HFCVD0606

Lurrun kimiko bidezko deposizio ekipoaren hutsean estaltzeko ganberak ur-hozte bikoitzeko egitura independentea hartzen du, hoztean eraginkorra eta uniformea ​​dena, eta egitura seguru eta egonkorra duena. Ekipamendua ate bikoitzekin, behaketa-leiho anitzekin eta hedapen-interfaze anitzekin diseinatuta dago, eta hori komenigarria da periferiko laguntzaileak kanpoan konektatzeko, hala nola infragorrien tenperaturaren neurketa, analisi espektralak, bideo-monitorizazioa eta termoparea. Diseinu-kontzeptu aurreratuak ekipoaren eguneroko berrikuspena eta mantentze-lanak, konfigurazio-aldaketa eta eguneratzea erraz eta sinple egiten ditu, eta erabilera- eta eguneratze-kostuak eraginkortasunez murrizten ditu.

Ekipamenduaren ezaugarriak:

1. Ekipamenduaren puzte-osagaiek batez ere masa-emari-neurgailua, solenoide-balbula eta gas-nahasketa-tangak dituzte, prozesuko gas-fluxuaren kontrol zehatza, nahasketa uniformea ​​eta gas desberdinen isolamendu segurua bermatzen dutenak, eta gas-sistemaren osagaiak hauta ditzakete gas likido-iturriaren erabilerarako, karbono likido-iturri sorta zabal baten hautaketa pertsonalizatua errazten dute eta diamante eroale sintetikoen eta elektrodo-boro likido-iturrien erabilera segurua errazten dute.
2. Airea erauzteko muntaketa huts-ponpa birakari isil eta eraginkor batekin eta turbo-ponpa molekular sistema batekin hornituta dago, hutsune handiko ingurunean azkar moldatzen dena. Erresistentzia-neurgailua eta ionizazio-neurgailua dituen huts-neurgailu konposatua erabiltzen da hutsunea neurtzeko, baita prozesuko gas desberdinen presioa tarte zabal batean neurtzeko gai den film-neurgailu kapazitiboa ere. Deposizio-presioa guztiz automatikoki kontrolatzen da, zehaztasun handiko kontrol-balbula proportzional batek kontrolatuta.
3. Hozteko uraren osagaiak ur-presioa, emaria eta tenperatura neurtzeko kanal anitzeko eta software bidezko monitorizazio automatikoa ditu. Hozteko osagai desberdinak elkarrengandik independenteak dira, eta hori komenigarria da akatsen diagnostiko azkarra egiteko. Adar guztiek balbula-etengailu independenteak dituzte, eta hori segurua eta eraginkorra da.
4. Kontrol elektrikoaren osagaiek tamaina handiko gizaki-makina interfazearen LCD pantaila erabiltzen dute eta PLC kontrol guztiz automatikoarekin elkarlanean aritzen dira prozesu-formula editatu eta inportatzeko errazteko. Kurba grafikoak parametro desberdinen aldaketak eta balioak bisualki erakusten ditu, eta ekipamenduaren eta prozesuaren parametroak automatikoki grabatu eta artxibatzen dira arazoen jarraipena eta datuen analisi estatistikoa errazteko.
5. Piezen euskarria servo motor batekin hornituta dago substratu mahaiaren igoera eta jaitsiera kontrolatzeko. Grafitozko edo kobre gorrizko substratu mahaia hauta daiteke. Tenperatura termopare baten bidez neurtzen da.
6. Errakaleko osagaiak osorik edo bereizita diseinatu daitezke bezeroen beharren arabera, bezeroen manipulazio-eskakizun bereziak betetzeko.
7. Zigilatzeko plakaren osagaiak ederrak eta dotoreak dira. Ekipamenduaren modulu funtzional desberdinetako zigilatzeko plakak azkar desmuntatu edo ireki eta itxi daitezke modu independentean, eta hori oso erosoa da erabiltzeko.

Harizpi bero bidezko CVD ekipamendua egokia da diamantezko materialak metatzeko, besteak beste, film meheko estaldura, film lodi auto-euskarria, diamante mikrokristalinoa eta nanokristalinoa, diamante eroalea, etab. Batez ere, karburo zementatuzko ebaketa-erremintak higaduraren aurkako babes-estaldura egiteko erabiltzen da, silizioa eta silizio karburoa bezalako erdieroale materialak, gailuen beroa xahutzeko estaldura, boroz dopatutako diamantezko elektrodo eroalea, ur elektrolitikoa ozonoz desinfektatzeko edo hondakin-uren tratamendurako.