnih perifernih uređaja kao što su infracrveno mjerenje temperature, spektralna analiza, video nadzor i termoelement. Napredni koncept dizajna olakšava dnevni remont i održavanje, promjenu konfiguracije i nadogradnju opreme te učinkovito smanjuje troškove korištenja i nadogradnje.

Karakteristike opreme:

1. Komponente opreme za napuhavanje uglavnom uključuju mjerač masenog protoka, solenoidni ventil i spremnik za miješanje plina, koji osiguravaju točnu kontrolu protoka procesnog plina, ujednačeno miješanje i sigurnu izolaciju različitih plinova, te mogu odabrati komponente plinskog sustava za korištenje izvora tekućeg plina, olakšati personalizirani odabir širokog raspona izvora tekućeg ugljika i sigurnu upotrebu sintetičkih vodljivih dijamanata i izvora tekućeg bora za elektrode.
2. Sklop za ekstrakciju zraka opremljen je tihom i učinkovitom rotacijskom vakuumskom pumpom i turbomolekularnim pumpnim sustavom koji se može brzo prilagoditi uvjetima visokog vakuuma. Za mjerenje vakuuma koristi se kompozitni vakuummetar s mjeračem otpora i ionizacijskim mjeračem, kao i kapacitivni sustav filmskog mjerača koji može mjeriti tlak različitih procesnih plinova u širokom rasponu. Tlak taloženja potpuno je automatski kontroliran visokopreciznim proporcionalnim regulacijskim ventilom.
3. Komponenta rashladne vode opremljena je višekanalnim mjerenjem tlaka vode, protoka, temperature i softverskim automatskim nadzorom. Različite komponente za hlađenje međusobno su neovisne, što je pogodno za brzu dijagnozu kvara. Sve grane imaju neovisne prekidače ventila, što je sigurno i učinkovito.
4. Električne upravljačke komponente koriste veliki LCD zaslon s čovjek-strojnim sučeljem i surađuju s PLC-om, potpuno automatskim upravljanjem, kako bi se olakšalo uređivanje i uvoz procesnih formula. Grafička krivulja vizualno prikazuje promjene i vrijednosti različitih parametara, a parametri opreme i procesa automatski se bilježe i arhiviraju kako bi se olakšalo praćenje problema i statistička analiza podataka.
5. Stalak za obradak opremljen je servo motorom za upravljanje podizanjem i spuštanjem stola za podlogu. Može se odabrati grafitni ili crveni bakreni stol za podlogu. Temperatura se mjeri termoelementom.
6. Komponente regala mogu se dizajnirati kao cjelina ili zasebno prema zahtjevima kupca kako bi se zadovoljili posebni zahtjevi kupaca za rukovanje.
7. Komponente brtvenih ploča su lijepe i elegantne. Brtvene ploče u različitim funkcionalnim modulima opreme mogu se brzo rastaviti ili neovisno otvoriti i zatvoriti, što je vrlo praktično za korištenje.

CVD oprema s vrućim filamentom prikladna je za nanošenje dijamantnih materijala, uključujući tankoslojne premaze, samonosive debele filmove, mikrokristalne i nanokristalne dijamante, vodljive dijamante itd. Uglavnom se koristi za zaštitni premaz otporan na habanje alata za rezanje od cementiranog karbida, poluvodičkih materijala poput silicija i silicijevog karbida, premaza za odvođenje topline uređaja, vodljivih dijamantnih elektroda dopiranih borom, dezinfekcije ozonom elektrolitičke vode ili pročišćavanja otpadnih voda.