HFCVD0606

Keemilise aurustamise seadme vaakumkatmiskambril on iseseisev kahekihiline vesijahutusstruktuur, mis on jahutamisel tõhus ja ühtlane ning millel on ohutu ja stabiilne konstruktsioon. Seadmel on topeltuksed, mitu vaateakent ja mitu laiendusliidest, mis hõlbustavad abiseadmete, näiteks infrapunatemperatuuri mõõtmise, spektraalanalüüsi, videoseire ja termopaari, välist ühendamist. Täiustatud disainikontseptsioon muudab seadmete igapäevase hoolduse, konfiguratsiooni muutmise ja uuendamise lihtsaks ning vähendab tõhusalt kasutus- ja uuendamiskulusid.

Varustuse omadused:

1. Seadme täispumpamiskomponendid hõlmavad peamiselt massivoolumõõturit, solenoidventiili ja gaasisegamispaaki, mis tagavad protsessigaasi voolu täpse juhtimise, erinevate gaaside ühtlase segamise ja ohutu isoleerimise ning võimaldavad valida gaasisüsteemi komponente vedelgaasiallika kasutamiseks, hõlbustada laia valiku vedela süsiniku allikate isikupärast valimist ning sünteetilise juhtiva teemandi ja elektroodide vedela boori allikate ohutut kasutamist.
2. Õhu väljatõmbeagregaat on varustatud vaikse ja tõhusa pöördlabaga vaakumpumba ning turbomolekulaarpumba süsteemiga, mis suudab kiiresti reageerida kõrgvaakumi taustkeskkonnale. Vaakumi mõõtmiseks kasutatakse komposiitvaakummeetrit koos takistusmõõturi ja ionisatsioonimõõturiga ning mahtuvuslikku kilemõõturi süsteemi, mis suudab mõõta erinevate protsessigaaside rõhku laias vahemikus. Sadestusrõhku juhitakse täisautomaatselt ülitäpse proportsionaalse juhtventiiliga.
3. Jahutusvee komponent on varustatud mitmekanalilise veesurve, vooluhulga ja temperatuuri mõõtmise ning tarkvaralise automaatse jälgimisega. Erinevad jahutuskomponendid on üksteisest sõltumatud, mis hõlbustab kiiret rikete diagnoosimist. Kõigil harudel on sõltumatud ventiililülitid, mis on ohutu ja tõhus.
4. Elektrilised juhtimiskomponendid kasutavad suurt inimese ja masina liidesega LCD-ekraani ja teevad koostööd PLC täisautomaatse juhtimisega, et hõlbustada protsessivalemi redigeerimist ja importimist. Graafiline kõver kuvab visuaalselt erinevate parameetrite muutusi ja väärtusi ning seadme ja protsessi parameetrid salvestatakse ja arhiveeritakse automaatselt, et hõlbustada probleemide jälgimist ja andmete statistilist analüüsi.
5. Töödeldavate detailide riiul on varustatud servomootoriga, mis juhib aluspinna laua tõstmist ja langetamist. Valida saab grafiidist või punasest vasest aluspinna laua. Temperatuuri mõõdetakse termopaariga.
6. Riiuli komponente saab kliendi nõudmistel tervikuna või eraldi kujundada, et need vastaksid klientide erikäsitlusnõuetele.
7. Tihendusplaatide komponendid on ilusad ja elegantsed. Seadme erinevate funktsionaalsete moodulite tihendusplaate saab kiiresti lahti võtta või eraldi avada ja sulgeda, mis on väga mugav kasutada.

Kuumfilament-CVD-seadmed sobivad teemantmaterjalide, sealhulgas õhukese kilekatte, isekandva paksu kile, mikrokristallilise ja nanokristallilise teemandi, juhtiva teemandi jms sadestamiseks. Seda kasutatakse peamiselt kõvasulamist lõikeriistade kulumiskindla kaitsekatte, pooljuhtmaterjalide, näiteks räni ja ränikarbiidi, seadmete soojuseralduskatte, booriga legeeritud juhtiva teemantelektroodi, elektrolüütilise vee osooniga desinfitseerimise või reovee puhastamise jaoks.