HFCVD0606

Kemiallisen höyrypinnoituslaitteiston tyhjiöpäällystyskammiossa on itsenäinen kaksikerroksinen vesijäähdytysrakenne, joka on tehokas ja tasainen jäähdytyksessä sekä turvallinen ja vakaa. Laite on suunniteltu kaksoisovilla, useilla tarkkailuikkunoilla ja useilla laajennusliitännöillä, mikä helpottaa apulaitteiden, kuten infrapunalämpötilan mittauksen, spektrianalyysin, videovalvonnan ja termoelementin, ulkoista liitäntää. Edistyksellinen suunnittelukonsepti tekee laitteiden päivittäisestä huollosta, kokoonpanon muuttamisesta ja päivittämisestä helppoa ja yksinkertaista, mikä vähentää tehokkaasti käyttö- ja päivityskustannuksia.

Laitteiden ominaisuudet:

1. Laitteen täyttökomponentteihin kuuluvat pääasiassa massavirtausmittari, solenoidiventtiili ja kaasunsekoitussäiliö, jotka varmistavat prosessikaasun virtauksen tarkan hallinnan, eri kaasujen tasaisen sekoittumisen ja turvallisen eristämisen. Ne voivat myös valita kaasujärjestelmän komponentteja nestemäisen kaasun lähteen käyttöön, helpottaa monenlaisten nestemäisten hiililähteiden yksilöllistä valintaa ja synteettisten johtavien timanttien ja elektrodien nestemäisten boorilähteiden turvallista käyttöä.
2. Ilmanpoistolaitteisto on varustettu hiljaisella ja tehokkaalla pyöriväsiipimupumpulla ja turbomolekyylipumppujärjestelmällä, joka pystyy nopeasti saavuttamaan korkean tyhjiöympäristön. Tyhjiön mittaamiseen käytetään komposiittityhjiömittaria, jossa on vastusmittari ja ionisaatiomittari, sekä kapasitiivista kalvomittarijärjestelmää, joka pystyy mittaamaan eri prosessikaasujen painetta laajalla alueella. Laskeutumispainetta säädetään täysin automaattisesti erittäin tarkalla proportionaalisäätöventtiilillä.
3. Jäähdytysvesikomponentti on varustettu monikanavaisella vedenpaineen, virtauksen ja lämpötilan mittauksella sekä ohjelmistopohjaisella automaattisella valvonnalla. Eri jäähdytyskomponentit ovat toisistaan ​​riippumattomia, mikä helpottaa vianmääritystä. Kaikissa haaroissa on erilliset venttiilikytkimet, mikä on turvallista ja tehokasta.
4. Sähköisissä ohjauskomponenteissa on suurikokoinen ihmisen ja koneen rajapinnan LCD-näyttö, ja ne toimivat yhdessä PLC:n täysautomaattisen ohjauksen kanssa prosessikaavojen muokkaamisen ja tuonnin helpottamiseksi. Graafinen käyrä näyttää visuaalisesti eri parametrien muutokset ja arvot, ja laite- ja prosessiparametrit tallennetaan ja arkistoidaan automaattisesti ongelmien jäljityksen ja tietojen tilastollisen analyysin helpottamiseksi.
5. Työkappaleteline on varustettu servomoottorilla, joka ohjaa alustapöydän nostoa ja laskua. Grafiitti- tai punainen kuparipöytä voidaan valita. Lämpötila mitataan termoelementillä.
6. Telinekomponentit voidaan suunnitella kokonaisuutena tai erikseen asiakkaan vaatimusten mukaisesti asiakkaiden erityiskäsittelyvaatimusten täyttämiseksi.
7. Tiivistyslevyn komponentit ovat kauniita ja tyylikkäitä. Laitteen eri toiminnallisten moduulialueiden tiivistyslevyt voidaan nopeasti purkaa tai avata ja sulkea erikseen, mikä on erittäin kätevää käyttää.

Kuumafilamentti-CVD-laitteet soveltuvat timanttimateriaalien, kuten ohutkalvopinnoitteiden, itsekantavien paksukalvojen, mikrokiteisten ja nanokiteisten timanttien, johtavien timanttien jne., kerrostamiseen. Sitä käytetään pääasiassa kovametallileikkaustyökalujen kulutusta kestävään suojapinnoitteeseen, puolijohdemateriaaleihin, kuten piihin ja piikarbidiin, laitteiden lämmönpoistopinnoitteisiin, boorilla seostettuihin johtaviin timanttielektrodeihin, elektrolyyttisen veden tai jäteveden otsonidesinfiointiin.