HFCVD0606

محفظه پوشش‌دهی خلاء تجهیزات رسوب بخار شیمیایی، از یک ساختار خنک‌کننده آب دولایه مستقل بهره می‌برد که در خنک‌سازی کارآمد و یکنواخت است و ساختاری ایمن و پایدار دارد. این تجهیزات با درهای دوتایی، پنجره‌های مشاهده چندگانه و رابط‌های انبساط چندگانه طراحی شده‌اند که برای اتصال خارجی لوازم جانبی کمکی مانند اندازه‌گیری دمای مادون قرمز، تجزیه و تحلیل طیفی، نظارت تصویری و ترموکوپل مناسب است. مفهوم طراحی پیشرفته، تعمیرات اساسی و نگهداری روزانه، تغییر پیکربندی و ارتقاء تجهیزات را آسان و ساده می‌کند و به طور موثر هزینه‌های استفاده و ارتقاء را کاهش می‌دهد.

ویژگی‌های تجهیزات:

۱. اجزای بادکننده تجهیزات عمدتاً شامل فلومتر جرمی، شیر برقی و مخزن مخلوط گاز است که کنترل دقیق جریان گاز فرآیند، اختلاط یکنواخت و جداسازی ایمن گازهای مختلف را تضمین می‌کند و می‌تواند اجزای سیستم گاز را برای استفاده از منبع گاز مایع انتخاب کند، انتخاب شخصی طیف گسترده‌ای از منابع کربن مایع و استفاده ایمن از منابع بور مایع الماس رسانای مصنوعی و الکترود را تسهیل کند.
۲. مجموعه مکش هوا مجهز به یک پمپ خلاء پره ای چرخشی بی صدا و کارآمد و یک سیستم پمپ توربو مولکولی است که می تواند به سرعت با محیط خلاء بالا سازگار شود. گیج خلاء کامپوزیتی با گیج مقاومت و گیج یونیزاسیون برای اندازه گیری خلاء و همچنین سیستم گیج فیلم خازنی که می تواند فشار گازهای مختلف فرآیند را در طیف وسیعی اندازه گیری کند، استفاده می شود. فشار رسوب به طور کامل توسط شیر کنترل تناسبی با دقت بالا کنترل می شود.
۳. بخش آب خنک‌کننده مجهز به اندازه‌گیری فشار، جریان، دمای آب چند کاناله و نظارت خودکار نرم‌افزاری است. اجزای مختلف خنک‌کننده مستقل از یکدیگر هستند که برای تشخیص سریع عیب مناسب است. همه شاخه‌ها دارای سوئیچ‌های شیر مستقل هستند که ایمن و کارآمد است.
4. اجزای کنترل الکتریکی از صفحه نمایش LCD با رابط انسان و ماشین در اندازه بزرگ استفاده می‌کنند و با کنترل تمام اتوماتیک PLC همکاری می‌کنند تا ویرایش و وارد کردن فرمول فرآیند را تسهیل کنند. منحنی گرافیکی تغییرات و مقادیر پارامترهای مختلف را به صورت بصری نمایش می‌دهد و پارامترهای تجهیزات و فرآیند به طور خودکار ثبت و بایگانی می‌شوند تا ردیابی مشکل و تجزیه و تحلیل آماری داده‌ها تسهیل شود.
۵. قفسه قطعه کار مجهز به یک سروو موتور برای کنترل بالا و پایین بردن میز زیرلایه است. میز زیرلایه گرافیتی یا مس قرمز را می‌توان انتخاب کرد. دما توسط یک ترموکوپل اندازه‌گیری می‌شود.
6. اجزای رک را می‌توان به صورت کلی یا جداگانه با توجه به نیاز مشتری طراحی کرد تا نیازهای ویژه جابجایی مشتریان را برآورده سازد.
۷. اجزای صفحه آب‌بندی زیبا و ظریف هستند. صفحات آب‌بندی در قسمت‌های مختلف ماژول عملکردی تجهیزات را می‌توان به سرعت از هم جدا کرد یا به طور مستقل باز و بسته کرد که استفاده از آن بسیار راحت است.

تجهیزات رسوب بخار شیمیایی (CVD) رشته داغ برای رسوب‌دهی مواد الماس، از جمله پوشش‌دهی لایه نازک، لایه ضخیم خودنگهدار، الماس میکروکریستالی و نانوکریستالی، الماس رسانا و غیره مناسب است. این تجهیزات عمدتاً برای پوشش محافظ مقاوم در برابر سایش ابزارهای برش کاربید سیمانی، مواد نیمه‌هادی مانند سیلیکون و کاربید سیلیکون، پوشش اتلاف حرارت دستگاه‌ها، الکترود الماس رسانای آلاییده شده با بور، ضدعفونی ازن تصفیه آب یا فاضلاب الکترولیتی استفاده می‌شود.