HFCVD0606

Ο θάλαμος επικάλυψης κενού του εξοπλισμού χημικής εναπόθεσης ατμών υιοθετεί μια ανεξάρτητη δομή διπλής στρώσης ψύξης νερού, η οποία είναι αποτελεσματική και ομοιόμορφη στην ψύξη, και έχει μια ασφαλή και σταθερή δομή. Ο εξοπλισμός έχει σχεδιαστεί με διπλές πόρτες, πολλαπλά παράθυρα παρατήρησης και πολλαπλές διεπαφές επέκτασης, κάτι που είναι βολικό για εξωτερική σύνδεση βοηθητικών περιφερειακών όπως μέτρηση θερμοκρασίας υπέρυθρης ακτινοβολίας, φασματική ανάλυση, παρακολούθηση βίντεο και θερμοστοιχείο. Η προηγμένη σχεδιαστική φιλοσοφία καθιστά την καθημερινή γενική επισκευή και συντήρηση, την αλλαγή διαμόρφωσης και την αναβάθμιση του εξοπλισμού εύκολη και απλή, και μειώνει αποτελεσματικά το κόστος χρήσης και αναβάθμισης.

Χαρακτηριστικά εξοπλισμού:

1. Τα εξαρτήματα φουσκώματος του εξοπλισμού περιλαμβάνουν κυρίως μετρητή ροής μάζας, ηλεκτρομαγνητική βαλβίδα και δεξαμενή ανάμειξης αερίου, τα οποία εξασφαλίζουν τον ακριβή έλεγχο της ροής αερίου διεργασίας, την ομοιόμορφη ανάμειξη και την ασφαλή απομόνωση διαφορετικών αερίων και μπορούν να επιλέξουν εξαρτήματα συστήματος αερίου για τη χρήση πηγής υγρού αερίου, να διευκολύνουν την εξατομικευμένη επιλογή ενός ευρέος φάσματος πηγών υγρού άνθρακα και την ασφαλή χρήση συνθετικών αγώγιμων διαμαντιών και πηγών υγρού βορίου ηλεκτροδίων.
2. Το συγκρότημα εξαγωγής αέρα είναι εξοπλισμένο με μια αθόρυβη και αποτελεσματική αντλία κενού με περιστροφικά πτερύγια και ένα σύστημα turbo μοριακής αντλίας που μπορεί να ανταποκριθεί γρήγορα στο περιβάλλον υψηλού κενού υποβάθρου. Ο σύνθετος μετρητής κενού με μετρητή αντίστασης και μετρητή ιονισμού χρησιμοποιείται για τη μέτρηση κενού, καθώς και το σύστημα χωρητικού μετρητή φιλμ που μπορεί να μετρήσει την πίεση διαφορετικών αερίων διεργασίας σε ένα ευρύ φάσμα. Η πίεση εναπόθεσης ελέγχεται πλήρως αυτόματα από αναλογική βαλβίδα ελέγχου υψηλής ακρίβειας.
3. Το εξάρτημα ψύξης νερού είναι εξοπλισμένο με πολυκάναλη μέτρηση πίεσης, ροής, θερμοκρασίας νερού και αυτόματη παρακολούθηση λογισμικού. Τα διαφορετικά εξαρτήματα ψύξης είναι ανεξάρτητα το ένα από το άλλο, κάτι που είναι βολικό για γρήγορη διάγνωση σφαλμάτων. Όλοι οι κλάδοι διαθέτουν ανεξάρτητους διακόπτες βαλβίδων, κάτι που είναι ασφαλές και αποτελεσματικό.
4. Τα ηλεκτρικά εξαρτήματα ελέγχου υιοθετούν μεγάλη οθόνη LCD διεπαφής ανθρώπου-μηχανής και συνεργάζονται με πλήρως αυτόματο έλεγχο PLC για να διευκολύνουν την επεξεργασία και την εισαγωγή του τύπου διεργασίας. Η γραφική καμπύλη εμφανίζει οπτικά τις αλλαγές και τις τιμές διαφόρων παραμέτρων, και ο εξοπλισμός και οι παράμετροι διεργασίας καταγράφονται και αρχειοθετούνται αυτόματα για να διευκολύνουν την ανίχνευση προβλημάτων και τη στατιστική ανάλυση δεδομένων.
5. Η σχάρα τεμαχίου εργασίας είναι εξοπλισμένη με σερβοκινητήρα για τον έλεγχο της ανύψωσης και της καθόδου του τραπεζιού υποστρώματος. Μπορεί να επιλεγεί τραπέζι υποστρώματος από γραφίτη ή κόκκινο χαλκό. Η θερμοκρασία μετριέται με θερμοστοιχείο.
6. Τα εξαρτήματα του rack μπορούν να σχεδιαστούν συνολικά ή ξεχωριστά σύμφωνα με τις απαιτήσεις του πελάτη για να καλύψουν τις ειδικές απαιτήσεις χειρισμού των πελατών.
7. Τα εξαρτήματα της πλάκας στεγανοποίησης είναι όμορφα και κομψά. Οι πλάκες στεγανοποίησης σε διαφορετικές λειτουργικές περιοχές του εξοπλισμού μπορούν να αποσυναρμολογηθούν γρήγορα ή να ανοίξουν και να κλείσουν ανεξάρτητα, κάτι που είναι πολύ βολικό στη χρήση.

Ο εξοπλισμός CVD θερμού νήματος είναι κατάλληλος για την εναπόθεση υλικών διαμαντιών, συμπεριλαμβανομένης της επίστρωσης λεπτής μεμβράνης, της αυτοφερόμενης παχιάς μεμβράνης, του μικροκρυσταλλικού και νανοκρυσταλλικού διαμαντιού, του αγώγιμου διαμαντιού κ.λπ. Χρησιμοποιείται κυρίως για ανθεκτική στη φθορά προστατευτική επίστρωση εργαλείων κοπής από τσιμεντοειδές καρβίδιο, υλικών ημιαγωγών όπως πυρίτιο και καρβίδιο του πυριτίου, επίστρωσης απαγωγής θερμότητας συσκευών, ηλεκτροδίων αγώγιμου διαμαντιού με πρόσμιξη βορίου, απολύμανσης με όζον ηλεκτρολυτικού νερού ή επεξεργασίας λυμάτων.