HFCVD0606

Hoʻohana ʻia ke keʻena hoʻoheheʻe ʻawaʻawa o ka mea hoʻoheheʻe mahu kemika i kahi kūʻokoʻa kūʻokoʻa kūʻokoʻa wai hoʻoluʻu wai ʻelua, ʻoi aku ka maikaʻi a me ka ʻaʻahu i ka hoʻoluʻu, a he ʻano palekana a paʻa. Hoʻolālā ʻia nā mea hana me nā puka ʻelua, nā puka aniani nānā nui a me nā pānaʻi hoʻonui nui, kahi kūpono no ka hoʻopili ʻana i waho o nā peripherals kōkua e like me ke ana ʻana o ka wela infrared, spectral analysis, nānā wikiō a me ka thermocouple. ʻO ka manaʻo hoʻolālā kiʻekiʻe e hana i ka hoʻoponopono a me ka mālama ʻana i kēlā me kēia lā, hoʻololi a me ka hoʻonui ʻana i nā mea hana maʻalahi a maʻalahi, a hoʻemi pono i ka hoʻohana a me ka hoʻonui ʻana i nā kumukūʻai.

Nā hiʻohiʻona lako:

1. ʻO nā ʻāpana inflation o nā mea hana ka nui o ka mika kahe, solenoid valve a me ke kinoea hui pahu, e hōʻoia i ka mana pololei o ke kaʻina holo kinoea, hui pū ʻia a me ka noho kaʻawale ʻana o nā kinoea like ʻole, a hiki ke koho i nā ʻōnaehana kinoea no ka hoʻohana ʻana i ke kumu wai kinoea, hoʻomaʻamaʻa i ka koho pilikino o kahi ākea ākea o nā kumu kalapona wai, a me ka hoʻohana pono ʻana i nā kumu wai synthetic conductive a me nā kumu wai boron electrode.
2. Ua hoʻolakoʻia ka hui hoʻokuʻuʻana i ka ea me ka'ōleʻa a me ka maikaʻi rotary vane pump a me ka turbo molecular pump system e hiki ke hoʻokō koke i ke kaiapuni kiʻekiʻe. Hoʻohana ʻia ka mīkini paʻi ʻana me ke ana kūʻokoʻa a me ka ana ionization no ke ana ʻana i ka momi, a me ka ʻōnaehana kiʻiʻoniʻoni capacitive e hiki ke ana i ke kaomi o nā kinoea kaʻina hana like ʻole ma kahi ākea. Hoʻopili piha ʻia ka puʻe deposition e ka valve control proportional precision kiʻekiʻe.
3. ʻO ka ʻāpana wai hoʻoluʻu ua hoʻolako ʻia me ka nui o nā kaila wai kaomi, kahe, ana wela a me ka nānā ʻana i nā polokalamu. Kūʻokoʻa nā ʻāpana hoʻoluʻu ʻokoʻa i kēlā me kēia, kahi kūpono no ka ʻike hewa wikiwiki. Loaʻa i nā lālā āpau nā hoʻololi valve kūʻokoʻa, kahi palekana a maikaʻi.
4. ʻO nā mea hoʻokele uila e hoʻohana i ka nui-nui man-machine interface LCD pale a hui pū me ka PLC mana piha-akomi e hoʻomaʻamaʻa i ka hoʻoponopono a me ka lawe ʻana mai o ke kaʻina hana. Hōʻike ʻike ʻia ke kiʻi kiʻi i nā loli a me nā waiwai o nā ʻāpana like ʻole, a ua hoʻopaʻa ʻia a mālama ʻia nā mea hana a me nā kaʻina hana i mea e maʻalahi ai ka huli ʻana i ka pilikia a me ka ʻikepili helu helu.
5. Ua hoʻolakoʻia ka pahu hana me ka mīkini servo e hoʻomalu i ka hāpaiʻana a me ka hoʻohaʻahaʻaʻana i ka papaʻaina substrate. Hiki ke koho ʻia ka graphite a i ʻole ka pākaukau keleawe ʻulaʻula. Ana ʻia ka mahana e ka thermocouple.
6. Hiki ke hoʻolālā ʻia nā ʻāpana rack ma ke ʻano holoʻokoʻa a ʻokoʻa paha e like me nā koi o ka mea kūʻai aku e hoʻokō i nā koi kūikawā o nā mea kūʻai aku.
7. He nani a nani hoʻi nā ʻāpana o ka pā sila. Hiki ke wehe koke ʻia a wehe ʻia a pani ʻia nā papa hoʻopaʻa ʻia i nā wahi modula hana like ʻole o nā mea hana.

Hot filament CVD lako mea kūpono no ka waiho 'ana i daimana mea, me ka lahilahi kiʻiʻoniʻoni uhi, pakiko-kākoʻo mānoanoa kiʻiʻoniʻoni, microcrystalline a me nanocrystalline daimana, conductive daimana, etc. Ua hoʻohana nui ia no ka lole-kue pale pale o ka cemented carbide oki mea paahana, semiconductor mea e like me ka silicon a me ka silicon carbide, wela dissipation uhi o na mea, electrolytic boronde hana o na mea hana, electrolytic boronde. hoʻoheheʻe wai.