उत्पाद वर्णन
रासायनिक वाष्प जमाव उपकरण का वैक्यूम कोटिंग कक्ष एक स्वतंत्र डबल-लेयर जल-शीतलन संरचना को अपनाता है, जो शीतलन में कुशल और समान है, और इसमें एक सुरक्षित और स्थिर संरचना है। उपकरण को डबल दरवाजे, कई अवलोकन खिड़कियों और कई विस्तार इंटरफेस के साथ डिज़ाइन किया गया है, जो अवरक्त तापमान माप, वर्णक्रमीय विश्लेषण, वीडियो निगरानी और थर्मोकपल जैसे सहायक बाह्य उपकरणों के बाहरी कनेक्शन के लिए सुविधाजनक है। उन्नत डिजाइन अवधारणा दैनिक ओवरहाल और रखरखाव, विन्यास परिवर्तन और उपकरणों के उन्नयन को आसान और सरल बनाती है, और प्रभावी रूप से उपयोग और उन्नयन लागत को कम करती है।
उपकरण विशेषताएँ:
1. उपकरण के मुद्रास्फीति घटकों में मुख्य रूप से द्रव्यमान प्रवाह मीटर, सोलेनोइड वाल्व और गैस मिश्रण टैंक शामिल हैं, जो प्रक्रिया गैस प्रवाह, समान मिश्रण और विभिन्न गैसों के सुरक्षित अलगाव का सटीक नियंत्रण सुनिश्चित करते हैं, और तरल गैस स्रोत के उपयोग के लिए गैस सिस्टम घटकों का चयन कर सकते हैं, तरल कार्बन स्रोतों की एक विस्तृत श्रृंखला के व्यक्तिगत चयन की सुविधा प्रदान करते हैं, और सिंथेटिक प्रवाहकीय हीरे और इलेक्ट्रोड तरल बोरॉन स्रोतों का सुरक्षित उपयोग करते हैं।
2. वायु निष्कर्षण असेंबली एक मूक और कुशल रोटरी वेन वैक्यूम पंप और एक टर्बो आणविक पंप प्रणाली से सुसज्जित है जो उच्च वैक्यूम पृष्ठभूमि वातावरण को जल्दी से पूरा कर सकती है। प्रतिरोध गेज और आयनीकरण गेज के साथ समग्र वैक्यूम गेज का उपयोग वैक्यूम माप के लिए किया जाता है, साथ ही कैपेसिटिव फिल्म गेज सिस्टम जो एक विस्तृत श्रृंखला में विभिन्न प्रक्रिया गैसों के दबाव को माप सकता है। जमाव दबाव उच्च परिशुद्धता आनुपातिक नियंत्रण वाल्व द्वारा पूरी तरह से स्वचालित रूप से नियंत्रित होता है।
3.शीतलन जल घटक बहु-चैनल जल दबाव, प्रवाह, तापमान माप और सॉफ्टवेयर स्वचालित निगरानी से सुसज्जित है। विभिन्न शीतलन घटक एक दूसरे से स्वतंत्र हैं, जो तेजी से दोष निदान के लिए सुविधाजनक है। सभी शाखाओं में स्वतंत्र वाल्व स्विच हैं, जो सुरक्षित और कुशल है।
4. विद्युत नियंत्रण घटक बड़े आकार के मानव-मशीन इंटरफ़ेस एलसीडी स्क्रीन को अपनाते हैं और प्रक्रिया सूत्र के संपादन और आयात की सुविधा के लिए पीएलसी पूर्ण-स्वचालित नियंत्रण के साथ सहयोग करते हैं। ग्राफिकल वक्र नेत्रहीन रूप से विभिन्न मापदंडों के परिवर्तनों और मूल्यों को प्रदर्शित करता है, और उपकरण और प्रक्रिया मापदंडों को स्वचालित रूप से रिकॉर्ड किया जाता है और समस्या का पता लगाने और डेटा सांख्यिकीय विश्लेषण की सुविधा के लिए संग्रहीत किया जाता है।
5.वर्कपीस रैक सब्सट्रेट टेबल के उठाने और कम करने को नियंत्रित करने के लिए एक सर्वो मोटर से सुसज्जित है। ग्रेफाइट या लाल तांबे सब्सट्रेट टेबल का चयन किया जा सकता है। तापमान को थर्मोकपल द्वारा मापा जाता है।
6. ग्राहकों की विशेष हैंडलिंग आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए रैक घटकों को ग्राहक आवश्यकताओं के अनुसार पूरे या अलग से डिज़ाइन किया जा सकता है।
7. सीलिंग प्लेट घटक सुंदर और सुरुचिपूर्ण हैं। उपकरण के विभिन्न कार्यात्मक मॉड्यूल क्षेत्रों में सीलिंग प्लेटों को जल्दी से अलग किया जा सकता है या स्वतंत्र रूप से खोला और बंद किया जा सकता है, जो उपयोग करने के लिए बहुत सुविधाजनक है।
गर्म फिलामेंट सीवीडी उपकरण हीरे की सामग्री जमा करने के लिए उपयुक्त है, जिसमें पतली फिल्म कोटिंग, स्वयं-सहायक मोटी फिल्म, माइक्रोक्रिस्टलाइन और नैनोक्रिस्टलाइन हीरा, प्रवाहकीय हीरा आदि शामिल हैं। इसका उपयोग मुख्य रूप से सीमेंटेड कार्बाइड काटने के उपकरण, सिलिकॉन और सिलिकॉन कार्बाइड जैसे अर्धचालक पदार्थों के पहनने के लिए प्रतिरोधी सुरक्षात्मक कोटिंग, उपकरणों की गर्मी अपव्यय कोटिंग, बोरॉन डोप्ड प्रवाहकीय हीरा इलेक्ट्रोड, इलेक्ट्रोलाइटिक पानी या सीवेज उपचार के ओजोन कीटाणुशोधन के लिए किया जाता है।
| वैकल्पिक मॉडल | आंतरिक कक्ष का आकार |
| एचएफसीवीडी0606 | φ600*H600(मिमी) |
उद्योग अनुप्रयोग
सापेक्ष उपकरण
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ऑक्सीकरण प्रतिरोधी CVD कोटिंग उपकरण
उपकरण मुख्य रूप से ऑक्साइड फिल्म तैयार करने के लिए रासायनिक वाष्प जमाव को अपनाता है, जिसमें तेज जमाव दर और उच्च फिल्म गुणवत्ता की विशेषताएं हैं। उपकरण के लिए ...